芯片超人組織的德國商務考察活動正在招募！9月4日至9月14日，實地走訪德國五個城市，重點聚焦全球兩大頂級展會，帶大家一起走進歐洲電子產業最前沿！

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作者 | ZeR0

來源 | 芯東西（ID：aichip001）

芯東西7月7日報道，6月30日，國內領先的半導體制造設備核心部件提供商及真空科學儀器設備供應商中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（簡稱“中科儀”）北交所IPO申請獲受理。

中科儀有限公司成立于2001年4月，股份公司成立于2011年12月，注冊地址在沈陽市，注冊資本為1.72億元，被評為2020年度、2023年度國家“專精特新”小巨人企業。

其法定代表人為中科儀董事長郭東民，控股股東是國科科儀控股有限公司，實際控制人是中國科學院控股有限公司。

作為中國科學院下屬專注于潔凈真空、超高真空技術研究和發展的企業，中科儀是我國真空技術及真空類科學儀器攻堅的主力軍，是集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業，也是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，以及唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現批量應用的國產企業，有效保障了我國集成電路制造設備關鍵零部件的自主可控和供應鏈安全。

中科儀的主要產品包括用于集成電路晶圓制造及光伏電池等泛半導體產品制造的干式真空泵，以及面向國家重大科技基礎設施和科研領域的真空科學儀器設備。

截至目前，中科儀各類干式真空泵的出貨量已累計超過4萬臺，其中集成電路領域出貨量超2.5萬臺。

根據市場預計數據測算，2024年中科儀干式真空泵在集成電路領域國內市占率約為12.72%，打破歐美及日本企業在國內市場的長期壟斷。國內主要同行業企業尚處于小批量導入階段。

其集成電路企業客戶數量已超過100家，包括中芯國際、華虹集團、長江存儲、長鑫存儲、晶合集成、華潤微、上海積塔、廣州粵芯、青島芯恩等國內主流晶圓廠，以及北方華創、拓荊科技、中微公司等國內領先半導體設備制造企業，且產品已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現小批量出貨。

截至2024年末，中科儀分別持有拓荊科技1.54%股份、中科信息0.80%股份，公允價值合計7.35億元，占中科儀期末資產總額的比例為25.20%。

中科儀于2014年7月16日在全國中小企業股份轉讓系統（新三板）掛牌上市，2020年曾向上交所提交了科創板IPO申請，但隨后在2021年5月主動撤回。目前中科儀最新市值為74億元。

本次IPO，中科儀擬募資8.25億元，用于干式真空泵產業化建設、高端半導體設備擴產及研發中心建設、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發項目。

01

年收入超10億

持股拓荊科技、中科信息

真空泵是半導體制造的關鍵部件。集成電路產業15個主要工藝環節中的11個需要使用真空泵實現真空環境的獲得，占比超過70%。

隨著集成電路制程逐漸向先進工藝演進，制造的精細度和復雜度顯著提升，對潔凈真空環境的要求也更加苛刻，越來越多的工序需要移入真空環境中進行，且每道工序所需要的真空泵的數量和技術要求越來越高。

例如當先進工藝演進到7nm時，必須使用EUV光刻技術，與傳統光刻技術不同的是，EUV光刻技術必須在真空環境中才能實現。

作為中國科學院下屬專注于潔凈真空、超高真空技術研究和發展的單位，中科儀前身自1958年成立以來一直圍繞國家科技創新需求，承擔多項重大科研項目，開展真空技術研發，是真空類科學儀器設備攻堅的主力軍。

在此基礎上，中科儀持續將研發成果轉化為產業應用，提升干式真空泵的國產化水平和應用規模，逐漸成為中國半導體和泛半導體領域的核心零部件提供商。

▲中科儀主營業務演變情況

2022年、2023年、2024年，中科儀的營收分別為6.98億元、8.52億元、10.82億元，凈利潤分別為4.98億元、6.00億元、1.93億元，研發費用分別為0.60億元、0.85億元、1.10億元。

▲2022年~2024年中科儀營收、凈利潤、研發支出變化（芯東西制圖）

其凈利潤波動較大，主要原因是截至2024年末，中科儀分別持有A股上市公司拓荊科技1.54%股份、中科信息0.80%股份。報告期內各期，中科儀因持有這些上市公司股份產生的公允價值變動損益和出售股份產生的投資收益合計分別為4.62億元、5.46億元、0.08億元，均計入非經常性損益。

中科儀歸屬于母公司所有者的扣除非經常性損益后的凈利潤由 2022年的6186.11萬元增至2024年的8787.75萬元，復合增長率為19.19%。

2022年、2023年、2024年，中科儀的綜合毛利率分別為 32.60%、33.02%、29.44%，低于同行業上市公司，主要原因是拓荊科技、華海清科、北方華創、中微公司均從事半導體核心設備的研發生產和銷售，議價能力相較中科儀更強，產品毛利率相對較高；與中科儀產品在半導體產線應用場景較為相像的上市公司為京儀裝備，毛利率無顯著差異。

