本期話題：

00:30半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備對良率的重要意義

04:25通過差異化競爭，覆蓋94.9%的前道量檢測設(shè)備

08:25面對國際巨頭壟斷，初創(chuàng)公司將如何破局？

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半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備對良率的重要意義

幻實(shí)（主播）：

歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，我是主播幻實(shí)。本期我邀請到了一家專注于半導(dǎo)體前道檢測與量測設(shè)備領(lǐng)域的公司——無錫卓海科技股份有限公司（以下簡稱：卓海科技），現(xiàn)在坐在我旁邊的就是來自卓海科技的研發(fā)總監(jiān)、上海研發(fā)中心總經(jīng)理俞勝武。

卓海科技研發(fā)總監(jiān)、上海研發(fā)中心總經(jīng)理 俞勝武 做客芯片揭秘

俞勝武（嘉賓）：

大家好，我是卓海科技的俞勝武，很高興今天有機(jī)會和幻實(shí)一起交流。

幻實(shí)（主播）：

俞總是我們芯片揭秘的老粉絲了，我想問一下，您是什么時(shí)候關(guān)注到我們芯片揭秘欄目的？是有朋友推薦嗎？還是直接搜索到的？

俞勝武（嘉賓）：

我應(yīng)該是去年關(guān)注芯片揭秘的，就是在網(wǎng)上看到的，在抖音上、視頻號上都刷到過。我記得你們好像還有音頻節(jié)目吧？反正多個渠道都看到過你們節(jié)目。

幻實(shí)（主播）：

是的，我們音頻、視頻、圖文都有在做。那說明大數(shù)據(jù)還是有用的，它把對我們這種硬科普感興趣的人都給推薦了，否則我覺得像您這種理工背景的人是不可能在抖音上專門搜這些東西的吧？

俞勝武（嘉賓）：

是的，我也沒有特意去檢索，因?yàn)槲視r(shí)不時(shí)會關(guān)注金融、半導(dǎo)體領(lǐng)域，所以可能就是大數(shù)據(jù)推送的。

幻實(shí)（主播）：

不過實(shí)話實(shí)說，您覺得關(guān)注我們這樣的平臺欄目，對你們的工作或者是開拓產(chǎn)品有沒有一些助力？

俞勝武（嘉賓）：

幫助是有的，因?yàn)槲覀兇_實(shí)要了解行業(yè)的一些信息，然后你們從不同的緯度，從新媒體或者是投資的角度去看這個行業(yè)，給了我們另外一個視角。

幻實(shí)（主播）：

我們現(xiàn)在應(yīng)該做了有四百多期了，您關(guān)注的時(shí)候估計(jì)是三百多期。這么多期下來，我們確實(shí)聊了非常多的產(chǎn)業(yè)鏈、環(huán)節(jié)、流程相關(guān)內(nèi)容。俞總今天想給我們帶來哪一個環(huán)節(jié)的分享？其實(shí)我還蠻期待的。

俞勝武（嘉賓）：

好的，我也蠻想借這個機(jī)會講講卓海科技的創(chuàng)業(yè)過程以及我們新產(chǎn)品部門的故事。這個領(lǐng)域在國內(nèi)真正興起也就是最近這幾年，所以大家其實(shí)還是處于一個創(chuàng)業(yè)的狀態(tài)來做這個事情。

幻實(shí)（主播）：
所以您現(xiàn)在還是以一種創(chuàng)業(yè)的心態(tài)在工作。俞總，想請您跟我們分享一下你們現(xiàn)在處于什么賽道？產(chǎn)品和技術(shù)面對什么市場？主要解決什么問題？

俞勝武（嘉賓）：

我們現(xiàn)在所在的是半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備行業(yè)。我們都知道良率是半導(dǎo)體行業(yè)的生命線，因?yàn)樗婕暗降墓に嚭芏唷Ｎ覀冇袀€計(jì)算的公式，比如說每道制程或者說每個工藝它有99%的良率，但是經(jīng)過600道工藝之后，可能最終良率就只有0.24%，接近于0了。這就說明了每個流程的良率控制對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是非常的重要的。那怎么才能做這些良率的量檢測呢？這個就要講到半導(dǎo)體量檢測行業(yè)了。通過量測和檢測，能夠把每道工序的各個工藝環(huán)節(jié)以及技術(shù)參數(shù)和缺陷檢測出來，這個就是我們目前所處的行業(yè)情況，它在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)里面是非常重要的一個環(huán)節(jié)。

