中微半導(dǎo)體董事長 尹志堯

作者 | 江上之

來源 | 華商韜略

2024年8月2日，中微公司成立20周年。

董事長兼總經(jīng)理尹志堯說：“我有一個美好的憧憬，并且有充分的信心，20年后，當(dāng)我們慶祝中微40周年時，我們一定再相聚。”

這一年，尹志堯80歲。

20年前剛回國創(chuàng)業(yè)時，尹志堯60歲。出租車司機(jī)對他說：“您看起來只有38歲！”

尹志堯一聽，爽朗地笑道：“太好了，以后我就是38歲的人。”

一

國際先進(jìn)

突破卡脖子，打造“國之重器”是條艱難的道路，過去的20年，尹志堯走的就是這條路。

半導(dǎo)體是中國最薄弱但最重要的產(chǎn)業(yè)之一，半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備則是半導(dǎo)體發(fā)展的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體設(shè)備最關(guān)鍵的三種分別是：光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜機(jī)。

尹志堯所創(chuàng)辦的中微公司，目前已是全球排名第四的刻蝕機(jī)企業(yè)，可全面自主支持中國在這一領(lǐng)域的需求與發(fā)展。

在尹志堯的比喻里，芯片微觀加工就像是剪窗花，薄膜機(jī)鋪一層材料紅紙，光刻機(jī)在紅紙上畫好花紋，刻蝕機(jī)把不要的部分刻掉。

如今，中微公司的刻蝕設(shè)備技術(shù)能力已達(dá)到5納米以及更先進(jìn)工藝水平，可以全面取代國際先進(jìn)設(shè)備。

5納米的加工能力相當(dāng)于在人頭發(fā)絲直徑萬分之一的尺度上，修建50-60層樓房。

不僅如此，憑借行業(yè)首創(chuàng)的刻蝕設(shè)備雙臺機(jī)技術(shù)，中微公司率先提出“皮米級”加工精度概念，其刻蝕精度已經(jīng)達(dá)到100“皮米”以下水平，相當(dāng)于人的頭發(fā)絲350萬分之一的精準(zhǔn)度。

當(dāng)前，中微公司的刻蝕機(jī)已被一線半導(dǎo)體制造商廣泛采用，涵蓋了65納米、14納米、7納米及5納米等制程，主要客戶包括臺積電、SK海力士、聯(lián)電、中芯國際和長江存儲等。

從能力上看，中微公司基本和國外設(shè)備公司處在同一水平，且可以提供雙臺機(jī)和單臺機(jī)兩種選擇，而國際幾大設(shè)備廠商只有單臺機(jī)，這是中微公司獨(dú)特的亮點(diǎn)所在。

尹志堯說：“在國內(nèi)外競爭越來越激烈的情況下，我們沒有別的選擇，一定要有自主可控、自立自強(qiáng)的精神，使我們國產(chǎn)設(shè)備盡快達(dá)到國際先進(jìn)水平，甚至在部分領(lǐng)域超過國際先進(jìn)水平。”而今天全球一流的芯片生產(chǎn)線上，已有600多個反應(yīng)臺用的全是中微的雙臺機(jī)。

與之對應(yīng)，自2021年起，在全球刻蝕設(shè)備市場，中微公司的市場份額位居第四位，前三名分別是LAM（泛林集團(tuán)，又稱科林研發(fā)）、TEL（東京電子）、AMAT（應(yīng)用材料）三家國際大廠。

這意味著，無論技術(shù)水平，還是規(guī)模實(shí)力，中微公司都已達(dá)到國際先進(jìn)水平。

二

最強(qiáng)大腦

實(shí)際上，尹志堯與三家刻蝕機(jī)國際大廠中的兩家LAM、AMAT都有很深的淵源。

1944年，尹志堯出生于北京，中學(xué)就讀于久負(fù)盛名的北京四中，之后考入中國科技大學(xué)化學(xué)物理系，畢業(yè)后在蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)工作了近十年。