按產品及服務類別區分，干式真空泵是中科儀的第一大收入支柱，過去三年收入占比逐年增長。

2024年，其超過84%的收入來自集成電路應用領域。

中科儀自主研發形成了8大核心技術。截至2024年末，該公司共有158名研發人員，占員工總數的16.83%；擁有發明專利99項，取得軟件著作權登記30項，負責或作為主要參與方起草了13項真空技術相關的國家、行業及團體標準。

02

研制3大系列近40款干式真空泵，大客戶包括長江存儲、中芯國際

2022~2024年，中科儀干式真空泵的銷量超過2萬臺。

干式真空泵是半導體和泛半導體領域主流用泵。中科儀的干式真空泵產品主要為羅茨干泵，研制的3大系列近40款型號干式真空泵產品已實現大批量應用，可適配ASML、KLA、LAM Research、AMAT、TEL、HITACHI、北方華創、中微公司、拓荊科技、東方晶源等30余家國內外主流設備廠商的數百種機臺，全面滿足市場多樣化需求。

半導體苛刻工藝制程工況復雜，對干式真空泵的要求極高。中科儀率先研制出用于苛刻工藝制程的產品，打破國外廠商的長期壟斷，其干式真空泵產品滿足14nm先進邏輯芯片以及128層及以上 3D NAND等存儲器工藝的生產需要，已在中國各領先晶圓制造企業實現大批量應用。

除硅基半導體外，其干式真空泵產品也可廣泛應用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導體的制備，并已實現批量交付。

2022年、2023年、2024年，中科儀向前五名客戶的銷售金額分別占當期營收的42.11%、41.84%、44.06%，不存在向單個客戶的銷售比例超過總額50%的情形，也不存在嚴重依賴于少數客戶的情形。

過去三年，其大客戶包括長江存儲、隆基綠能、中芯國際、青島芯恩、中科院高能物理研究所、上海積塔半導體、長鑫科技、北方華創等。

中科儀持股5%以上的股東國家集成電路基金，直接持有上述主要客戶權益情況如下：

同期，中科儀向前五名供應商的采購金額分別占當期總采購額的35.97%、30.33%、34.83%，不存在向單個供應商的采購比例超過總額50%的情形，也不存在嚴重依賴于少數供應商的情形。

報告期內，中科儀控股股東、實際控制人、董事、監事、高級管理人員以及持股5%以上的股東與上述供應商不存在關聯關系，亦不存在占有上述供應商權益的情形。

03

背靠中科院

國家大基金為第二大股東

截至招股書簽署日，國科科儀占中科儀股份總數35.21%，是中科儀的控股股東。

中國科學院控股有限公司（簡稱“國科控股”）持有國科科儀100%股權，通過國科科儀控制中科儀35.21%股份，是中科儀的實際控制人。中國科學院持有國科控股100%股權。

持有中科儀5%以上股份的股東還包括：國家集成電路基金，持股19.73%；渾璞五期，持股5.01%。

▲本次發行前中科儀前十名股東情況

截至2025年6月9日，中科儀董事、監事、高級管理人員及其近親屬持股情況及該等股份截至招股書簽署日的限售情況如下：

其核心技術人員持有中科儀的股份情況如下：

04

結語：國外企業仍有先發優勢，真空泵面臨市場競爭加劇風險

國外領先真空泵企業成立時間較早、業務規模較大、產品布局完備，并已在多個應用領域實現規模化應用。Edwards、Ebara 等國際領先廠商在真空技術領域擁有數十年的研發、制造經驗，積累了大量產品設計和技術工藝。這些廠商已在國內外主要設備廠或晶圓廠中實現導入，具有先發優勢。

目前中科儀的干式真空泵在集成電路應用領域中，在國產廠商中處于絕對領先地位。雖然近年來受國家重大科技專項等政策支持，以中科儀為代表的國內企業實現了在集成電路制造領域的技術突破和產業化，但由于我國相關產業起步較晚、規模有限、產業基礎相對薄弱，與國外知名的競爭對手相比在品牌知名度、產品批量應用規模等方面均存在一定劣勢。

此外，規模較大的晶圓廠在選擇零部件供應商時，通常會優先考慮真空泵已在其產線中批量應用，或真空泵已成功應用至其他領先晶圓廠產線中的供應商。

報告期內，中科儀銷售的干式真空泵主要應用于集成電路、光伏領域。而國際領先廠商的產品類型豐富，下游應用覆蓋半導體、泛半導體、工業制造、生物醫藥等多個領域。相比之下，中科儀的產品覆蓋領域有限，仍需進一步拓展，并面臨市場競爭加劇的風險。

9月4日至9月14日

，芯片超人將開啟

，實地走訪德國

五個城市，重點聚焦

全球兩大頂級展會：

（簡稱“慕尼黑車展”）

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