在成為我國半導體刻蝕設備龍頭后，中微公司（688012.SH）接下來會怎樣發(fā)展？在最近舉行的中微公司2024年度及2025年第一季度業(yè)績說明會上，中微公司董事長尹志堯?qū)Υ俗龀隽私獯穑?/p>

中微公司給的答案很簡單，就是向平臺型半導體設備公司轉(zhuǎn)型。中微公司表示，目前中微可以覆蓋30%的集成電路設備，今后五到十年內(nèi)公司將與合作伙伴共同覆蓋60%的集成電路高端設備。

具體來看，中微公司此次戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型的核心抓手是三大半導體設備之一的薄膜設備（另外兩大設備是光刻設備和刻蝕設備）。公司強調(diào)，但相信3年到5年之內(nèi)，薄膜設備業(yè)務預計至少成長到公司現(xiàn)在刻蝕設備業(yè)務一半的規(guī)模，達到同等數(shù)量級。

另外，中微公司還就當前熱門的并購重組潮回答了投資者的提問，尹志堯表示，光靠并購做大的公司根基不穩(wěn)，核心還是要增加自己的本事。

刻蝕業(yè)務：精度達到0.1納米及以下

在此次業(yè)績說明會中，中微公司首先介紹了公司當前的核心業(yè)務刻蝕業(yè)務。

2024年，中微公司刻蝕設備收入約72.77億元，在最近四年收入年均增長超過50%的基礎上，又同比增長約54.72%。 除了收入上的增長，在技術和市場方面，中微公司的表現(xiàn)也可圈可點，呈現(xiàn)出產(chǎn)品覆蓋面廣和技術達到全球先進水平兩大特點。

產(chǎn)品覆蓋面方面，中微公司董事長尹志堯表示，在等離子體刻蝕領域，我們基本可以全面覆蓋，包括成熟及先進邏輯器件、閃存、動態(tài)存儲器、特殊器件等，并且已經(jīng)有95%到99%的應用都有了批量生產(chǎn)的數(shù)據(jù)或客戶認證的數(shù)據(jù)。

技術先進性方面，尹志堯稱，工藝精度上，中微公司ICP刻蝕機Twin-star兩臺的加工精度已經(jīng)進入皮米數(shù)量級，達到100皮米以下水平（1 納米=1000皮米）；雙臺刻蝕機實現(xiàn)原子、亞原子水平刻蝕控制，達到全球先進水平。目前業(yè)內(nèi)量產(chǎn)所用刻蝕機的深寬比在60:1，中微公司正在突破90到100:1的深孔刻蝕。

值得注意的是，在2024年財報中，中微公司曾表示，公司刻蝕設備已應用于全球先進的5納米及以下集成電路加工制造生產(chǎn)線。在海外先進的5納米芯片生產(chǎn)線及下一代更先進的生產(chǎn)線上，公司的CCP刻蝕設備均實現(xiàn)了批量銷售，已有超過300 臺反應臺在生產(chǎn)線合格運轉(zhuǎn)。

向平臺公司發(fā)展 覆蓋60%的集成電路高端設備

雖然刻蝕業(yè)務才是當前中微公司的核心業(yè)務，但接下來的中微公司關于非刻蝕業(yè)務的表述，才是此次中微公司業(yè)績說明會的核心，這關系到中微公司未來的發(fā)展方向。

首先，尹志堯明確，未來中微公司將是一家平臺式的集團公司。其表示，目前中微可以覆蓋30%的集成電路設備。而在今后五到十年內(nèi)，中微公司將與合作伙伴共同覆蓋60%的集成電路高端設備，包括刻蝕、薄膜及量檢測的全部設備，以及一部分濕法設備，成為平臺式的集團公司。

其中，薄膜設備將是中微公司接下來工作的重心。

兵馬未動糧草先行，中微公司首先加強了在薄膜業(yè)務方面的研發(fā)投入。尹志堯介紹，過去20年，中微公司大部分研發(fā)投入在刻蝕上，刻蝕占研發(fā)比例長期保持在70%左右，最高甚至超過75%。但是，最近幾年，越來越多的錢投入到薄膜設備的研發(fā)上。因為薄膜的種類非常多，所以說研發(fā)投入與刻蝕沒有伯仲之分了。因此，也期待薄膜設備的收入體量快速增長。