12吋全自動型電阻儀ZH-PR12A（圖源：卓海科技）

幻實(shí)（主播）：
量檢測設(shè)備其實(shí)這些年國產(chǎn)化率還是比較低的，而且確實(shí)還是日美韓等國在這方面優(yōu)秀的公司比較多，你們選擇了哪一塊業(yè)務(wù)來進(jìn)行開拓？

俞勝武（嘉賓）：

我們量檢測行業(yè)跟國外先進(jìn)水平相比，差距還是非常大的。卓海科技于2009年成立，我們之前十幾年一直專注于前道量檢測設(shè)備的修復(fù)以及運(yùn)維，從2020年開始籌建自研的新產(chǎn)品。所以我們目前其實(shí)是圍繞著修復(fù)、運(yùn)維以及自研三大板塊來進(jìn)行業(yè)務(wù)布局的。

通過差異化競爭，覆蓋94.9%的前道量檢測設(shè)備

幻實(shí)（主播）：
目前你們著手三大塊維度，這三大塊維度的選擇有什么關(guān)聯(lián)性嗎？

俞勝武（嘉賓）：

這三大板塊有很強(qiáng)的互補(bǔ)性。卓海科技主要是通過設(shè)備修復(fù)技術(shù)來進(jìn)行企業(yè)積淀的，在修復(fù)的過程當(dāng)中，我們積累了大量的機(jī)臺的經(jīng)驗(yàn)，量檢測產(chǎn)品覆蓋的范圍也非常廣，達(dá)到了前道94.9%的產(chǎn)品覆蓋比例。通過這么多年的積累，我們對量檢測行業(yè)的認(rèn)知比較深，對機(jī)臺的經(jīng)驗(yàn)以及客戶的痛點(diǎn)也比較了解，所以我們比較清楚從什么樣的設(shè)備、機(jī)臺入手來做自研，這對我們自研的方向來說是一個很好的支撐。除了方向上、經(jīng)驗(yàn)上的支持，在資金以及渠道方面，也為我們自研產(chǎn)品提供了有力的支持。卓海科技的運(yùn)營情況非常好，從2020年到2023年，我們每年的營收基本上保持著50%以上的增長，毛利率基本上可以穩(wěn)定在60%。

幻實(shí)（主播）：
這個毛利率聽起來是非常高的。

俞勝武（嘉賓）：

是的，營收情況也非常好。我們?nèi)ツ陜衾麧櫼灿幸粌|多，所以我們有足夠的資金支撐來給我們的自研產(chǎn)品助力。您也知道半導(dǎo)體量檢測行業(yè)是一個人才密集型、資金密集型的產(chǎn)業(yè)，所以需要大量的資金。還有就是渠道的支持，我們通過前面十多年的積累，擁有了大量的客戶資源，這些客戶對我們有充分的信任度，所以一旦我們的新產(chǎn)品出來之后，這些客戶就樂意來嘗試或者接受我們的新產(chǎn)品。總的來說，經(jīng)驗(yàn)、資金、渠道等幾個方面對我們自研新品有很大的助力。

全自動應(yīng)力儀 ZH-FS12AS（圖源：卓海科技）

幻實(shí)（主播）：

但是自研產(chǎn)品的財(cái)務(wù)模型完全不同，對吧？它跟維修設(shè)備完全不在一個挑戰(zhàn)上面，投入量會非常大，你們到目前為止花了多少心血？進(jìn)展到什么程度了？

俞勝武（嘉賓）：

對，我們從2020年開始籌劃自研新品，2021年正式組建。目前團(tuán)隊(duì)也就40多人，但是我們已經(jīng)布局了9款產(chǎn)品，包括一些核心零部件，比如說紫外固態(tài)激光器、高壓電源裝置等。在整機(jī)方面，我們有薄膜應(yīng)力檢測儀、四探針電阻測量儀、膜厚檢測儀以及最近剛剛立項(xiàng)的缺陷檢測儀、光聲金屬薄膜量測儀等。實(shí)際上我們也是由易到難，隨著團(tuán)隊(duì)的發(fā)展不斷地去挑戰(zhàn)更復(fù)雜的機(jī)臺，堅(jiān)持循序漸進(jìn)的發(fā)展路徑。

