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每臺(tái)4億美元，重達(dá)180噸，全球最先進(jìn)的光刻機(jī)終于揭開神秘面紗！

2025年5月27日，央視的鏡頭對(duì)準(zhǔn)了一個(gè)龐然大物，它就是目前全球最先進(jìn)的光刻機(jī)：High-NA EUV極紫外光刻機(jī)。

這臺(tái)需要拆解成250個(gè)獨(dú)立貨箱、動(dòng)用7架波音747運(yùn)輸?shù)木扌凸饪虣C(jī)，引得世界眾多芯片制造商“競(jìng)折腰”，雖然一個(gè)個(gè)爭(zhēng)前恐后的訂購(gòu)，但也只有三家頂尖芯片制造商捷足先登。

央視在此時(shí)報(bào)道在這臺(tái)全球首屈一指的光刻機(jī)，到底有什么深意？這臺(tái)光刻機(jī)又有什么過(guò)人之處？

世界最先進(jìn)的光刻機(jī)

光刻機(jī)被稱為“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”，要想在芯片產(chǎn)業(yè)拔得頭籌，先進(jìn)的光刻機(jī)必不可少，而極紫外光又是芯片制造的“先鋒技術(shù)”。

這臺(tái)價(jià)值4億美元的設(shè)備，通過(guò)波長(zhǎng)僅13.5納米的極紫外光，將電路圖案投射到硅晶圓上，指甲蓋大小的芯片空間里，需要精確“雕刻”上百億個(gè)晶體管，每個(gè)晶體管尺寸僅相當(dāng)于病毒大小的千分之一。

這種精度要求，普通光源根本無(wú)法實(shí)現(xiàn)。

為了實(shí)現(xiàn)這種極致精度，科學(xué)家們研發(fā)出每秒鐘數(shù)萬(wàn)次激光轟擊液態(tài)錫靶的技術(shù)，激發(fā)出極紫外光。由于這種光連空氣都能吸收，整個(gè)光刻過(guò)程必須在真空環(huán)境中進(jìn)行，如同在太空中完成芯片制造的“顯微手術(shù)”。

有趣的是，即便擁有這樣的先進(jìn)技術(shù)，全球芯片巨頭們卻表現(xiàn)得異常謹(jǐn)慎。

目前全球僅交付五臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)，英特爾、臺(tái)積電和三星三大巨頭各有所獲，而當(dāng)被問(wèn)及是否在下一代A14制程中采用該技術(shù)時(shí)，臺(tái)積電技術(shù)負(fù)責(zé)人坦言：

“尚未找到足夠理由證明這筆巨額投資的必要性。”

在此之外，每臺(tái)設(shè)備近4億美元的天價(jià)，已經(jīng)是傳統(tǒng)設(shè)備的兩倍有余，這讓財(cái)大氣粗的芯片巨頭也必須精算成本效益。

在荷蘭計(jì)劃生產(chǎn)的5臺(tái)設(shè)備中，分別落戶于三大芯片巨頭，他們分別是英特爾、臺(tái)積電和三星。

這一反常分配背后，也體現(xiàn)了美國(guó)希望重奪芯片制造主導(dǎo)權(quán)的直接干預(yù)，而央視此時(shí)報(bào)道這道設(shè)備，背后深意也不言而喻。

大國(guó)間的芯片競(jìng)賽

如今，光刻機(jī)儼然已成為大國(guó)科技競(jìng)爭(zhēng)的核心戰(zhàn)場(chǎng)。

由于技術(shù)門檻極高，全球能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的企業(yè)僅有ASML一家，形成絕對(duì)的壟斷，而美國(guó)政府近年來(lái)多次施壓荷蘭，限制ASML向中國(guó)出口EUV光刻機(jī)。

2025年初的政策收緊，直接導(dǎo)致ASML股價(jià)暴跌13%，芯片股普遍下挫，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)隨之震蕩，面對(duì)技術(shù)封鎖，中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈正在悄然突破。

除此之外，央視報(bào)道中還特別聚焦國(guó)產(chǎn)光刻技術(shù)進(jìn)展：

上海微電子已成為國(guó)內(nèi)唯一能生產(chǎn)高端前道光刻機(jī)的整機(jī)廠商，其90納米光刻機(jī)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用，28納米技術(shù)進(jìn)入最后沖刺階段，在功率半導(dǎo)體、模擬芯片等特定領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)支撐起實(shí)際生產(chǎn)線運(yùn)轉(zhuǎn)。

在關(guān)鍵材料領(lǐng)域，晶瑞電材成功研發(fā)7納米制程用光刻膠，南大光電的ArF光刻膠通過(guò)客戶認(rèn)證。

2025年3月，中科院宣布全固態(tài)深紫外光源技術(shù)取得突破，摒棄傳統(tǒng)氣體激光方式，采用Yb：YAG晶體放大器生成激光，使設(shè)備體積縮小30%、能耗降低50%，理論上可支持3納米芯片制造。

早在2020年，我國(guó)就出臺(tái)了《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》，明確支持本土芯片產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展。

央視此次高調(diào)展示全球最先進(jìn)光刻機(jī)，既是對(duì)產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀的科普，更是對(duì)自主創(chuàng)新的鞭策。

當(dāng)我們把視野放得更寬，半導(dǎo)體史上的技術(shù)封鎖往往成為創(chuàng)新的催化劑，1970年代，日本通產(chǎn)省組織日立、三菱等五大企業(yè)聯(lián)合攻關(guān)DRAM技術(shù)，最終打破美國(guó)壟斷。

21世紀(jì)初中國(guó)高鐵技術(shù)引進(jìn)時(shí)，西門子開出天價(jià)技術(shù)轉(zhuǎn)讓費(fèi)，反而促使中國(guó)自主研發(fā)出“復(fù)興號(hào)”動(dòng)車組。歷史反復(fù)證明：技術(shù)封鎖只會(huì)加速自主創(chuàng)新。

ASML首席執(zhí)行官Peter Wennink曾坦言：

“阻礙中國(guó)的發(fā)展是最錯(cuò)誤的選擇，因?yàn)橹袊?guó)總能找到突破的方法。”

當(dāng)中科院固態(tài)光源技術(shù)將光刻設(shè)備體積縮小30%，當(dāng)上海微電子的封裝光刻機(jī)進(jìn)入產(chǎn)線，央視鏡頭下的這臺(tái)4億美元“巨獸”，更像是半導(dǎo)體進(jìn)化史上的一個(gè)坐標(biāo)點(diǎn)。

封鎖技術(shù)并不會(huì)讓中國(guó)止步不前，反而讓我們昂首闊步走在自主創(chuàng)新的道路上，當(dāng)央視聚焦在全世界最先進(jìn)的光刻機(jī)上，也是讓我們清醒地意識(shí)到差距，并且堅(jiān)定不移走在發(fā)展的道路上。

信息來(lái)源：
1.央視網(wǎng)2025.05.27《[今日亞洲]造價(jià)超4億美元！最先進(jìn)光刻機(jī)公開》
2.央視新聞2025.05.21《美國(guó)企圖全球禁用中國(guó)先進(jìn)計(jì)算芯片 商務(wù)部回應(yīng)》