1978年，尹志堯考入北京大學(xué)化學(xué)系，攻讀碩士。他還記得，當(dāng)時國內(nèi)最先進(jìn)的計算機(jī)，內(nèi)存只有128K，卻占了兩棟大樓，里面裝著數(shù)不清的電子管。

1980年，36歲的尹志堯成為北京大學(xué)第二個自費(fèi)出國留學(xué)生。

1984年，已獲得加州大學(xué)洛杉磯分校物理化學(xué)博士學(xué)位的尹志堯，進(jìn)入硅谷，在英特爾中心研究開發(fā)部研發(fā)芯片，成為第一個進(jìn)入英特爾的中國留學(xué)生。

當(dāng)時英特爾已經(jīng)把128K的容量做到一個指甲蓋大小的芯片上了。

但尹志堯很快開始對設(shè)備更感興趣，他認(rèn)為，沒有微觀加工設(shè)備，就造不出芯片，也就不會誕生那么多偉大的公司。

在一次英特爾對LAM的刻蝕設(shè)備采購評估中，尹志堯參與了評價，并且給出了否定意見。當(dāng)LAM果真失去英特爾的訂單，并了解到尹志堯就是那個對其批評最多和建議最多的人，他們卻非但沒有對尹志堯生氣，而是決定把尹志堯挖過去，助力研發(fā)刻蝕設(shè)備。

此時的LAM已處在崩潰的邊緣，跳槽面臨著巨大的風(fēng)險。

反復(fù)權(quán)衡考慮后，尹志堯還是決定去冒這個險，因為他已經(jīng)想出怎么把刻蝕設(shè)備做好的辦法。

1986年-1991年，尹志堯在LAM歷任研發(fā)部資深工程師、研發(fā)部資深經(jīng)理。5年間，尹志堯開發(fā)了彩虹號電容性介質(zhì)等離子體刻蝕機(jī)，也開始了電感性等離子體源ICP技術(shù)的開發(fā)。

尹志堯的加盟，幫助LAM擊敗了AMAT，成為國際最強(qiáng)刻蝕機(jī)公司，市場占有率超過40%。

這讓AMAT也盯上了尹志堯，并最終將他請了過去。

1991年-2004年，尹志堯在AMAT歷任等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品總部首席技術(shù)官、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲總部首席技術(shù)官。

在這期間，他幫助AMAT研發(fā)成功了幾種刻蝕機(jī)，AMAT的刻蝕機(jī)業(yè)務(wù)也做到世界最大，國際市場份額超40%。

到2004年，尹志堯已在硅谷從事半導(dǎo)體行業(yè)20年，參與并領(lǐng)導(dǎo)了國際幾代等離子體刻蝕機(jī)的研發(fā)，在半導(dǎo)體行業(yè)擁有了86項美國專利和200多項各國專利，也成為了國際等離子體刻蝕技術(shù)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化的重要推動者，以及微觀設(shè)備領(lǐng)域的“最強(qiáng)大腦”之一。

由此，尹志堯也被譽(yù)為“硅谷最有成就的華人之一”。

三

貢獻(xiàn)祖國和人民

2004年，已在硅谷功成名就，且已60歲的尹志堯，帶著一批資深的行業(yè)專家落戶上海浦東，創(chuàng)辦了中微公司。

從此，他開始和中國芯片產(chǎn)業(yè)的命運(yùn)緊密相依。

喚醒尹志堯內(nèi)心深處報國情懷的人是江上舟。

一個國際半導(dǎo)體設(shè)備展上，尹志堯偶遇了北京四中的校友，時任上海經(jīng)委副主任江上舟。

江上舟是公認(rèn)的“戰(zhàn)略家”和“實(shí)干家”，他較早地意識到半導(dǎo)體芯片是“國之重器”。也正是在江上舟的推動下，張汝京于2000年在上海創(chuàng)立了中芯國際。

江上舟在看了美國AMAT的刻蝕設(shè)備后，問尹志堯：“看來刻蝕機(jī)比原子彈還復(fù)雜，外國人用它來卡我們的脖子，我們能不能自己把它造出來？”

