本期話題：

00:30 MEMS工藝進(jìn)階：良率從60%到95%實(shí)現(xiàn)技術(shù)的突圍

03:10 萬(wàn)物互聯(lián)將如何重塑傳感器的產(chǎn)業(yè)價(jià)值？

08:07 專業(yè)化深耕：傳感器代工市場(chǎng)未來(lái)路徑的破局之道

01 MEMS工藝進(jìn)階：良率從60%到95%實(shí)現(xiàn)技術(shù)的突圍

幻實(shí)（主播）：

歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，我是主播幻實(shí)。今天我邀請(qǐng)到了來(lái)自浙江芯動(dòng)科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱：芯動(dòng)科技）的董事長(zhǎng)劉聰，下面請(qǐng)劉總分享他對(duì)MEMS賽道的感受。

芯動(dòng)科技董事長(zhǎng) 劉聰 做客芯片揭秘

劉聰（嘉賓）：

大家好，我是芯動(dòng)科技的董事長(zhǎng)劉聰。

幻實(shí)（主播）：

我今天來(lái)您的展臺(tái)，很遠(yuǎn)就注意到貴司展臺(tái)LOGO的設(shè)計(jì)極具特色，上面帶有這種電信號(hào)，然后Fab字樣代表了晶圓制造，感覺(jué)很特別。這是您設(shè)計(jì)的嗎？

芯動(dòng)科技企業(yè)logo圖示 （圖源：芯動(dòng)科技）

劉聰（嘉賓）：

這個(gè)是源自我們團(tuán)隊(duì)的共同創(chuàng)意。因?yàn)槲覀兪荕EMS代工企業(yè)，所以上面那些線條其實(shí)是一個(gè)"M"的造型，組合在一起就是“MEMS Fab ”的意思。

幻實(shí)（主播）：

然后字母“F”下面的那個(gè)波形，一看就是代表了產(chǎn)品的元素。

劉聰（嘉賓）：

我們?cè)贛EMS賽道上發(fā)展，其實(shí)需要工藝和技術(shù)的相互結(jié)合，所以不僅僅是產(chǎn)品的性能要做好，同時(shí)產(chǎn)品的外觀也要達(dá)到客戶的需求。

幻實(shí)（主播）：

劉總，您是做一站式服務(wù)的，所以我想問(wèn)一下，最近幾年有哪些MEMS工藝已經(jīng)趨于成熟？你們又有什么樣的創(chuàng)新突破？

劉聰（嘉賓）：

近年來(lái)，技術(shù)領(lǐng)域確實(shí)經(jīng)歷了顯著的更迭與突破。芯動(dòng)科技自2018年建成投產(chǎn)，我們公司定位是6英寸的MEMS芯片代工產(chǎn)線，工藝能力是我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力。多年來(lái)，我們通過(guò)項(xiàng)目實(shí)踐、設(shè)備升級(jí)以及人員能力提升，始終秉持對(duì)工藝的敬畏之心，致力于持續(xù)優(yōu)化工藝水平。我們擁有全鏈條工藝，從光刻、刻蝕、鍵合到劃片、封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)均實(shí)現(xiàn)了技術(shù)提升。例如，在鍵合方面，我們?cè)瓉?lái)鍵合工藝的良率只有60%，經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)探索，目前良率已經(jīng)達(dá)到了95%，并且從最初的兩層鍵合發(fā)展到如今能夠?qū)崿F(xiàn)四層鍵合。

幻實(shí)（主播）：

這一技術(shù)突破不僅有效減少了生產(chǎn)浪費(fèi)，也極大地提升了客戶滿意度。

腦電芯片在智能控制上的使用（圖源：芯動(dòng)科技）

劉聰（嘉賓）：

其實(shí)在行業(yè)里面，這個(gè)技術(shù)還是比較稀缺的，因?yàn)楝F(xiàn)在能達(dá)到兩層、三層鍵合工藝的廠商比較多，但能穩(wěn)定做到四層鍵合工藝的還是不多的。此外，在刻蝕工藝上，我們開(kāi)展了PI刻蝕技術(shù)研發(fā)，主要是應(yīng)用在生物醫(yī)療領(lǐng)域，特別是生命科學(xué)中的腦電極芯片。目前，我們已成功實(shí)現(xiàn)256個(gè)通道全通，技術(shù)水平在行業(yè)內(nèi)處于第一梯隊(duì)。當(dāng)然，我們?cè)谄渌夹g(shù)領(lǐng)域也取得了諸多成果，在此就不一一贅述了。

