作為全球第一大光刻機廠商,也是唯一掌握EUV光刻機技術的廠商,理論上而言,ASML的日子是相當滋潤的。
畢竟EUV光刻機是制造7nm以下芯片必備機器,所以全球的頂尖芯片廠,都要搶ASML的EUV光刻機,看它的臉色行事,它卡著全球芯片廠商的脖子啊。
但是,從最近的情況來看,這家理論上風光無限的光刻機巨頭,日子卻也沒有想象中的好過,原因就是它們的“印鈔機”EUV光刻機,似乎失靈了。
我們知道,ASML的光刻機,是與芯片工藝應對的,KrF、ArF、ArFi、EUV等等,對應著不同的工藝。制造什么樣的芯片,就要買哪一種光刻機。
而全球的芯片工藝不斷前進,所以芯片廠商們,也要不斷的買新光刻機,不停的更新換代,ASML為此賺的盆滿缽滿的。
但是進入到EUV之后,這種更新換代就難了,一方面是研發最新款的EUV光刻機,實在是太難,成本太高了。二是研發出來,也因為成本太高,芯片廠商們不愿意買,賣不掉啊。
先說研發難的問題,之前的EUV光刻機,其NA=0.33也就是數值孔徑是0.33,而新一代叫做 High NA EUV,其數值孔徑是0.55。
別小看了只提升這么0.22,但是難度系數增加了N多,導致這一代的High NA EUV研發了好多年才研發出來,至于下一代,會不會有,還不清楚呢。
第一代NA0.33的EUV光刻機,大約是1.5億美元一臺,而新一代的High NA EUV,其價格高達4億美元,是原來的近三倍了。
1.5億美元就是10億多人民幣,已經是夠厲害了,這一代4億美元美元,就是近40億人民幣了,已經是貴到離譜了。
所以,客戶也沒那么傻,能不換成最新的High NA EUV NA0.55光刻機,就盡量不換,畢竟40億一臺,臺積電100多臺全換要多少錢?4000億啊。
比如臺積電,在2nm工藝時,就不使用這種High NA EUV光刻機,不僅2nm不用,連1.6nm、1.4nm工藝都不用,表示稱,價格太貴,劃不來,他們研究利用舊的EUV光刻機,來實現先進工藝。
ASML表示,到目前為止,全球也僅賣出5臺High NA EUV光刻機,只有intel、三星下了單,其它的客戶都不買。
如果其它客戶不買,High NA EUV光刻機賣不掉,對于ASML而言,是致命的,意味著所謂的靠EUV光刻機進步,來推動芯片工藝進步,就是最美麗的謊言了,ASML怎么辦?
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