散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州,
盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。
——《國務院給予江上舟同志挽聯》
01
前沿導讀
在美國知名平臺Quora當中,有美國網友發問,在沒有美國技術允許的前提下,為什么中國企業敢研發DUV光刻機?
該問題在平臺當中引起了劇烈討論,在各方網友的爭論下,很多網友都認為中國企業是在被美國制裁的封鎖下,被逼無奈才選擇進行自主技術設備的研發。并且美國通過這種制裁壓制的手段,為自己塑造了一個“可怕”的競爭對手。
02
對華限制
在多年前,中芯國際曾花費了巨額資金從ASML采購了EUV光刻機,但是由于美國的制裁封鎖,該設備最終并沒有交付給中國企業。到了2023年,限制措施繼續升級,美國對荷蘭政府施壓,禁止ASML出口給中國企業先進的浸潤式DUV光刻機。
在EUV設備與浸潤式DUV設備的雙重限制下,中國芯片的制造業陷入了瓶頸,無法制造出7nm工藝的先進芯片。
2024年,美國政府向荷蘭、德國、韓國、日本等國家的芯片企業施壓,禁止相關企業跟中國市場合作,禁止其向中國企業出口制造設備。
與此同時,在美國政府的持續壓制下,荷蘭政府對ASML公司進行的限制,禁止其為中國客戶維修、維護光刻機設備,這導致了中國企業曾經采購的大約1400臺芯片制造設備陷入無售后的中斷風險。
該限制措施,不但影響了中國企業使用設備的合法權益,而且還對ASML的在華業務造成了嚴重的負面影響。根據環球網相關報道顯示,ASML有將近50%的銷售額,均來自于中國市場。
美國試圖通過對荷蘭政府施壓,禁止ASML給中國客戶提供設備的零部件更換以及相關的技術支持,以此來在耗材斷供上面逐步癱瘓中國的制造設備。荷蘭的首相迪克·肖夫稱,這一決定是“平衡國家安全與商業利益的必要措施。”
2025年,美國的新制裁措施來襲,禁止臺積電、三星等晶圓制造企業向中國市場出口超過300億晶體管數量的成熟芯片,并且同時對日本、荷蘭等芯片制造商施壓,禁止其向中國企業提供芯片制造所需的材料,以及低端的老舊制造設備。
ASML公司的首席CEO彼得·溫寧克曾經對美國的這種做法提出質疑,認為其混淆了國家安全與貿易政策的邊界。雖然美國通過制裁措施,成功的壓制了中國企業在先進芯片技術上面的研發,但是這種方法會導致中國企業開發出自主的制造設備,從而替代海外的產品。
03
發展自主技術
對于美國的這種對華制裁,有美國的評論家表示:
中國企業如今已經取得了技術突破,而且中國市場是世界上最大的芯片用戶市場,中國企業已經掌握了7nm芯片的制造技術,所以在芯片制造領域,中國企業已經解決了技術困境。美國這種做法簡直是搬起石頭砸自己的腳,讓美國企業最大的客戶市場成為了最大的競爭對手,我不明白美國到底是怎么想的。
根據浸潤式光刻技術的發明人——林本堅在所著書籍《光刻技術》當中的內容表示,使用浸潤式的DUV光刻設備制造先進芯片,在技術上面是完全可行的,需要通過多重曝光和自對準多重圖案化技術來實現,但是在成本、良品率、能效上面是個極大的問題。
而中國的芯片企業,就是通過以上技術方案,成功實現了7nm芯片的制造。
在此之前,用這種技術方案制造先進芯片成功的企業有兩家,一個是英特爾,一個是臺積電。但是英特爾投入了大量資源后,無法解決良品率過低的原因,于是英特爾放棄了這個方案,轉向了EUV技術。而臺積電則成功的解決了量產和能效的問題,并且給華為制造出了麒麟990 4G芯片。
現如今,中國大陸企業是繼臺積電之后,第二家用DUV設備制造7nm芯片并且成功實現了量產的企業。
并且在自主設備上面,中國的各大高校以及科研院均在許多年前開始了技術儲備。北方華創、中微半導體、盛美半導體等領頭的制造設備企業,在刻蝕機、清洗機、薄膜沉積設備等多個產品領域,均開發出了自主可控的芯片制造設備,已經在長電科技的生產線當中進行了技術驗證。
在光刻機產品上面,中國企業已經完成了干式光刻機的全域開發,并且投入了市場使用,浸潤式和EUV技術也在穩步的推進當中。
對于外國平臺質疑中國芯片技術的情況,我國的網友在國外平臺回復到:
美國不是上帝,我們中國的技術發展不需要得到美國的許可。即便美國是神,但是在我們中國的古代神話當中,惡意傷害人的神,也會被人類反殺。
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