碳化硅（SiC）蝕刻環應用價值日益凸顯 我國已實現量產交付

碳化硅（SiC）蝕刻環是以先進陶瓷材料碳化硅（SiC）制備的一種半導體蝕刻耗材。SiC蝕刻環主要用于半導體刻蝕工藝中，其性能和穩定性對半導體制造效率、質量具有重要影響。
SiC蝕刻環是半導體等離子刻蝕工藝的重要耗材之一。半導體蝕刻工藝分為干法刻蝕（又稱等離子刻蝕）、濕法刻蝕兩大類，其中等離子刻蝕為主流工藝，占比達95%以上。根據等離子體產生技術不同，等離子體刻蝕又分為電容耦合等離子體刻蝕（CCP）、電感耦合等離子體（ICP）刻蝕。
根據新思界產業研究中心發布的《2024-2029年碳化硅（SiC）蝕刻環行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，蝕刻環材料包括碳化硅（SiC）、硅（Si）、石英等。碳化硅（SiC）在耐高溫性、導熱性、耐離子刻蝕性、機械性等方面優于傳統硅及石英材料，近年來，隨著集成電路微型化發展，刻蝕機所需等離子體能量提高，SiC憑借高化學穩定性、高耐離子刻蝕性、長使用壽命等優勢，在蝕刻環制造中使用越來越廣泛。
SiC蝕刻環對材料的純度要求極高，目前業內通常采用化學氣相沉積（CVD）工藝進行SiC厚層塊體生長，再經過精密加工制得。在國際市場上，SiC蝕刻環相關供應商有日本精密陶瓷株式會社、COMA Technology、韓國KNJ、韓國東海、CoorsTek等。SiC蝕刻環技術壁壘高，受技術限制，我國SiC蝕刻環企業較少，尤其是具備量產能力的企業。

　　2020年以來，由于國際矛盾沖突，日本、荷蘭等國家半導體設備的出口管理趨嚴，我國半導體設備供應鏈自主可控重要性日益突出。在此背景下，我國企業加大了對SiC蝕刻環、靜電卡盤、氣體噴嘴等半導體設備零部件的研發力度，并取得了良好成果?！?/p>

　湖南德智新材料有限公司（德智新材）是國內SiC蝕刻環頭部供應商，基于自研的CVD設備，在國內率先實現了SiC蝕刻環量產交付。德智新材成立于2017年，截止至目前，其已完成四次關鍵融資，擁有湖南株洲、江蘇無錫兩大研發制造基地?！?/p>

　新思界行業分析人士表示，SiC蝕刻環在使用壽命、耐離子刻蝕性、耐高溫性等方面優于傳統石英蝕刻環及硅蝕刻環，隨著刻蝕等離子體能量提高，SiC蝕刻環應用價值將進一步凸顯。SiC蝕刻環技術壁壘高，國外企業占據市場主導，目前我國企業已突破SiC蝕刻環技術難關，實現量產交付，在國產替代背景下，國產SiC蝕刻環將占據更多市場。

2024-2029年碳化硅（SiC）蝕刻環行業市場深度調研及投資前景預測分析報告

新思界目錄

三章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業市場分析
第一節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業市場規模
第二節 市場潛力分析
第三節 行業市場集中度
第四節 終端市場分析
第五節 區域市場分析
第四章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業產品價格分析
第一節 價格彈性分析
第二節 價格與成本的關系
第三節 主要品牌及產品價位分析
第四節 主要企業的價格策略
第五節 價格在碳化硅（SiC）蝕刻環行業競爭中的重要性
第六節 低價策略與品牌戰略
第五章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業競爭分析
第一節 競爭分析理論基礎
第二節 行業內企業與品牌數量
第三節 競爭格局
第四節 競爭組群
第五節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業競爭趨勢
第六節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業競爭策略分析
第六章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業進出口分析
第一節 出口分析
一、我國碳化硅（SiC）蝕刻環行業出口量及增長情況
二、碳化硅（SiC）蝕刻環行業主要海外市場分布狀況
三、經營海外市場的主要碳化硅（SiC）蝕刻環品牌分析
第二節 進口分析
一、我國碳化硅（SiC）蝕刻環行業進口量及增長情況
二、碳化硅（SiC）蝕刻環行業進口產品主要品牌分析
第七章 碳化硅（SiC）蝕刻環上游行業分析
第一節 上游行業發展狀況
第二節 上游行業市場集中度
第三節 上游行業發展趨勢
第四節 上游行業市場動態及對碳化硅（SiC）蝕刻環x的影響分析
第八章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業用戶分析
第一節 用戶認知程度
第二節 用戶關注因素
一、功能
二、產品質量
三、價格
四、產品設計
第三節 用戶其它特性
第九章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業渠道分析
第一節 渠道對碳化硅（SiC）蝕刻環行業的影響
第二節 渠道格局
第三節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業銷售渠道要素對比
第四節 主要企業渠道策略研究
第五節 各區域市場主要代理商情況
第十章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業替代品分析
第一節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業替代品種類
第二節 替代品對碳化硅（SiC）蝕刻環行業的影響
第三節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業替代品發展趨勢
第十一章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業互補品分析
第一節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業互補品種類
第二節 互補品對碳化硅（SiC）蝕刻環行業的影響
第三節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業互補品發展趨勢
第十二章 碳化硅（SiC）蝕刻環行業品牌分析
第一節 碳化硅（SiC）蝕刻環行業品牌總體情況
第二節 品牌傳播
第三節 品牌美譽度
第四節 代理商對品牌的選擇情況
第五節 主要城市對碳化硅（SiC）蝕刻環行業主要品牌的認知水平
第六節 廣告策略分析