看到尹志堯有些猶豫，江上舟又說：“我是個癌癥病人，只剩下半條命，哪怕豁出命去也要為國家造出刻蝕機(jī)。我們一起干吧！”

尹志堯作為中國人的血脈覺醒了。

“我是一個中國人，在中國得到了很好的教育，在紅旗下長大的，這個‘根’是去不掉的。”尹志堯清楚，雖然在美國發(fā)展得很好，但美國畢竟不是自己的國家。

他說：“我給美國也做了相當(dāng)多的貢獻(xiàn)了，已經(jīng)夠了。但是我缺的一點(diǎn)就是，我沒有回報我的國家。”

尹志堯的祖父尹壽松、父親尹懷莘，都曾在赴日留學(xué)后選擇回國，為國家建設(shè)和民族工商業(yè)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。

“給外國人做了這么多年嫁衣，是時候給祖國和人民做點(diǎn)貢獻(xiàn)了。”尹志堯由此下定決心，延續(xù)家族前輩的精神，回國報效。

四

打鐵還得自身硬

尹志堯和他的團(tuán)隊回國了，但和老東家的糾葛還在。

2007年6月，中微公司首臺CCP刻蝕設(shè)備產(chǎn)品研制成功，并運(yùn)往國內(nèi)客戶。

2007年10月，AMAT在美國法院以商業(yè)秘密侵權(quán)為由起訴中微及尹志堯等人。

AMAT認(rèn)為，一定是從AMAT來到中微的人盜用了該公司的技術(shù)，畢竟他們熟悉AMAT的技術(shù)。

作為對策，中微公司聘用了美國一流的律師，用兩年半的時間和2500萬美元的律師費(fèi)，徹查了600萬件內(nèi)部文件，證明了自己的清白，最終和AMAT和解。

與AMAT的官司未了，尹志堯的前前東家LAM也來“湊熱鬧”。

2009年1月，LAM在中國臺灣起訴中微公司侵權(quán)。時機(jī)選得也很巧，就在中微公司設(shè)備剛要進(jìn)駐中國臺灣某大廠之前。

2009年9月，中國臺灣智慧財產(chǎn)法院認(rèn)為LAM主張的專利權(quán)不具有新穎性、進(jìn)步性，駁回LAM訴訟請求。其后LAM雖然兩次提起上訴，但都被駁回。

來而不往非禮也。

2009年2月，中微公司向中國臺灣智慧財產(chǎn)局提出舉發(fā)，主張LAM兩件涉訴專利無效，最終得到支持。

2010年12月，中微公司在上海起訴LAM侵犯公司商業(yè)秘密。2023年6月，法院終審判決，命令LAM銷毀其非法獲取的與中微公司等離子刻蝕機(jī)有關(guān)的一份技術(shù)文件和兩張照片。

值得一提的是，LAW的創(chuàng)始人也是華人，中文名林杰屏。

當(dāng)以前的合作者成為今天的對手，尹志堯覺得很正常，畢竟在商言商。

與此同時，尹志堯強(qiáng)調(diào)的是，只要重視知識產(chǎn)權(quán)、商業(yè)機(jī)密，既遵守我國的法律，也遵守美國的法律，就能立于不敗之地。

“這些較量再一次說明了，‘打鐵還得自身硬’。”尹志堯說，當(dāng)你從跟跑者變成領(lǐng)跑者，就不怕別人說抄襲了。

因為中微，美國對中國的卡脖子也得到突破。2015年，當(dāng)中微公司開發(fā)的國產(chǎn)等離子體刻蝕設(shè)備達(dá)到世界先進(jìn)水平，美國商務(wù)部立即就解除了這類設(shè)備持續(xù)幾十年的出口管制。

不過凡事都有兩面性，越來越硬的中微公司也被美國政府盯得越來越緊了。

2017年1月，美國總統(tǒng)科技專家委員會（PCAST）發(fā)布的國情咨文“確保美國在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長期領(lǐng)導(dǎo)地位”報告中，分析中國集成電路的芯片設(shè)計、制造、設(shè)備、材料和封裝產(chǎn)業(yè)，在32頁的報告里唯一提到的中國公司就是中微公司。