PI刻蝕：全稱為聚酰亞胺（Polyimide）刻蝕，是一種在微細(xì)加工技術(shù)中常用的工藝，主要用于在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中制作特定的圖案和結(jié)構(gòu)。聚酰亞胺是一種具有優(yōu)異耐熱性、化學(xué)穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度的材料，廣泛應(yīng)用于柔性電子和集成電路中。

幻實(shí)（主播）：

感覺(jué)您對(duì)工藝技術(shù)和產(chǎn)品的應(yīng)用非常熟悉，可以信手拈來(lái)。

劉聰（嘉賓）：

我們還是需要和客戶多溝通、多交流的。作為代工廠，我們深知與客戶保持密切溝通、深入了解客戶技術(shù)需求的重要性。

02萬(wàn)物互聯(lián)將如何重塑傳感器的產(chǎn)業(yè)價(jià)值？

幻實(shí)（主播）：

參加此次傳感器大會(huì)，明顯感覺(jué)到每年的展商數(shù)量都在增加，尤其是本土廠商。過(guò)去，我跟很多傳感器設(shè)計(jì)公司都有過(guò)交流，他們的痛點(diǎn)是面臨生產(chǎn)難題，而芯動(dòng)科技的出現(xiàn)，則可以為他們提供代工服務(wù)。從2018年到2024年，一路走來(lái)，您認(rèn)為產(chǎn)業(yè)和行業(yè)發(fā)生了哪些變化？與當(dāng)初布局該賽道時(shí)相比，有哪些新情況出現(xiàn)？

劉聰（嘉賓）：

芯動(dòng)科技主要聚焦于MEMS產(chǎn)業(yè)，而MEMS具有小型化、集中化和低功耗的特點(diǎn)。隨著萬(wàn)物互聯(lián)的快速發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)集成化的需求日益增長(zhǎng)。以新能源汽車為例，其內(nèi)部集成了大量各類傳感器，如同一個(gè)大型的消費(fèi)電子產(chǎn)品。所以，市場(chǎng)對(duì)MEMS產(chǎn)品的實(shí)際需求正在快速拉動(dòng)行業(yè)發(fā)展。然而，近年來(lái)眾多產(chǎn)線的投產(chǎn)建成也帶來(lái)了一些問(wèn)題。國(guó)內(nèi)幾十條產(chǎn)線密集上線，導(dǎo)致產(chǎn)能擴(kuò)充的速度超過(guò)了市場(chǎng)需求的增長(zhǎng)速度，也出現(xiàn)了部分并非以技術(shù)實(shí)踐和工藝實(shí)現(xiàn)為目的投資逐漸面臨困境。

壓力傳感器在汽車電子領(lǐng)域的應(yīng)用（圖源：芯動(dòng)科技）

幻實(shí)（主播）：

非理性的投資都會(huì)被市場(chǎng)“甩”出去。

劉聰（嘉賓）：

對(duì)，這些年相對(duì)來(lái)說(shuō)競(jìng)爭(zhēng)比較激烈。但從另一個(gè)角度來(lái)看，這種競(jìng)爭(zhēng)也有助于篩選出真正專注于產(chǎn)品和技術(shù)研發(fā)的企業(yè)，推動(dòng)行業(yè)的健康發(fā)展，所以可能這也是一個(gè)好事情。

幻實(shí)（主播）：

您能從客戶層面感受到行業(yè)的變化，我想問(wèn)一下，目前你們的客戶是海外客戶居多，還是以本土客戶為主呢？

劉聰（嘉賓）：

我們國(guó)內(nèi)和國(guó)外的客戶都有，整體來(lái)看國(guó)內(nèi)的份額是大于國(guó)外的。主要包括高端航空航天領(lǐng)域、汽車電子以及工業(yè)級(jí)的客戶，消費(fèi)級(jí)客戶相對(duì)較少，我們的產(chǎn)品定位主要集中在工業(yè)級(jí)及以上。

幻實(shí)（主播）：

那這對(duì)你們的工藝要求、質(zhì)量管理的要求都非常高，因?yàn)楫a(chǎn)品質(zhì)量關(guān)乎企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力，容不得半點(diǎn)馬虎。

劉聰（嘉賓）：

是的，這也是我們的核心技術(shù)所在。

幻實(shí)（主播）：

我想問(wèn)您一個(gè)關(guān)于產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)的問(wèn)題，這兩年5G、物聯(lián)網(wǎng)、低空經(jīng)濟(jì)以及人工智能等領(lǐng)域發(fā)展迅速，這些新場(chǎng)景的應(yīng)用對(duì)傳感器行業(yè)產(chǎn)生了哪些有價(jià)值的影響？您怎么看這些場(chǎng)景的應(yīng)用對(duì)傳感器行業(yè)帶來(lái)的改變？