在不斷增長的研發(fā)費用的作用下，中微公司的研發(fā)效率大幅提升，同時薄膜業(yè)務迎來了快速發(fā)展。

中微公司介紹，十年前，我們一般需要三到五年來開發(fā)一個新產(chǎn)品，然后再花兩年時間進入市場……從最新產(chǎn)品信息來看，現(xiàn)在我們只需要大約18個月，最多兩年就能完成新品研發(fā)，半年到一年就可以量產(chǎn)并進入市場。

薄膜業(yè)務發(fā)展方面，中微公司2024年年報顯示，去年公司LPCVD實現(xiàn)首臺銷售，全年設備銷售額約1.56億元。目前，中微公司規(guī)劃了近40種導體薄膜沉積設備的開發(fā)。其中9種設備已經(jīng)完成開發(fā)，6款實現(xiàn)量產(chǎn)運轉(zhuǎn)1年，今年計劃將完成7種設備開發(fā)。

并且，對于公司薄膜業(yè)務未來的發(fā)展，尹志堯強調(diào)，我們很快將會把國際對國內(nèi)禁運的20多種薄膜設備開發(fā)完成，預計到2029年完成所有開發(fā)……雖然公司薄膜設備現(xiàn)在的銷售額還不到10億，但相信3年到5年之內(nèi)，預計至少成長到公司現(xiàn)在刻蝕設備一半的規(guī)模，達到同等數(shù)量級。

除了在技術方面推進公司薄膜業(yè)務的發(fā)展，在產(chǎn)能方面中微公司也在進行布局。今年初，中微公司曾發(fā)布公告稱，擬在成都市高新區(qū)投資設立全資子公司中微半導體設備（成都）有限公司，建設研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項目。該項目總投資額30.5億元，將面向高端邏輯及存儲芯片，開展化學氣相沉積設備、原子層沉積設備及其他關鍵設備的研發(fā)和生產(chǎn)工作。

當然，除了薄膜業(yè)務，中微公司還在大力推進量檢測設備業(yè)務和泛半導體業(yè)務的發(fā)展，此處就不一一列舉了。

會不會并購？強調(diào)光靠并購做大的公司根基不穩(wěn)

眾所周知，近期半導體行業(yè)迎來了一波并購重組的大潮，典型的案例有海光信息合并吸收中科曙光、北方華創(chuàng)入主芯源微等。那么，作為A股第二大半導體設備公司，中微公司會加入到并購重組的潮流中么？

從中微公司董事長尹志堯的發(fā)言和中微公司的財務狀況來看，短期內(nèi)中微公司應該不會進行大規(guī)模的并購重組。

在此次業(yè)績說明會上，尹志堯表示， “中微公司從來都是有機生長（自研）跟外延擴張相結(jié)合。我們的基點在技術而不在并購，光靠并購做大的公司根基不穩(wěn)，核心還是要增加自己的本事。”

從具體案例上來看，中微公司也確實更傾向于自研，而非并購。

比如說，中微公司正在重點發(fā)展的薄膜設備業(yè)務。實際上中微公司是A股薄膜設備龍頭拓荊科技的第三大股東，持股比例為7.33%。但目前，并沒有任何中微公司要收購或者吸收合并拓荊科技的消息。

另外從財務狀況來看，在不進行融資的情況下，中微公司可能也難以進行大規(guī)模的收購。

截至2025 年 3月31日，中微公司的貨幣資金為78.35億元。雖然手握重金，但在今年初中微公司宣布了2個投資總額達到30億元的投資項目，分別是在成都高新區(qū)設立全資子公司并建設研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項目以及在廣州建設華南總部及產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)基地。

不過，雖然短期內(nèi)可能不會進行大規(guī)模的并購，但中微公司正在通過投資的方式來擴大自身在半導體行業(yè)的影響力。

據(jù)介紹，公司自上市以來斥資20多億元投資了約40家產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)，實現(xiàn)了浮盈50多億元的良好經(jīng)濟效益和戰(zhàn)略協(xié)同效果。其中公司參股投資的8家公司已完成A股上市。