在智能制造與工業4.0的浪潮下,精密3D量測技術作為產品質量控制與逆向工程的核心環節,正成為推動高端制造業發展的關鍵引擎。埃米儀器作為致力于國內精密3D量測設備的國產化,攻克核心技術。此前,埃米儀器完成數千萬元Pre-A輪融資,博將資本領投。本輪融資將用于進一步提升先進半導體制程用的高精密量測設備的國產替代能力,豐富產品種類,加大市場開拓力度能力。
埃米儀器憑借在高精度光學測量、納米級運動控制等核心技術的突破,正逐步填補國內在先進半導體制程量測設備領域的空白。博將資本的加持,將進一步加速埃米儀器的產品研發和市場拓展,助力其在國內乃至全球半導體檢測設備市場占據更重要的地位。此次合作,博將資本不僅為埃米儀器提供了資金支持,更在戰略資源、產業協同等方面帶來深度賦能,有望推動中國精密3D量測技術邁向更高水平。
博將資本所投的埃米儀器已推出多款量測設備,并持續推出新型設備。其在線工業級原子力顯微鏡已完成某芯片頭部企業的產品正式交付。技術方面,埃米儀器通過申請專利構筑技術壁壘:目前公司已得到專利授權20余項,相關專利覆蓋原子力顯微鏡和光學量測設備,涉及光電器件、精密機械、定位系統、電氣設計等。
埃米儀器創始人楊見飛博士擁有多年先進量測和封裝設備研發經驗。公司擁有一支強大的研發團隊,目前已與南京大學、山東大學、南智光電研究院等國內外科研院所、機構建立密切合作關系。
博將資本該項目負責人陸元昊表示,量測設備未來將與光刻設備并行發展,發揮至關重要的作用,而原子力顯微鏡作為精度最高的量測設備,在先進制程中正在成為量檢測主力設備。埃米儀器僅成立2年時間便成功研發出國內首臺在線工業級原子力顯微鏡并已實現在某頭部芯片客戶交付。
隨著在線工業級原子力顯微鏡的成功交付,以及20余項專利構筑的技術壁壘,埃米儀器不僅填補了國內空白,更在全球半導體檢測領域嶄露頭角。未來,在博將資本的戰略支持下,埃米儀器有望進一步拓展產品矩陣,助力中國半導體產業鏈邁向更高精度、更高自主可控的新階段。
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