廣東
芯榜消息：英特爾前技術(shù)長兼執(zhí)行長基辛格現(xiàn)擔(dān)任xLight執(zhí)行董事長，xLight是開發(fā)極紫外線曝光系統(tǒng)光源技術(shù)的新創(chuàng)公司。EUV曝光機(jī)技術(shù)先進(jìn)，目前只有ASML能制造相關(guān)系統(tǒng)。基辛格稱xLight已創(chuàng)建高功率LPP來源，可大幅降低成本與費(fèi)用，計(jì)劃2028年生產(chǎn)出該光源并與現(xiàn)有ASML工具兼容，不過與下一代High - NA EUV工具的兼容性尚不確定。
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