劉聰（嘉賓）：

正如前面提到的，萬(wàn)物互聯(lián)的發(fā)展無(wú)疑會(huì)快速拉動(dòng)市場(chǎng)需求。不僅在消費(fèi)端，隨著可穿戴設(shè)備的普及，大眾對(duì)傳感器的接觸越來(lái)越多。同時(shí)，隨著國(guó)家工業(yè)的發(fā)展以及地緣政治的影響推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)替代的進(jìn)程，不管對(duì)于我們芯動(dòng)科技來(lái)講，或者說(shuō)對(duì)于國(guó)內(nèi)做中高端產(chǎn)品的企業(yè)來(lái)講，都是極大的利好。越來(lái)越多的客戶將業(yè)務(wù)交付給我們，我們也在積極引進(jìn)高精尖設(shè)備和專業(yè)人才，以拓展業(yè)務(wù)。整體來(lái)看，市場(chǎng)前景十分廣闊，發(fā)展趨勢(shì)向好。

幻實(shí)（主播）：

從國(guó)內(nèi)和國(guó)際做產(chǎn)品的風(fēng)格和思路上來(lái)看，您覺(jué)得國(guó)內(nèi)的廠商跟海外的差距大嗎？如果給國(guó)內(nèi)的MEMS設(shè)計(jì)公司提建議，您覺(jué)得他們應(yīng)該在哪些方向加強(qiáng)？

芯片揭秘 主播幻實(shí)（左） 對(duì)話

芯動(dòng)科技董事長(zhǎng) 劉聰 （右）

劉聰（嘉賓）：

在中低端產(chǎn)品領(lǐng)域，差距并不明顯，但在高端領(lǐng)域，確實(shí)存在一定差距。造成這種差距的核心原因是我們起步較晚，但這并不意味著我們做不到，只要給我們一定的時(shí)間，我相信是可以追趕上的。同時(shí)我們還需要在設(shè)備和人才培養(yǎng)方面加大投入，逐步提升自身實(shí)力。否則，即便有市場(chǎng)需求，也難以有效滿足。作為行業(yè)中的一員，芯動(dòng)科技未來(lái)仍將專注于代工業(yè)務(wù)，我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力就是不斷提升我們的工藝能力。因?yàn)橹挥胁粩嗵嵘に囁剑覀儾拍茉谑袌?chǎng)上立足。同時(shí)，我們將持續(xù)聚焦現(xiàn)有主要業(yè)務(wù)領(lǐng)域，比如壓力、氣體、慣性和生物醫(yī)療領(lǐng)域等。MEMS領(lǐng)域涵蓋廣泛，但如果什么都做，可能什么都不精通。所以我們希望在聚焦領(lǐng)域內(nèi)，持續(xù)提升自身能力，為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

03專業(yè)化深耕：傳感器代工市場(chǎng)未來(lái)路徑的破局之道

幻實(shí)（主播）：

我想再問(wèn)一下，芯動(dòng)科技會(huì)轉(zhuǎn)型成為IDM模式嗎？還是會(huì)一直專注于代工業(yè)務(wù)？

劉聰（嘉賓）：

目前我們的定位還是代工廠，我認(rèn)為專注于代工業(yè)務(wù)，能夠更有效地集中我們的精力、資金以及技術(shù)能力提升。同時(shí)為了確保產(chǎn)品性能的實(shí)現(xiàn)，我們?cè)诰劢勾I(yè)務(wù)的基本上，還需要加強(qiáng)與后端客戶的溝通和交流，從而更好地體現(xiàn)我們的能力和競(jìng)爭(zhēng)力。

半自動(dòng)鍵合機(jī)（圖源：芯動(dòng)科技）

幻實(shí)（主播）：

您之前提到設(shè)備在行業(yè)中非常重要，因?yàn)閭鞲衅鞯奶厥夤に囆枰?dú)特的設(shè)備支持。不知道目前行業(yè)內(nèi)對(duì)哪些設(shè)備渴求度比較高呢？