幻實(shí)（主播）：

您剛剛說了一些新品，我覺得方向還挺多的。我想知道這是您帶隊(duì)定的方向嗎？

俞勝武（嘉賓）：

這是我們公司內(nèi)部共同決定的。首先商務(wù)部門對市場比較了解，知道客戶需要什么，清楚客戶的痛點(diǎn)；另外我們在翻修的過程當(dāng)中，根據(jù)對機(jī)臺的知識或者技術(shù)的了解，判斷什么樣的設(shè)備是適合我們目前的技術(shù)能力去挑戰(zhàn)的。結(jié)合這幾個方面，我們會有比較精準(zhǔn)的產(chǎn)品方向。

幻實(shí)（主播）：

您可否選擇其中一個產(chǎn)品方向來給我們展開講一講，具體的這款產(chǎn)品你們打算用什么方式來獲得國內(nèi)的客戶？做到了什么程度？產(chǎn)品的性能或者競爭力怎么樣？

俞勝武（嘉賓）：

比如說我們的一款四探針電阻儀，它是測方塊電阻的，它對標(biāo)的實(shí)際上是美國KLA公司的產(chǎn)品。以前在我們立項(xiàng)的時(shí)候，國內(nèi)市場上基本上還沒有人在做這個，所以我們覺得這是一個很好的產(chǎn)品方向。我們就直接對標(biāo)RS系列的產(chǎn)品開始自研。

幻實(shí)（主播）：

這個產(chǎn)品解決的問題是什么？

俞勝武（嘉賓）：

它主要是用方塊電阻電學(xué)檢測的方式來進(jìn)行膜厚的測量。

幻實(shí)（主播）：

測膜厚的儀器，所以這也是前道的一個設(shè)備？

俞勝武（嘉賓）：

是的，它是前道的一款重要的產(chǎn)品。

光聲金屬薄膜量測儀（圖源：卓海科技）

面對國際巨頭壟斷，初創(chuàng)公司將如何破局？

幻實(shí)（主播）：

目前賣的比較好的是國外的KLA的產(chǎn)品，但我聽說像這些海外公司現(xiàn)在對中國的供貨不是特別友好，你們是怎么解決技術(shù)來源問題的呢？

俞勝武（嘉賓）：

實(shí)際上在研發(fā)的過程中，我們發(fā)現(xiàn)這些機(jī)臺里面有很多黑盒子，只有我們從正向的原理上去深入的理解，然后結(jié)合我們電學(xué)方面的技術(shù)積淀，比如對小信號的處理、采集以及對工藝的了解，來最終形成我們自己的解決方案。

幻實(shí)（主播）：

您覺得在這個過程中挑戰(zhàn)最大的是什么？

俞勝武（嘉賓）：

挑戰(zhàn)還是很大的。一方面是電學(xué)檢測的方式的難題。在電學(xué)檢測中，對那些小電流的處理、微弱信號的處理，需要非常先進(jìn)的技術(shù)以及很高的操作要求；另外一方面就是對半導(dǎo)體工藝的理解還面臨著非常大的挑戰(zhàn)。我們也是通過好多代產(chǎn)品不停的迭代，最終才能夠達(dá)到對標(biāo)國外產(chǎn)品的水平。目前這款產(chǎn)品得到了一些Fab廠充分地驗(yàn)證，也有幾十臺的出貨量級了。

幻實(shí)（主播）：

你們已經(jīng)有幾十臺的交貨，這個其實(shí)可以叫做批量出貨了，說明得到了客戶的認(rèn)可。我聽起來時(shí)間不長，能在這么短的時(shí)間內(nèi)取得這么快的結(jié)果，是什么原因呢？

俞勝武（嘉賓）：

因?yàn)槲覀兊难邪l(fā)團(tuán)隊(duì)還是以創(chuàng)業(yè)的心態(tài)來做產(chǎn)品的。我們的研發(fā)人員用“自驅(qū)精益”來嚴(yán)格要求自己，最終形成一個個精兵強(qiáng)將。其實(shí)每個專業(yè)領(lǐng)域我們可能人員配備都不多，就一、兩位工程師，但是大家非常地專注來做事情。

