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三星將采用混合鍵合技術來生產HBM4

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三星計劃在其 HBM4 中采用混合鍵合技術,以減少熱量并實現超寬內存接口,該公司在韓國首爾舉行的 AI 半導體論壇上透露。相比之下,該公司的競爭對手 SK 海力士可能會推遲采用混合鍵合技術。

高帶寬內存(HBM) 將多個存儲器件堆疊在基礎芯片上。目前,HBM 堆中的內存芯片通常使用微凸塊(在堆疊芯片之間傳輸數據、電源和控制信號)連接在一起,并使用模塑底部填充質量回流 (MR-MUF) 或使用非導電膜 (TC-NCF) 的熱壓縮等技術進行鍵合。


這些晶粒還使用嵌入每個晶粒內的硅通孔(TSV) 垂直互連(通過每個 DRAM 晶粒傳輸數據、時鐘、控制信號、電源和接地)。然而,隨著 HBM 的速度越來越快,DRAM 器件的數量越來越多,微凸塊會變得效率低下,因為它們會限制性能和能效。

這就是混合鍵合發揮作用的地方。混合鍵合是一種 3D 集成技術,通過鍵合銅對銅和氧化物對氧化物表面來直接連接芯片,無需微凸塊。混合鍵合支持低于 10 μm 的互連間距,與傳統的基于凸塊的堆疊相比,具有更低的電阻和電容、更高的密度、更好的熱性能,以及更薄的 3D 堆棧。

然而,有一個問題。混合鍵合是一種相當昂貴的技術,雖然 HBM 存儲器的三大領先制造商都考慮將其用于 12-Hi HBM3E,但美光和三星最終使用了 TC-NCF,而 SK 海力士則使用了 MR-MUF。對于 HBM4,三星計劃使用混合鍵合,而 SK 海力士正在開發一種先進的 MR-MUF 技術以及混合鍵合作為備用工藝。

SK 海力士可能會使用傳統的模制底部填充而不是混合鍵合是有原因的。混合鍵合所需的專用設備比傳統封裝工具貴得多,并且需要更多的晶圓廠物理空間。

這會影響資本效率,尤其是在晶圓廠占地面積有限的情況下。因此,SK 海力士正在謹慎行事。如果發現其先進的 MR-MUF 技術提供了相同(或類似)的性能結果和良好的良率,那么它寧愿至少再堅持使用 MR-MUF。

SK海力士可能再堅持使用MR-MUF的另一個原因是,其先進的MR-MUF使HBM內存堆棧比上一代底部填充更薄。這使得該公司能夠生產符合JEDEC的HBM4規范的16-Hi HBM4堆棧,該規范要求HBM4封裝的最大封裝高度為775 μm,與16-Hi HBM3E堆棧的最大高度~800 μm相比,這要短一些。如果SK海力士能夠用現有的工具和技術滿足JEDEC的規范,那么混合鍵合的使用對公司的吸引力就會大大降低。

三星擁有自己的制造設備制造商 Semes,這在一定程度上降低了其制造成本。然而,目前尚不清楚 Semes 是否可以為其母公司生產先進的混合鍵合設備。

盡管如此,混合鍵合是一項無論如何都會在未來使用的技術,因此該行業正在關注三星是否能夠使用混合鍵合對其 HBM4 進行認證。成功的認證可能會重塑競爭格局,使三星在性能、熱特性和信號密度方面具有技術和商業優勢。因此,三星在 2026 年開始量產后,其 HBM4 可能會從美光和 SK 海力士手中奪回市場份額。

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