截至6月23日10:04，中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)強勢上漲2.92%，成分股中晶科技漲停，中科飛測上漲6.30%，拓荊科技上漲5.13%，中微公司，安集科技等個股跟漲。半導(dǎo)體材料ETF（562590）上漲2.85%，盤中一度漲超3%，沖擊4連漲。最新價報1.08元。

東方證券認為，國內(nèi)晶圓制造廠和存儲器廠商為保障供應(yīng)鏈安全與產(chǎn)能建設(shè)節(jié)奏，將更有動力并加大力度采購國產(chǎn)替代產(chǎn)品。這不僅體現(xiàn)在成熟制程產(chǎn)能的持續(xù)擴張上，更將逐步向先進制程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)滲透。對設(shè)備廠商而言，關(guān)鍵半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的國產(chǎn)驗證與導(dǎo)入機會將顯著增多；材料領(lǐng)域，光刻膠、電子特氣、濕化學(xué)品、靶材、拋光材料等的本土化進程有望提速；而EDA作為芯片設(shè)計的基石，其全流程工具鏈的國產(chǎn)化需求也將變得更加迫切和剛性。

半導(dǎo)體材料ETF（562590）緊密跟蹤中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，該指數(shù)精選40只業(yè)務(wù)深度覆蓋半導(dǎo)體材料與半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的上市公司證券作為樣本。指數(shù)成分股中匯聚了多家在國產(chǎn)替代進程中表現(xiàn)突出的龍頭企業(yè)——例如在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)技術(shù)突破的北方華創(chuàng)、中微公司，以及在硅片、電子化學(xué)品等關(guān)鍵材料環(huán)節(jié)打破海外壟斷的滬硅產(chǎn)業(yè)、南大光電等，樣本股的篩選既聚焦行業(yè)核心賽道，充分體現(xiàn)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化升級的發(fā)展趨勢，反映半導(dǎo)體材料和設(shè)備上市公司證券的整體表現(xiàn)。

數(shù)據(jù)顯示，截至2025年5月30日，中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)前十大權(quán)重股分別為北方華創(chuàng)、中微公司、滬硅產(chǎn)業(yè)、南大光電、華海清科、拓荊科技、長川科技、鼎龍股份、TCL科技、安集科技，前十大權(quán)重股合計占比61.33%。