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深入光刻領(lǐng)域:揭秘芯片制造行業(yè)的職業(yè)新機會

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多年以后,當(dāng)每一個ICer站在職業(yè)生涯的路口,將會想起2023這一載入半導(dǎo)體行業(yè)史冊的一年。“裁員”、“降薪”、“解散”成了今年的主旋律,而過去幾年隨著芯片設(shè)計從業(yè)者的快速增加,內(nèi)卷似乎也越來越嚴(yán)重。當(dāng)芯片行業(yè)的種種亂象接踵而至?xí)r,我們也應(yīng)該仔細審視,到底什么才是這個行業(yè)真正需要的?到底什么才是有價值的?IC設(shè)計是不是畢業(yè)生唯一的出路?想逃離內(nèi)卷,我還能在芯片行業(yè)挖掘到哪些新的職業(yè)機會?

機會就在芯片制造中。縱觀整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,芯片是我國最為薄弱的一環(huán)。芯片制造環(huán)節(jié)紛繁復(fù)雜,有大大小小上千道工序,相關(guān)的職位也有很多種,或許有些人會說,制造中的崗位大多薪資低、加班多、環(huán)境差,誠然對一些制造的職位來說,沒錯,但也有一些崗位,不僅薪資nice,還更容易獲得職業(yè)價值感,這些職位就來自于芯片制造的核心步驟——光刻。

芯片制造主要可以分為八個大步驟,而光刻是整個制造過程中最核心的一步


光刻前要在晶圓上均勻地涂上光刻膠(Photoresist),光刻膠通常采用旋涂的方式,即邊旋轉(zhuǎn)、邊涂抹,保證光刻膠的均勻性。


將涂好光刻膠的晶圓放入光刻機中,光刻機的光源發(fā)出的深紫外(DUV)或極紫外(EUV)光透過掩模版(也稱作光罩),將掩模版上的電路結(jié)構(gòu)圖案縮小并聚焦到光刻膠圖層上。光刻膠在受光后,受光區(qū)域會發(fā)生化學(xué)變化,掩模版上的電路圖形就會被刻到光刻膠圖層上,此步驟稱為曝光,如下圖所示。曝光之后的步驟是烘烤和顯影,目的是去除圖形未覆蓋區(qū)域的光刻膠,從而讓印制好的電路圖案顯現(xiàn)出來,永久固定。


以上只是傳統(tǒng)理解上的光刻,而光刻的概念不止于此,比如ASML的全景光刻解決方案,整合計算光刻、光刻機臺、光學(xué)和電子束量測,以鐵三角的無間合力,幫助芯片制造商經(jīng)濟高效地提升良品率和生產(chǎn)效率。

所謂計算光刻,就是利用數(shù)學(xué)、建模、仿真、數(shù)據(jù)分析和優(yōu)化等手段,在晶圓進入正式曝光之前,預(yù)測并矯正光刻制造過程中的納米級芯片設(shè)計問題、掩模缺陷、制造缺陷等難題。光源掩模協(xié)同優(yōu)化(Source Mask Optimization, SMO)和光學(xué)臨近效應(yīng)校正(Optical Proximity Correction, OPC)便是計算光刻中兩大關(guān)鍵技術(shù),它們?nèi)诤狭怂惴āI、數(shù)學(xué)物理模型等技術(shù),可以對關(guān)鍵圖形和易缺陷圖形做成像增強,增大工藝窗口,光刻更加精確,使制造工藝進一步提升成為可能,有效延續(xù)摩爾定律。

以上關(guān)于計算光刻的介紹,是不是破除大家對制造的誤解?在計算光刻中的背后是需要算法工程師、軟件研發(fā)工程師、現(xiàn)場應(yīng)用工程師的付出,而設(shè)計架構(gòu)如此復(fù)雜的大型軟件,難度也是可想而知,需要工程師不斷地學(xué)習(xí)、積累經(jīng)驗,掌握大量的編程技能及前沿知識才能完成的。職業(yè)生涯的發(fā)展上限自然也很高!

