在半導(dǎo)體晶圓制造的研磨、清洗等精細(xì)且關(guān)鍵環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)人工操作不僅效率低下，難以滿足日益增長(zhǎng)的產(chǎn)能需求，更糟糕的是破片率居高不下，直接導(dǎo)致生產(chǎn)成本高、良率受限，成為行業(yè)發(fā)展的一大“瓶頸”。而愛(ài)普生作為技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，精準(zhǔn)聚焦半導(dǎo)體晶圓制造痛點(diǎn)，提出“晶圓上下料解決方案”，突破性地引入愛(ài)普生六軸機(jī)器人，并有機(jī)融合自有視覺(jué)系統(tǒng)與壓力系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了晶圓片取放的全自動(dòng)化流程。

“晶圓上下料解決方案”通過(guò)愛(ài)普生機(jī)器人的精準(zhǔn)操控，配合視覺(jué)系統(tǒng)的智能識(shí)別以及壓力系統(tǒng)的精細(xì)感知，一舉攻克人工操作的諸多難題，大幅提升生產(chǎn)良率與效率，為半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)辟全新發(fā)展路徑。

壓力精準(zhǔn)感知，守護(hù)晶圓品質(zhì)：

方案搭載的壓力傳感器憑借對(duì)微小力的高靈敏度檢測(cè)及出色響應(yīng)能力，使得愛(ài)普生機(jī)器人能夠在取放晶圓片的瞬間，精準(zhǔn)感知并控制作用力。在壓力保護(hù)機(jī)制下，哪怕是極其細(xì)微的操作偏差都能被及時(shí)糾正，從源頭上降低破片風(fēng)險(xiǎn)，為提高生產(chǎn)良率筑牢根基。這種對(duì)力的精準(zhǔn)把控，是愛(ài)普生在半導(dǎo)體制造工藝細(xì)節(jié)上追求卓越的生動(dòng)體現(xiàn)。

柔性適配生產(chǎn)，滿足多元需求：

愛(ài)普生工業(yè)機(jī)器人以其卓越可靠的性能，成為自動(dòng)化生產(chǎn)線上的中流砥柱。其末端機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)獨(dú)具匠心，充分考慮到半導(dǎo)體產(chǎn)品的多樣性，可根據(jù)客戶對(duì)不同尺寸晶圓片的生產(chǎn)需求實(shí)現(xiàn)快速更換。無(wú)論是小型研發(fā)項(xiàng)目的特殊尺寸晶圓，還是大規(guī)模量產(chǎn)所需的標(biāo)準(zhǔn)尺寸，愛(ài)普生機(jī)器人都能輕松應(yīng)對(duì)，確保生產(chǎn)線的柔性與高效，極大節(jié)省人力成本，提升企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。

一站式貼心服務(wù)，加速項(xiàng)目落地：

愛(ài)普生深知企業(yè)在引入新技術(shù)時(shí)面臨的挑戰(zhàn)，為此精心打造一站式服務(wù)體系。從機(jī)器人本體到視覺(jué)系統(tǒng)、力覺(jué)系統(tǒng)，全由愛(ài)普生一家提供，并且均可在同一軟件平臺(tái)上便捷操作。這意味著企業(yè)無(wú)需周旋于多個(gè)供應(yīng)商之間，技術(shù)對(duì)接、調(diào)試運(yùn)維等工作都變得高效順暢。愛(ài)普生專業(yè)團(tuán)隊(duì)還能提供即時(shí)技術(shù)支持，讓溝通成本降至最低，為項(xiàng)目的快速推進(jìn)、投產(chǎn)節(jié)省寶貴時(shí)間，助力企業(yè)搶占市場(chǎng)先機(jī)。

（愛(ài)普生視覺(jué)系統(tǒng)PV1）

值得關(guān)注的是，愛(ài)普生的“晶圓上下料解決方案”已在半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)戰(zhàn)中接受檢驗(yàn)，并收獲廣泛好評(píng)。眾多企業(yè)在引入該方案后，生產(chǎn)線變得穩(wěn)定高效，破片率顯著降低，產(chǎn)能穩(wěn)步提升，生產(chǎn)成本得到有效控制。這些實(shí)實(shí)在在的改變，讓愛(ài)普生方案成為半導(dǎo)體制造企業(yè)邁向智能化、高效化的不二之選。

愛(ài)普生始終秉持“科技+本地化”戰(zhàn)略與“省、小、精”技術(shù)理念，深深扎根于中國(guó)市場(chǎng)，與多家本土企業(yè)攜手共進(jìn)。愛(ài)普生也持續(xù)通過(guò)深入了解中國(guó)用戶需求，優(yōu)化產(chǎn)品與解決方案，愛(ài)普生“晶圓上下料解決方案”正是這一努力的結(jié)晶，且其有望在未來(lái)領(lǐng)航半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，推動(dòng)行業(yè)邁向更高峰。