眾所周知,目前全球僅一家廠商能夠生產(chǎn)EUV光刻機,它就是荷蘭的ASML。
事實上,EUV光刻機,早在2016年就量產(chǎn)出來了,但后來也經(jīng)歷了不斷的迭代,而這種EUV光刻機,有一個非常重要的指標,那就是數(shù)值孔徑。
因為EUV光刻機,是通過收集EUV光線來進行光刻,光線越多,可操作性就越強,分辨率就越高。
而數(shù)值孔徑越大,自然通過的光線就越多了,早期的EUV光刻機,其數(shù)值孔徑是NA=0.33,但即使是這樣的光刻機,其價格也是高達1億多美元。
但對于ASML而言,不可能一直生產(chǎn)這種NA=0.33的光刻機吧,畢竟ASML也需要推出新的產(chǎn)品來提高價格,獲取得多的營收、利潤。
所以后來,ASML又推出了High NA EUV光刻機,這種光刻要的數(shù)值孔徑為0.55,也就是NA=0.55。
按照ASML的規(guī)劃,從7nm到3nm時,使用NA=0.33的EUV光刻機,這種大約是1.5億美元一臺。
而進入3nm以下,比如2nm、1.6nm、1.4nm等工藝時,則使用NA=0.55的High NA EUV光刻機,這種光刻機,大約是4億美元一臺,這樣ASML不斷的推動技術(shù)進步,不斷的讓臺積電等廠商來購買新的光刻機,這樣ASML就不斷的賺錢。
可是,問題來了,ASML想逼著大家買新的EUV光刻機,可大家愿意買么?還真不一定。
近日,臺積電就表示稱,臺積電不會在其A16(1.6nm)節(jié)點上使用High-NAEUV光刻機,因為它太貴了,甚至在A14增強版中,也不使用High-NA EUV光刻機。
至于今年就量產(chǎn)的2nm芯片,就更加不會用它了,臺積電表示稱,團隊正在繼續(xù)利用微縮優(yōu)勢來延長現(xiàn)有(Low-NA EUV光刻機)的使用壽命,就是說不會輕易換掉手中的0.33NA的EUV。畢竟臺積電手中100多臺0.33NA這種EUV光刻機,要是換掉可是要400多億美元,誰抗得住?
而按照ASML的說法,目前這種High-NA EUV光刻機,全球僅兩家廠商買了,分別是英牡爾、三星,一共才交付了5臺。
可見,因為太貴,像臺積電這樣的巨頭,可不想被割韭菜了,一旦臺積電不買,且未來幾代工藝都不買,那ASML的這種光刻機,誰來買?未來前景可能就有點堪憂了。
特別聲明:以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺“網(wǎng)易號”用戶上傳并發(fā)布,本平臺僅提供信息存儲服務(wù)。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.