6月13日,欣奕華智宣布,其首臺Micro LED激光巨量轉移設備正式下線交付客戶。
圖片來源:欣奕華智
欣奕華智交付的Micro LED激光巨量轉移設備采用自主研發技術,具備自動對位、高精度轉移等功能,轉移精度控制在1.5μm以內。設備搭載自研光路系統,提升光斑均勻性與穩定性,并配備晶圓姿態檢測和光斑自校正功能,有助于提升工藝一致性與設備穩定性,適用于高精度Micro LED芯片轉移需求。
在兼容性方面,該設備最大支持G2.5代(370mm×470mm)基板,適應不同客戶的工藝需求。配合欣奕華智自研的準分子激光剝離和DPSS固體激光剝離設備,可構建一站式Micro LED制程方案,有助于客戶優化生產流程、提升效率并控制成本。
據悉,欣奕華智成立于2013年,由北京欣奕華科技有限公司控股,主營業務包括泛半導體產業工業機器人、智慧工廠解決方案,以及高端制造裝備。公司可為客戶提供Mini/Micro LED等檢測設備,包括點燈AOI、外觀AOI、斷/短路檢測設備等。
今年6月3日,欣奕華智宣布完成B+輪融資,融資總額超3億元。此次投資由國開制造業轉型升級基金、朝希資本、安徽高新投、國中資本、超高清視頻產業投資基金、濟南云通等機構聯合參與。(欣奕華智)
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