在半導體產業的核心版圖中，設備制造是筑牢芯片制程的基石，其具有技術壁壘高、研發周期長、客戶驗證壁壘高等特點。一條先進的半導體生產線需要3000多臺涵蓋圖形化、加工和檢測等功能的設備，每類設備都形成獨立的技術護城河，構建起復雜的產業生態。

自2020年美國開始對我國限制芯片行業的出口，倒逼中國加速重構半導體供應鏈，半導體設備領域成為攻堅核心之一。

據分析機構TechInsights的數據顯示，2024年我國采購了價值410億美元的設備，占全球銷售額的40%。連續三年成為全球最大的晶圓設備采購國，但國產設備滲透率僅11.3%。這組數據背后，是中國半導體產業的雙重現實：一方面是全球產業鏈對“中國需求”的深度依賴，另一方面是核心裝備“卡脖子”的嚴峻挑戰。

近幾年，在國產替代的“東風”下，國內也涌現了一批優秀的半導體設備制造商，并取得了長足的發展，這可以從他們近期發布的2025年Q1財報數據看出。在12家科創板半導體設備廠商中，有11家實現了營收增長，其中9家年增長率超過了25%。

作為國內半導體設備龍頭企業，北方華創擁有最廣泛的產品組合，涵蓋沉積設備、干法刻蝕設備以及熱處理和清洗設備等。2025年第一季度，北方華創收入達82.1億元，同比增長38%。收入大增的主要原因是因為電容耦合等離子體刻蝕設備(CCP)等多款新產品實現技術突破，工藝覆蓋范圍擴大，成熟產品市場占有率穩步提升。同時，研發費用達到10.26億元，同比增加40.89%，占營收比例為12.5%。

中微公司是國內刻蝕設備的龍頭。2025年第一季度，其營業收入達到了21.73億元，同比增長35.40%。這一增長主要得益于其在高端產品方面的突破。研發投入合計6.87億元，同比增長90.53%，研發投入占營業收入比例高為31.60%。

盛美上海在清洗設備領域走出差異化路線，其自主研發的兆聲波清洗技術，可去除直徑 10 納米以下的顆粒污染物，填補國內在12英寸晶圓精密清洗的空白。其2025年第一季的營業收入達13.06億元，同比增長41.73%；歸母凈利潤2.46億元，同比大增207.21%。關于業績增長原因，盛美上海表示，全球半導體行業持續復蘇，尤其是中國大陸市場需求強勁，其憑借技術差異化優勢，成功把握市場機遇，積累了充足訂單儲備，報告期盛美上海銷售交貨及調試驗收工作高效推進，有效保障了經營業績的穩步增長。在研發投入方面，2024年盛美上海研發投入合計8.38億元，同比增長27.36%。其中資本化的研發投入較上一年度增加154.50%。

上述三家是目前國內半導體設備廠商發展較好的代表廠商。在今年的SEMICN China展會上，另一家國內半導體廠商進入公眾視野，并獲得了較大關注，那就是新凱來。

成立僅4年的新凱來（SiCarrier）以“山海經”系列設備矩陣驚艷業界——30款以黃山、泰山命名的設備覆蓋刻蝕、量測、離子注入等關鍵環節，雖未展示光刻系統，但其專利布局已涉及沉浸式DUV光刻物鏡技術，被視為破解ASML壟斷的“種子選手”。

產品的研發也需要資金的支持。據路透社近期報道顯示，新凱來正尋求在其首輪融資中籌集28億美元。融資資金將大部分用于研發。目前已有國有企業、國有基金以及國內風險投資和私募股權基金都已表達了投資意向。這也可能是今年中國公司進行的規模最大的人民幣融資之一。

中國半導體設備的國產化道阻且長。當全球產業鏈面臨重構，外部限制既是壓力更是催化劑。根據群智咨詢（Sigmaintell）調研，2024年中國大陸半導體制造業設備國產化比例約15%，同比增長2個點以上。預計在美國出口管制措施影響下，后續設備國產化進程將加速提升，預計2025年中國大陸半導體制造業采購本土設備比例將達55%-57%，設備國產化率有望達19%。

北方華創的全產品線突破、中微公司的高端刻蝕突圍、新凱來的光刻技術攻堅，勾勒出中國半導體設備企業從“單點突破”到“生態構建”的進階路徑。半導體設備的國產化之路或許漫長，但在技術創新的驅動下，在政策與市場的雙重賦能下，這條必須走通的道路上，正不斷綻放出突破的曙光。