原標題：匠心筑“凈”界 創新破“芯”局（主題）

——記合肥晶合集成電路股份有限公司設備整合部技術科長趙瓊（副題）

合肥日報-合新聞記者 李后祥

在企業建廠關鍵時期，他毅然扛起建立無塵室潔凈環境的重任，為企業量產筑牢根基。此后，他又在晶圓破片分析技術領域實現重大突破，填補國內空白……他就是合肥晶合集成電路股份有限公司設備整合部技術科長趙瓊。這位全國勞模用匠心與創新，為企業發展注入強勁動力，在半導體領域刻下深深的奮斗印記。

在納米級精度的晶圓制造領域，一粒肉眼不可見的塵埃卻如同巨型隕石，足以成為摧毀精密電路的“災難”。

2017年2月，趙瓊初入晶合集成時，正值企業建廠初期，肩負著建立無塵室潔凈環境的重任。彼時，擺在他面前的是時間緊迫、任務艱巨等一系列艱巨挑戰。那段日子里，趙瓊開啟了“白加黑”的工作模式，白天穿梭于施工現場，緊盯每一個環節；夜晚則沉浸在資料與數據中，不斷學習和研究無塵室建設的技術要點?！敖袢帐陆袢债叀背蔀樗蛨F隊堅守的信念。經過日夜奮戰，趙瓊和團隊終于按時完成了無塵室環境的建立，為晶合量產按下了加速鍵。

晶合集成所處的晶圓代工行業，是半導體產業鏈中最為重要的環節之一。在全球半導體生產中，晶圓破損是長期困擾行業的難題，且一直缺乏專用的分析工具?！耙酝嘁蕾嚬こ倘藛T的經驗判斷，不僅主觀性強，準確率也低?！壁w瓊決心改變這一現狀，他帶領團隊向晶圓破片分析技術發起挑戰，目標是開發出一款能夠精準、快速分析晶圓破片原因的裝置。

研發之路布滿荊棘，技術難題如同攔路虎，資源限制也不時掣肘。但趙瓊和團隊憑借著對技術創新的執著追求，以及為公司降本增效、推動行業進步的責任感，一路披荊斬棘。

他深入研究物理應力和制程應力破片的不同特點，巧妙利用光學以及晶圓平面坐標系統構建，終于成功研發出“一種晶圓破片分析裝置及其晶圓破片分析方法”。這一發明填補了國內空白，為制造中國“芯”注入了硬核力量。

憑借突出的貢獻，趙瓊先后榮獲合肥市第七屆職工技術創新成果一等獎、合肥市五一勞動獎章等諸多榮譽，2025年他又榮獲全國勞動模范稱號。

在技術傳承與年輕人才培養方面，趙瓊有著自己的獨特心得。他以身作則，在實際工作中言傳身教，同時，積極為年輕人創造學習和鍛煉的機會，鼓勵他們參與各類創新活動，在實戰中提升能力。定期組織的培訓和交流活動，也為年輕工程師拓寬了視野，助力他們快速成長。在趙瓊的帶領下，團隊不斷涌現出優秀的技術人才，為公司發展注入源源不斷的活力。

對于合肥半導體產業的未來，趙瓊更是滿懷期待。他堅信，在政府政策支持和企業共同努力下，合肥半導體產業將迎來前所未有的發展機遇。他和團隊也將積極投身其中，為推動產業發展貢獻力量，助力合肥成為全國乃至全球重要的半導體產業高地。

來源：合肥日報