2021年1月，美國國防部無端地把中微公司列入軍事企業(yè)清單。經(jīng)過中微公司四個多月的據(jù)理力爭，美國國防部在2021年6月將中微公司從清單上移除。

但是，在2024年1月，美國國防部再次無理由地把中微公司列入在美國有運(yùn)營的軍事企業(yè)清單。

在向美國國防部嚴(yán)正交涉、提交有力申述無效的情況下，中微公司于2024年8月在美國正式起訴美國國防部。

經(jīng)過四個月的訴訟和進(jìn)一步的據(jù)理力爭，美國國防部于2024年12月正式將中微公司從清單移除。

尹志堯表示，此次成功地從清單移除，充分彰顯了中微公司維護(hù)自身合法權(quán)益的決心和能力。

中微公司官網(wǎng)則稱：“在過去的十七年里，中微公司在和美國設(shè)備公司及美國政府的五次法律訴訟中，四次取得勝利，兩次成功和解。這說明在商業(yè)和政府關(guān)系上，只要我們奉公守法，擺事實(shí)講道理，據(jù)理力爭，斗智斗勇，我們就會立于不敗之地。”

五

中微特色社會主義

除了要做好半導(dǎo)體設(shè)備，打造一個全員持股的公司也是尹志堯的志向。

雖然是公司的創(chuàng)始人，但尹志堯在中微公司的持股比例只有0.7%。

尹志堯從小到大都是學(xué)生領(lǐng)袖，做了20多年，曾任少先隊大隊委員會主席、共青團(tuán)委委員。

“一直受到社會主義教育。所以我夢想就是當(dāng)我有機(jī)會搞一個團(tuán)體的時候，一定要是共同勞動，共同享受。這是基因，沒有辦法改變的。”尹志堯說，這是他一輩子追求的愿望。

在中微公司，開車的司機(jī)、看門的招待員都有股票。

2020年，中微公司上市一年，市值達(dá)到1000億元。此時，公司750人里有375人，也就是整整一半的人是1000萬到1億的身價；有50人是1億到10億的身價；還有325人，包括剛剛從學(xué)校畢業(yè)入職中微兩三年的，也有100萬到1000萬的身價。

尹志堯認(rèn)為，真正的社會主義制度是有錢出錢，有力出力。資本是一種投資，勞動和智力也是一種投資，都應(yīng)該產(chǎn)生價值的。

所以，公司在價值生長過程中，可以拿出一部分，變成股權(quán)、期權(quán)，分給這些創(chuàng)造價值的人。

在中微公司，每一個級別的股權(quán)差20%，每一個級別的工資差10%。這是一個非常扁平的分配體系，帶有非常平均的社會主義色彩，尹志堯稱之為“中微特色社會主義”。

在尹志堯看來，全員持股的奇妙之處，是把員工和管理層的長遠(yuǎn)利益，和公司的發(fā)展綁定，激發(fā)團(tuán)隊活力，保證核心技術(shù)團(tuán)隊的穩(wěn)定性和持續(xù)性。

作為全球半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的塔尖人物，尹志堯從來都不是一個個人英雄主義者。

他強(qiáng)調(diào)，集成電路需要千百萬人集成的努力，這個產(chǎn)業(yè)不是哪一個英雄可以創(chuàng)造出來的，而是千千萬萬的工程師和工人一起合作才能做起來的。

至于自己，他說：

“我沒什么能耐，現(xiàn)在不會搞別的，就一直咬牙堅持做下去，就會做到世界最好。”

（全文完）

【邱處機(jī)簡介】

福建龍巖人，今年31歲，現(xiàn)在常駐北京。公眾號專注于撰寫商業(yè)牛人的成長經(jīng)歷和認(rèn)知升級，讓我們一起向他們學(xué)習(xí)，不斷成長，不斷進(jìn)化。