在半導體制造、新能源電池、航空航天等尖端領域，殘余氣體質譜儀（RGA）憑借其納米級靈敏度，已成為保障工藝穩定性和產品可靠性的核心裝備。愛柯銳科技自主研發的PGT系列RGA，以突破性技術與自主知識產權，推動國產科學儀器邁向高端化，助力中國智造在全球產業鏈中掌握核心話語權。

一、RGA技術原理：解碼氣體分子的“指紋圖譜”

RGA的核心原理基于質譜分析法，通過電離氣體分子，利用四極桿質量分析器篩選不同質荷比（m/z）的離子，最終形成氣體成分的“分子指紋”。其技術鏈條涵蓋四大模塊：

1)真空系統：工作壓強最高可達6.7E-2 Pa，滿足高精度檢測需求。

2)四級桿電場篩選：四根平行金屬桿施加高頻交變電場（射頻電壓與直流電壓疊加），僅允許特定m/z的離子穩定通過。愛柯銳創新采用高精度鍍膜四級桿，電場均勻性提升30%，分辨率達0.5 AMU，可精準區分氮氣（28 AMU）與一氧化碳（28 AMU）等同位素氣體。

3)雙模探測器：結合法拉第杯（檢測限至3.5E-10 Pa）與電子倍增器（擴展至2.0E-12 Pa），覆蓋全場景靈敏度需求。

4)智能算法：內置AI驅動圖譜庫，支持自動校準與污染物溯源，分析速度較傳統設備提升50%。

二、RGA應用方向：從芯片到太空的全域守護者

u半導體制造

工藝監控：實時檢測光刻機腔體內氮氣、氫氣純度，識別水汽（＞100 ppmv即觸發警報）及氟碳化合物污染，降低晶圓缺陷率。

真空泄漏診斷：通過氬氣/氧氣比值異常（正常空氣比22:1）快速定位微米級漏點，保障刻蝕機穩定性。

u新能源電池安全

鋰電池封裝檢測：定量分析電解液揮發氣體（如六氟磷酸鋰分解產物），預警氫氣爆炸風險，檢測精度達微米級漏孔。

燃料電池密封性驗證：監測氫氧混合氣體滲透率，避免電堆性能衰減。

u航空航天與電子封裝

衛星器件可靠性：分析密封腔體內水汽（GJB548B標準限值＜5000 ppmv）及氧氣含量，延長航天器件壽命。

高溫材料除氣研究：優化真空爐工藝參數，提升耐高溫涂層性能。

三、國產RGA崛起：從技術跟跑到生態領跑

當前全球RGA市場由Inficon（瑞士）、Pfeiffer Vacuum（德國）主導，但國產化進程已進入快車道：

政策驅動：國家“十四五”規劃將高端科學儀器列為重點突破領域，2025年國產化率目標提升至45%。

技術突破：上海愛柯銳的PGT系列RGA通過模塊化真空系統兼容多場景，無需外接獨立真空泵，檢測靈敏度達水汽100 ppmv級。

知識產權壁壘：累計申請18項發明專利，覆蓋四級桿鍍膜工藝、抗干擾信號處理等核心環節。

市場驗證：已應用于國內頭部晶圓廠及航天院所，故障率較進口設備降低40%，檢測成本下降60%。

四、未來展望：智能化與全球化并進

隨著人工智能與物聯網技術的融合，RGA正朝高精度化、微型化、智能化方向發展：

智能化升級：集成AI算法實現遠程監控與預測性維護，提升設備運行效率。

全球化布局：中國RGA企業加速拓展海外市場，預計2030年海外收入占比將達35%。

愛柯銳將持續深耕半導體、新能源等戰略領域，推動國產高端裝備從“國產替代”邁向“全球引領”。