全國首臺！

“中國芯”再添利器！

珠海造高端刻蝕設備

成功面世，

填補國內空白！

5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（以下簡稱“恒格微電子”）在珠海高新區舉行全國首臺晶圓級“等離子多驅解離刻蝕設備”發布會。該設備的成功面世，標志著我國在高端半導體制造核心裝備領域實現重大技術突破，為芯片制造國產化替代注入強勁動能。

?自主創新破壟斷

核心技術獲突破

國內首臺晶圓級“等離子多驅解離刻蝕設備”，是恒格微電子歷時三年多技術攻關的成果。該設備突破了多項“卡脖子”技術難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。

吳長賦/攝

其核心工藝指標達到國際先進水平，填補了國內高端刻蝕設備空白，將顯著降低晶圓廠對進口設備的依賴，助力半導體產業鏈安全升級。

?聚焦創新基因

產學研協同發力

發布會現場，恒格微電子同電子薄膜與集成器件全國重點實驗室簽署深度產學研合作協議，雙方將圍繞半導體設備核心技術研發、專業人才培養等領域開展戰略合作。電子科技大學代表表示，此次合作將加速高?？蒲谐晒D化，為國產半導體裝備技術迭代提供智力支持。

吳長賦/攝

恒格微電子還與國內顯示面板龍頭企業達成了工藝合作開發協議，雙方將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯合研發，推動國產等離子刻蝕設備在顯示領域的規模化應用，加速面板行業核心裝備國產替代進程。同時，恒格微電子與三疊紀公司也達成了戰略合作，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設備的迭代研發與產業化應用，為國產裝備貢獻力量。

參會代表

共話產業未來?

在主題沙龍環節，恒格微電子總經理李志強與研發團隊負責人、客戶代表及投資機構代表圍繞產品研發歷程、市場前景及行業趨勢展開深度對話。

吳長賦/攝

李志強表示，等離子多驅解離技術是恒格十年磨一劍的成果，目前已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產交付階段。未來將持續加大研發投入，打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環節的半導體裝備矩陣。

此次恒格微電子發布的新品，

是其向高端半導體裝備領域

轉型的關鍵一步。

接下來，

珠海將繼續與企業同奮斗，

提供最優政策支持、

最優載體配套、

最優營商環境、

最優人才生態，

推動更多新技術、新產品、

新服務在珠海落地、推廣，

打造灣區集成電路產業標桿品牌，

建設成為粵港澳大灣區

未來“芯”高地！

文/珠海發布 宋雪梅

部分圖片來自高新區黨群工作部、高新區科技產業局、恒格微電子

編輯/陳淑嫻

責任編輯/田海
三審/常立波