幻實(shí)（主播）：

我還有一個問題，你們?nèi)齻€板塊之間會不會有一些對自身的發(fā)展有所限制的？賣自研產(chǎn)品是不是就會影響傳統(tǒng)的業(yè)務(wù)？在這方面你們內(nèi)部有什么樣的戰(zhàn)略平衡呢？

芯片揭秘 主播幻實(shí)（左） 對話

卓海科技研發(fā)總監(jiān)、上海研發(fā)中心總經(jīng)理 俞勝武（右）

俞勝武（嘉賓）：

這就有點(diǎn)類似于武俠世界的“左右互搏”。面對這種趨勢，我們是這樣考慮的：一方面，半導(dǎo)體量檢測行業(yè)的國產(chǎn)化率非常低，目前只有3.6%，這意味著還有極大的拓展空間；另一方面就是“一代工藝，一代產(chǎn)品”，隨著半導(dǎo)體工藝不斷更新迭代，每一代工藝對應(yīng)的產(chǎn)品也在變化，因此國內(nèi)的Fab產(chǎn)線翻新設(shè)備的需求量還是非常大的，我們有足夠的成長空間，能夠維持自己翻新的業(yè)務(wù)以及運(yùn)維的業(yè)務(wù)，所以我們也非常有信心。通過這樣的一個時(shí)間窗口，我們的自研產(chǎn)品也會逐步的成長起來，所以我覺得對我們的業(yè)務(wù)來講，這三大板塊有很強(qiáng)的互補(bǔ)性。

幻實(shí)（主播）：

我能感覺到俞總充滿了激情。我知道您之前也是大廠出來的，投身這種初創(chuàng)公司，感覺角色要發(fā)生很多的變化，您能適應(yīng)嗎？

俞勝武（嘉賓）：

我覺得也是能比較好的適應(yīng)的。原先我在大廠里面學(xué)到了非常規(guī)范的企業(yè)管理以及研發(fā)流程管理經(jīng)驗(yàn)，到一個初創(chuàng)的企業(yè)之后，實(shí)際上把原先大廠的這些經(jīng)驗(yàn)跟初創(chuàng)公司的實(shí)際情況結(jié)合起來，就能完成很好的過渡。不過在初創(chuàng)公司里面，大家要非常的自驅(qū)精益，要非常高效。

幻實(shí)（主播）：

當(dāng)下半導(dǎo)體的創(chuàng)業(yè)環(huán)境并不是特別好，對外有國際巨頭壟斷，對內(nèi)經(jīng)過這么多年的發(fā)展，國內(nèi)也已經(jīng)形成了一些龍頭公司，這些公司擁有比較強(qiáng)的侵占性。以前它們可能只是做某一個產(chǎn)品，但是為了支撐它的體量，現(xiàn)在開始進(jìn)行多個行業(yè)布局。那對于初創(chuàng)公司來說，感覺剩余的空白點(diǎn)或者是機(jī)會不多了，你們團(tuán)隊(duì)有沒有悲觀或者緊迫的感覺，您怎么解讀這個局面呢？

俞勝武（嘉賓）：

首先我們有一個清醒的認(rèn)識，就是跟國外的差距非常大。差距大一方面意味著有非常多的機(jī)會，另一方面也面臨非常大的挑戰(zhàn)。國內(nèi)半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域的友商比較多，競爭也非常激烈，所以我們要立足自身的稟賦跟特長，用我們的方式來迎接這樣的挑戰(zhàn)。前面也講了，卓海科技有很多修復(fù)方面的經(jīng)驗(yàn)，這個就是我們獨(dú)特的優(yōu)勢，它能夠很好地助力我們的自研，同時(shí)我們用自有資金不停的進(jìn)行再投入，是一個循序漸進(jìn)、由易到難的過程。

