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“芯”火“遼”原已成勢丨證券時報、遼寧日報聯合調研報道：沈陽半導體設備 “六小虎” 全景圖譜
遼寧省的半導體裝備企業主要集中在沈陽市，芯源微、拓荊科技、富創精密、中科儀、和研科技和新松機器人等素有‘六小虎’之稱。
1. 山海關不住 投資逐浪高
2. 拓荊科技——踏遍荊棘沖破國際巨頭壟斷
3. 芯源微——爭當遼沈集成電路裝備產業“開路先鋒”
4. 富創精密——以精密零部件打通半導體設備“險關要隘”
5. 新松半導體——力爭拿下晶圓傳輸領域“國內份額第一”
6. 和研科技——打響半導體切磨拋設備技術攻堅和市場突圍戰
7. 中科儀——深耕近70年實現國內干式真空泵多項零的突破
沈陽半導體設備“六小虎”畫像：飛云路闖出一支國產替代“先鋒軍”
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