日本媒體《日經(jīng)亞洲》突然承認(rèn)，中國快搞出自己的高端光刻機(jī)了。這可不是小事，因?yàn)楣饪虣C(jī)是芯片制造的核心設(shè)備，以前全球就荷蘭ASML一家能造最頂尖的。文章說中國用了五年，從連圖紙都看不懂到現(xiàn)在能自己造機(jī)子，速度比西方預(yù)想的快多了。

事情要從去年說起，中國砸了3440億搞芯片設(shè)備，重點(diǎn)攻關(guān)光刻機(jī)?，F(xiàn)在上海微電子已經(jīng)量產(chǎn)了90納米光刻機(jī)，占國內(nèi)八成市場。更厲害的是，他們用老技術(shù)疊加新方法，居然做出了7納米芯片的樣品，雖然成本高但證明能行。

日本和荷蘭慌得很，因?yàn)樗麄兊脑O(shè)備賣不動(dòng)了。今年前兩個(gè)月，日本半導(dǎo)體設(shè)備出口暴跌6%，主要是中國訂單少了。有個(gè)日本公司高管抱怨，以前中國求著買設(shè)備，現(xiàn)在連電話都懶得打了。荷蘭ASML倒是還在賺錢，去年中國買了他們41%的設(shè)備，但同時(shí)也在加速自己研發(fā)。

中國搞光刻機(jī)有兩招：一是繞開美國的技術(shù)封鎖。比如他們不用美國禁運(yùn)的二氧化碳激光，改用固體激光激發(fā)錫等離子體，效率雖然不如ASML，但已經(jīng)是全球第二。二是另辟蹊徑，比如復(fù)旦大學(xué)搞了個(gè)不用傳統(tǒng)模板的新技術(shù)，能在芯片上直接刻0.4微米精度的圖案，適合物聯(lián)網(wǎng)這種不太需要頂尖制程的領(lǐng)域。

政府的錢起了大作用。2024年國家芯片基金投了3440億，帶動(dòng)了1萬多億民間資金，重點(diǎn)攻關(guān)光刻機(jī)的光源、鏡頭和控制系統(tǒng)?，F(xiàn)在中國芯片設(shè)備國產(chǎn)化率從三年前20%漲到45%，光刻機(jī)是最后的硬骨頭。

不過中國還有短板。比如做最頂尖的極紫外光刻機(jī)，光源功率要突破500瓦，現(xiàn)在還差得遠(yuǎn)。光學(xué)精度也比國際水平低五到十年，國產(chǎn)設(shè)備出錯(cuò)率是進(jìn)口設(shè)備的20倍。但中國有個(gè)優(yōu)勢：全球80%的芯片需求集中在28納米以上成熟制程，國產(chǎn)光刻機(jī)正好能打這個(gè)市場。

新能源汽車、智能設(shè)備這些領(lǐng)域需要的芯片，中國現(xiàn)在能自己造設(shè)備生產(chǎn)了。而且他們在研究新方法，比如納米壓印、電子束直寫，說不定能繞過傳統(tǒng)路線，直接建立自己的標(biāo)準(zhǔn)。

ASML現(xiàn)在騎虎難下。他們靠中國賺錢，但中國一邊買設(shè)備一邊自己搞研發(fā)。ASML總裁說“你越限制，中國人越努力”，結(jié)果中國把研發(fā)周期縮短了三分之二。最近ASML還宣布要在華加大投入，可能是想拉住這個(gè)大客戶。

日本更慘，尼康、佳能的訂單暴跌四到五成。以前他們靠賣設(shè)備賺錢，現(xiàn)在中國自己能造了，自然不買了。有日本媒體說，中國光刻機(jī)一旦量產(chǎn)，全球芯片設(shè)備市場就會(huì)變成中、日、荷三國混戰(zhàn)，ASML的壟斷地位不保。

中國的目標(biāo)很明確：2027年量產(chǎn)14納米光刻機(jī)，2030年突破極紫外技術(shù)。如果真做到，那中國就不再是跟跑者，而是能和歐美日平起平坐?，F(xiàn)在他們已經(jīng)在物聯(lián)網(wǎng)芯片領(lǐng)域用了自家設(shè)備，證明能用。

技術(shù)差距還在，但中國在一步步追。從北斗導(dǎo)航到5G，中國以前也這么干過，從啥都不會(huì)到全球領(lǐng)先?，F(xiàn)在光刻機(jī)這條路上，他們又開始了同樣的征程。