劉聰（嘉賓）：

我們的設(shè)備需求還是圍繞產(chǎn)品展開(kāi)的。目前，我們的產(chǎn)品主要集中在壓力、慣性、生物醫(yī)療和氣體傳感器等四大類領(lǐng)域。對(duì)于這些產(chǎn)品，核心工藝的實(shí)現(xiàn)都集中在流片過(guò)程中的光刻、薄膜、刻蝕以及鍵合設(shè)備。現(xiàn)有能夠?qū)崿F(xiàn)1um精度的光刻設(shè)備基本能夠滿足行業(yè)內(nèi)絕大多數(shù)MEMS產(chǎn)品需求，但在薄膜和刻蝕工藝環(huán)節(jié)中，仍需要更穩(wěn)定和更高性能的磁控濺射設(shè)備（PVD）以及金屬刻蝕設(shè)備（ICP）來(lái)豐富我們的工藝能力，以便能夠?qū)崿F(xiàn)各產(chǎn)品不同的工藝需求。目前這些設(shè)備已確定并完成合同簽訂，預(yù)計(jì)2025年半年度可正式投產(chǎn)運(yùn)行。

更高精度的傳感器設(shè)備（圖片由AI生成）

幻實(shí)（主播）：

請(qǐng)您預(yù)測(cè)一下，未來(lái)3—5年傳感器代工市場(chǎng)的格局會(huì)發(fā)生什么變化？你們未來(lái)有什么樣的規(guī)劃？

劉聰（嘉賓）：

從我的角度來(lái)看，未來(lái)市場(chǎng)需求將逐步增加，專業(yè)分工也會(huì)越來(lái)越細(xì)化，各代工平臺(tái)也會(huì)逐步尋找到適合自身發(fā)展的代工模式和代工品類。例如芯動(dòng)科技未來(lái)幾年仍然會(huì)以高端MEMS芯片的研發(fā)、中試及小批量為主，聚焦現(xiàn)有的四大類產(chǎn)品，不斷提升工藝能力，積累豐富經(jīng)驗(yàn)。我們始終秉持工匠精神，致力于將每一個(gè)細(xì)節(jié)、每一道工藝做到極致，以提升產(chǎn)品研發(fā)效率和產(chǎn)品性能，贏得客戶更高的認(rèn)可度，并為傳感器芯片的國(guó)產(chǎn)化替代起到積極的促進(jìn)作用。

幻實(shí)（主播）：

做制造業(yè)確實(shí)沒(méi)有捷徑，只能一點(diǎn)點(diǎn)的積累，一步一個(gè)腳印。

劉聰（嘉賓）：

是的，您說(shuō)的非常對(duì)。

幻實(shí)（主播）：

劉總今天分享了很多寶貴經(jīng)驗(yàn)，非常高興能看到國(guó)內(nèi)有像芯動(dòng)科技這樣踏實(shí)做代工的企業(yè)，也祝芯動(dòng)科技發(fā)展的越來(lái)越好。

芯片揭秘說(shuō)

當(dāng)前全球MEMS產(chǎn)業(yè)正加速向高集成度、異質(zhì)融合方向演進(jìn)，但技術(shù)升級(jí)與市場(chǎng)擴(kuò)張的節(jié)奏仍存在階段性錯(cuò)位。盡管國(guó)內(nèi)本土企業(yè)在工藝流程創(chuàng)新（如多層堆疊、高深寬比刻蝕）和本土產(chǎn)業(yè)鏈配套（封裝測(cè)試、特色材料）上取得突破，但高端傳感器領(lǐng)域依舊面臨工藝穩(wěn)定性不足、設(shè)備/材料進(jìn)口依賴度高等多重挑戰(zhàn)。行業(yè)短期需警惕資本驅(qū)動(dòng)的產(chǎn)能無(wú)序擴(kuò)張帶來(lái)的同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)風(fēng)險(xiǎn)，長(zhǎng)期則考驗(yàn)對(duì)下游應(yīng)用需求的分化響應(yīng)能力——無(wú)論是車載傳感器的高可靠性驗(yàn)證體系，還是生物醫(yī)療MEMS的潔凈度與微型化標(biāo)準(zhǔn)，都要求代工環(huán)節(jié)從“規(guī)模優(yōu)先”轉(zhuǎn)向“精度與定制化并行”。

與此同時(shí)，全球產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu)趨勢(shì)正倒逼本土企業(yè)加速構(gòu)筑從設(shè)備調(diào)試、工藝迭代到客戶協(xié)同的全鏈條技術(shù)沉淀。未來(lái)，MEMS代工的核心競(jìng)爭(zhēng)力或?qū)⒉辉倬窒抻趩我患夹g(shù)參數(shù)的突破，而是依托對(duì)新興場(chǎng)景（如低空經(jīng)濟(jì)、植入式醫(yī)療）的深度理解，形成“需求定義工藝”的敏捷制造范式。