ASML光刻技術(shù)的發(fā)展不是一蹴而就的,在荷蘭這樣一個盛產(chǎn)風(fēng)車和郁金香的國家,成立初期只有三十幾個人的ASML是如何崛起的?這一切,要從半導(dǎo)體發(fā)展的三個歷史階段說起。

第一個階段是二十世紀(jì)六七十年代,也就是光刻機發(fā)展的早期階段,在集成電路發(fā)明之初,光刻工藝還在微米級別,工藝步驟也比現(xiàn)在簡單很多。況且光刻機的基本原理像皮影戲一樣簡單,即把光源發(fā)出的光透過掩模版,再把掩膜版上的電路印在涂有光刻膠的晶圓上 。第二個階段是二十世紀(jì)九十年代,光刻機的光源波長一度被卡死在193納米,摩爾定律也因此遇到了危機,這是整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨的一大難關(guān)。天才科學(xué)家林本堅在透鏡和硅片之間加一層水或者其他折射率合適的液體,原有的193納米激光經(jīng)過折射,不就可以降低到132納米了嗎?!在當(dāng)時很多光刻機大廠不愿意押注林本堅的“浸潤式微影技術(shù)”的時候,ASML決定破釜沉舟、奮力一搏。僅用一年時間,在2004年ASML就拼全力趕出了第一臺光刻機樣機,并先后奪下IBM和臺積電等大客戶的訂單,在技術(shù)上實現(xiàn)彎道超車。第三個階段是千禧年前后開始的,1997年,美國能源部和英特爾牽頭成立了EUV LLC(Extreme Ultra Violet Limited Liability Company)聯(lián)盟,在ASML加入后的幾年時間里,EUV LLC聯(lián)盟在EUV光刻技術(shù)研究進展迅速。2010年,ASML將第一臺EUV光刻原型機——NXE:3100運送給韓國三星的研究機構(gòu)作為研究設(shè)備,標(biāo)志著光刻技術(shù)新紀(jì)元的開始。而如今,在全景光刻、計算光刻技術(shù)的加持下,光刻技術(shù)更是邁上了一個新的臺階!

如今,ASML作為行業(yè)的引領(lǐng)者,更是從未停止在光刻技術(shù)上的探索。ASML的全景光刻,是集成了精密硬件——掃描式光刻機、計算光刻、光學(xué)和電子束測量的鐵三角,鐵三角可以有效的提升工藝窗口,幫助客戶制造工藝更先進的芯片,同時縮短交付的時間。其中光學(xué)和電子束測量工具,則是全景光刻的品控師,電子束量測可以發(fā)現(xiàn)單個芯片上極其細微的制造缺陷,收集相關(guān)數(shù)據(jù),并反饋至光刻機臺,完成量測和檢驗。

從技術(shù)角度看,ASML鐵三角從多維度全方位拓展了“光刻”這一看似單一的概念,實現(xiàn)更加完整的光刻一體化解決方案。


在中國,每一臺ASML光刻機,一年所曝光的晶圓片數(shù)量平均近200萬片,當(dāng)它們連在一起,長度相當(dāng)于5條黃浦江,而它們疊加起來,高度相當(dāng)于3座東方明珠塔。我們手機、電腦中的先進工藝制程的芯片,幾乎都是用ASML光刻機制造的,雖然ASML光刻機離普通人很遙遠,但又和每一個人息息相關(guān)。

如果有一次和工業(yè)皇冠上的明珠——光刻機朝夕相處的機會,如果愿意接受摩爾定律的挑戰(zhàn),如果想加入芯片行業(yè)成為先鋒,那么光刻相關(guān)的職位則是上佳之選。除此之外,更長的職業(yè)發(fā)展路徑,工作和生活的平衡,創(chuàng)新并與全球的團隊合作,這里通通都有!

選擇ASML,做一個眼里有光的人。

云體驗在ASML的職業(yè)無限可能

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