半導(dǎo)體制造中,超純水水質(zhì)直接影響芯片良率。隨著晶圓尺寸增大,產(chǎn)線用水量激增,對前置過濾系統(tǒng)提出更高要求。電子專用大流量濾芯采用醫(yī)療級聚醚砜材質(zhì),通過三項創(chuàng)新解決行業(yè)痛點:
通量升級:單支濾芯流量達80m3/h,滿足12英寸晶圓廠用水需求
精度保障:在0.5μm過濾級維持99.99%顆粒截留率
溶出控制:經(jīng)第三方檢測,TOC釋放量<5ppb
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