散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

——《國務(wù)院給予江上舟同志挽聯(lián)》

01

前沿導(dǎo)讀

據(jù)環(huán)球網(wǎng)新聞報(bào)道稱，由前ASML研究部科學(xué)家、中國科學(xué)院上海光機(jī)所的林楠博士帶隊(duì)，繞過了二氧化碳激光器，使用固態(tài)激光器技術(shù)成功開發(fā)出了LPP-EUV光源，這對于中國發(fā)展自主光刻機(jī)產(chǎn)品又推進(jìn)了一大步。

02

回國發(fā)展

林楠博士曾經(jīng)在荷蘭ASML公司擔(dān)任研究部研發(fā)科學(xué)家，據(jù)林楠博士在觀察者網(wǎng)舉辦的心智對話節(jié)目中透露，林博士當(dāng)初是經(jīng)過了11輪的面試，才正式進(jìn)入了ASML公司擔(dān)任技術(shù)工程師。

在面試的過程中，ASML會(huì)給相關(guān)的面試人員出一些技術(shù)上面的難題，林楠博士通過與技術(shù)團(tuán)隊(duì)的協(xié)作，最終解決了公司給出的技術(shù)問題，被ASML成功錄用。

可以說，林楠博士在光學(xué)技術(shù)上面擁有著極具專業(yè)性的技術(shù)能力與行業(yè)知識(shí)，并且在光刻機(jī)設(shè)備的核心光源上面，也有著豐富的技術(shù)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，是一名貨真價(jià)實(shí)的頂級光學(xué)工程師。

在談?wù)摰郊夹g(shù)創(chuàng)新的時(shí)候，林楠博士對此表示，ASML之所以能夠成為目前國際光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的統(tǒng)治者，是因?yàn)槠涔救藛T對于技術(shù)創(chuàng)新的執(zhí)著，并且公司講究多領(lǐng)域的技術(shù)學(xué)科大融合，遇到一個(gè)技術(shù)難題，多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)人員湊在一起共同解決，這是其成功的基石。

林楠博士還重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)了只有研發(fā)人員是不夠的，還需要政府在政策上面的扶持，資金上面的支持，以及一些具有前瞻性眼光的領(lǐng)導(dǎo)。

ASML的首席技術(shù)官是馬丁·范登布林克，據(jù)林博士表示，馬丁是一位愿意與研發(fā)人員深入探討技術(shù)本身的領(lǐng)導(dǎo)。身為一個(gè)大企業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)，還愿意拿出許多時(shí)間來與一線的研發(fā)人員進(jìn)行技術(shù)上面的深度交流，這是需要我們中國的企業(yè)，乃至整個(gè)世界的企業(yè)都需要學(xué)習(xí)的榜樣。

2021年，林楠博士從ASML離職后回國，加入到了中國科學(xué)院上海光機(jī)所擔(dān)任研究員。

在談及回國的原因時(shí)，林楠博士表示回國是自己私人的原因，ASML有著很不錯(cuò)的工程師文化，但是由于自己和妻子都是獨(dú)生子女，家里面的父母年齡也比較大了，所以希望離家人近一些，選擇了回國。

在林楠博士與ASML領(lǐng)導(dǎo)就回國情況進(jìn)行交流的過程中，ASML的領(lǐng)導(dǎo)不愿讓他離開，還說可以派林楠博士到中國的ASML分公司工作一段時(shí)間。但是林楠博士考慮到長期因素，婉言謝絕了領(lǐng)導(dǎo)的好意。

在談及到ASML的技術(shù)設(shè)備以及整個(gè)的產(chǎn)業(yè)鏈體系能否被中國企業(yè)進(jìn)行復(fù)制的話題時(shí)，林楠博士對此表示，對于跟他一樣的技術(shù)人員來說，如果有選擇的情況下，技術(shù)人員一般都不會(huì)去選擇做同樣的事情，不愿意去模仿已經(jīng)開發(fā)完成的技術(shù)產(chǎn)品。

對于技術(shù)人員來說，模仿曾經(jīng)已經(jīng)開發(fā)過的技術(shù)產(chǎn)品，這是一個(gè)浪費(fèi)時(shí)間的做法。單純的復(fù)制，這并不是什么有挑戰(zhàn)性的工作，前人已經(jīng)把很多事情都做了，你再來重復(fù)做同樣的事情是沒有意義的。

如果你想去做，那么就應(yīng)該用一種不同的方式，開發(fā)一個(gè)全新的技術(shù)產(chǎn)品。

03

開發(fā)中國技術(shù)

林楠博士現(xiàn)在正在做的事情，與他在訪談中所表達(dá)的理念一模一樣。

根據(jù)林楠博士與其研發(fā)團(tuán)隊(duì)在《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》第三期雜志發(fā)表的論文內(nèi)容顯示，研發(fā)團(tuán)隊(duì)提出了一種利用空間束縛激光錫等離子體的寬帶極紫外光高效產(chǎn)生方案，該技術(shù)方案可以應(yīng)用于先進(jìn)半導(dǎo)體的高通量量測。

在開發(fā)出全新的技術(shù)方案后，林楠團(tuán)隊(duì)又基于固態(tài)激光器的工作臺(tái)，將技術(shù)方案進(jìn)行了測試。由固態(tài)激光器驅(qū)動(dòng)的LPP-EUV光源所提供的功率，可以用于EUV技術(shù)的曝光驗(yàn)證與掩模檢查。

不過由于該技術(shù)方案尚未成熟，目前只局限于實(shí)驗(yàn)室內(nèi)進(jìn)行測試，1um的固態(tài)激光CE最高可達(dá)到3.42%，如果想要達(dá)到量產(chǎn)商用的水平，必須要將轉(zhuǎn)化效率提高到5.5%，距離量產(chǎn)商用還需要一段時(shí)間。

林楠博士的技術(shù)方案，相當(dāng)于脫離了ASML原來的二氧化碳激光器，重新用一種全新的光源技術(shù)進(jìn)行EUV工藝的替代。

ASML曾經(jīng)收購了美國Cymer（西盟）公司，獲得了EUV技術(shù)的驅(qū)動(dòng)光源。從2019年開始，ASML憑借著來自于全球的供應(yīng)鏈體系，成為了光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的霸主。

在美國針對中國芯片產(chǎn)業(yè)進(jìn)行全面壓制之后，又對荷蘭政府施壓，禁止ASML向中國出口EUV光刻機(jī)，隨后又禁止ASML向中國出口部分先進(jìn)的DUV光刻機(jī)。

這就又回到了林楠博士在訪談中所表述的內(nèi)容，前人已經(jīng)把產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)出來了，你再去模仿人家只能是浪費(fèi)時(shí)間。況且ASML在光刻機(jī)產(chǎn)品的迭代速度上面也進(jìn)入了一個(gè)快速時(shí)期，等你復(fù)制出他們的浸潤式DUV設(shè)備，人家都進(jìn)入下一個(gè)技術(shù)時(shí)代了。

與其當(dāng)其他企業(yè)的跟隨者，還不如直接抱團(tuán)去開發(fā)全新的技術(shù)產(chǎn)品。

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