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在今天上午開幕的第七屆智能傳感器產業發展大會上,安徽華鑫微納集成電路有限公司發布:8英寸晶圓生產線首批產品成功串線,這標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線在蚌正式投產。
安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經理 丁敬秀:“今天我們8英寸生產線的第一個全流程產品,正式串線成功,它標志著我們這條產線的系統 設備、質量等等,都已經達到一個相對比較完善的水平?!?/p>
華鑫微納主要從事MEMS晶圓制造,可加工產品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等,主要應用于高端裝備、汽車電子等領域。該項目是全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線、全國首條工藝設備配套齊全的壓電MEMS量產線。全部建成投產后,將具備月產3萬片晶圓的能力,成為國內產出最大的MEMS晶圓生產線。
東南大學首席教授 中國兵器工業集團特聘首席科學家 宋愛國:“8英寸的晶圓是很多傳感器,比方說像這種壓力傳感器,是最基礎的材料和部件。所以,它的建成,特別是產業化這一塊以及技術進步這塊,意義是非常大的?!?/p>
8英寸MEMS晶圓生產線項目是國家集成電路生產力布局的重大項目,也是國家發改委、國資委、工信部、安徽省關注的重大工程項目,2024年被列入國家重點工程。
中國傳感器與物聯網產業聯盟常務副理事長 郭源生:“作為敏感技術與傳感器行業里面,能有這么一條完整的生產線,無疑是對傳感器產業化的發展起到了積極的支撐作用。國內26000多個品種,有7000個常用的,我們缺乏的都是共性的工藝支撐。比方說我們的大多數芯片,67%的低端的都要依賴進口,高端的100%都要依賴進口。那么有了這條8英寸的生產線,無疑是對傳感器產業鏈的構架和產業的格局,打破過去的這種產業格局,都是有積極的作用的。”
華鑫微納位于中國傳感谷,定位為國內領先的8英寸MEMS晶圓代工企業以及國內領先的“開放式、定制化MEMS代工平臺基地”。這意味著,智能傳感器的核心部件——MEMS芯片,將在蚌埠生產并向全球的智能傳感器企業供貨,為整個產業鏈安全提供有力支撐。來源蚌埠廣播電視臺
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