幻實(shí)（主播）：

你們自己能給自己造血，對吧？不依賴那么多外部的投資或者市場的變化，所以我感覺您坐在這很淡定。

俞勝武（嘉賓）：

對，我們還是采用穩(wěn)扎穩(wěn)打的方式來做研發(fā)，所以相對來說沒有那么焦慮。

幻實(shí)（主播）：

這也是一個很好的方式，這條路大家注定會走得很慢，所以企業(yè)不要急于求成，確保今天能好好活著，朝著明天的夢想慢慢去走就行了。

2021 年-2025 年中國大陸前道量檢測修復(fù)設(shè)備預(yù)計(jì)市場規(guī)模

（圖源：沙利文）

俞勝武（嘉賓）：

半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域是一個長賽道，我們現(xiàn)在跟國外先進(jìn)水平的差距還是非常大的。舉個例子，比如說無圖案晶圓缺陷檢測設(shè)備，KLA目前已經(jīng)到了SP7，可應(yīng)用于5納米制程，而據(jù)我了解國內(nèi)現(xiàn)在還停留在SP3的水平，最多也就達(dá)到30多納米制程，所以差距非常大，我們還有非常大的成長空間。我想在這個過程當(dāng)中，對每一個從事國內(nèi)半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域的企業(yè)來講都是機(jī)會，只不過看誰能把它做好。

幻實(shí)（主播）：

這是一個系統(tǒng)性的問題，在光刻技術(shù)沒有那么先進(jìn)的情況下，對檢測的需求也不可能誘發(fā)出來，這是相輔相成的，所以我們要面對的挑戰(zhàn)還是很多的。最后我想問問，您有沒有想借助我們的平臺對外號召或呼吁的？

俞勝武（嘉賓）：

首先，我希望國內(nèi)的廠商，大家能夠?qū)Ｗ⒆龊米约旱氖虑椋餐a(bǔ)齊國內(nèi)的短板。第二，希望大家形成良性的競爭。據(jù)我所知，目前有一些企業(yè)亂刷投資人的錢來打價(jià)格戰(zhàn)，這擾亂了整個市場的正常價(jià)格體系。在這樣的長賽道里，還是要看誰能活得長、活得好，為了長遠(yuǎn)發(fā)展還是鼓勵大家去形成良性的競爭。第三，我也呼吁更多的優(yōu)秀人才能夠加入我們半導(dǎo)體量檢測行業(yè)，能夠加入卓海科技。

幻實(shí)（主播）：

俞總講得非常對，企業(yè)如果隨便刷投資人的錢，這一筆刷完了，下一筆其實(shí)未必會來。只有把自己的現(xiàn)金流管控好，這個公司才會安全。確實(shí)做企業(yè)不容易，創(chuàng)業(yè)不容易。期待看到俞總和您的團(tuán)隊(duì)在這么難的賽道里沖出不一樣的公司，也祝你們發(fā)展得越來越好。

隨著我國成熟制程產(chǎn)線的快速建設(shè)，下游對成熟制程前道量檢測設(shè)備需求呈現(xiàn)持續(xù)增長，但在國際龍頭原廠設(shè)備及國產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)不足的背景下，修復(fù)設(shè)備成為我國產(chǎn)線迭代過程中成熟制程設(shè)備的重要來源，市場規(guī)模快速增長。根據(jù)沙利文數(shù)據(jù)，2021年至2025年，中國大陸前道量檢測修復(fù)設(shè)備市場規(guī)模仍將實(shí)現(xiàn)快速增長，預(yù)計(jì)到2025年，將達(dá)到82.1億元，年復(fù)合增長率達(dá)到 28.09%。

前道量檢測設(shè)備能夠?qū)A制造過程中的各個環(huán)節(jié)進(jìn)行精確檢測和測量，及時(shí)發(fā)現(xiàn)光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝中可能出現(xiàn)的缺陷和偏差，如顆粒污染、表面劃傷、薄膜厚度不均勻等問題，從而保證芯片的質(zhì)量和性能，提高芯片的良品率。隨著芯片制程不斷向更小的納米尺度演進(jìn)，對量檢測設(shè)備的精度和分辨率要求越來越高。光學(xué)檢測技術(shù)是目前主要的檢測技術(shù)，但存在分辨率瓶頸，而電子束檢測技術(shù)能夠顯著提升分辨率，多電子束方案還能夠提升檢測速度，滿足先進(jìn)制程對高精度、高速度檢測的需求，是先進(jìn)制程發(fā)展的關(guān)鍵助力之一。

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