6月24日 ， 英國(guó)有機(jī)薄膜晶體管（OTFT）材料開(kāi)發(fā)商Smartkem宣布， 獲得了一項(xiàng)Micro LED顯示器制造新方法的專(zhuān)利 ， 該專(zhuān)利 涉及在Micro LED晶圓上圖案化OTFT背板 ， 并選擇性移除Micro LED。

圖片來(lái)源：Smartkem

Smartkem董事長(zhǎng)Ian Jenks表示 ， 公司 已建立起強(qiáng)大的知識(shí)產(chǎn)權(quán)組合，涵蓋17個(gè)專(zhuān)利族 的 共140項(xiàng)已授權(quán)專(zhuān)利 。 本次新獲得的專(zhuān)利是一項(xiàng)創(chuàng)新性的Micro LED顯示制造技術(shù) ， 不僅提升了制造效率，還大幅降低了材料浪費(fèi)和生產(chǎn)成本。

據(jù)介紹，新 專(zhuān)利技術(shù)提供了一種比傳統(tǒng) 單片 式（monolithic） Micro LED 顯示 器 制造方式更高效、 且 可持續(xù)的替代方案。其原理為僅將所需的 Micro LED 從生長(zhǎng)基底選擇性轉(zhuǎn)移至顯示基底，而非在單一基底上制造整個(gè)顯示器。

具體過(guò)程包括 ： 首先準(zhǔn)備 Micro LED 晶圓并施加粘附層，使選定的 Micro LED 裸露 ， 接著在粘附層上沉積OTFT背板，并精準(zhǔn)對(duì)位以連接裸露的 Micro LED， 最后將整個(gè)組件從原始晶圓上移除，并轉(zhuǎn)移至新的顯示基底。

與傳統(tǒng) Micro LED 與晶體管在同一晶圓上生長(zhǎng)的 單片式 制造方法不同，Smartkem的 新 專(zhuān)利技術(shù)采用“選擇性移除” Micro LED 的方式，使得晶圓可以被多次重復(fù)利用 ， 由此帶來(lái)的制造成本遠(yuǎn)低于一次性使用整片晶圓的傳統(tǒng)方式。

資料顯示， Smartkem 是一家英國(guó)的有機(jī)薄膜晶體管（OTFT）材料開(kāi)發(fā)商。 2024 年5月， Smartkem 曾首次展示了基于其專(zhuān)有OTFT材料的Micro LED顯示屏樣品。該樣品為96x96像素的Micro LED陣列，采用藍(lán)寶石襯底，通過(guò) Smartkem 材料進(jìn)行平面化處理，并利用光刻、蝕刻、濺射及金屬層圖形化工藝實(shí)現(xiàn)Micro LED的陰陽(yáng)極接觸，以生成顯示效果。

今年1月， Smartkem 宣布， 已完成首次向合作伙伴上海芯元基半導(dǎo)體（Chip Foundation）出售TRUFLEX ? 半導(dǎo)體材料，雙方將采用這些材料共同開(kāi)發(fā)用于液晶顯示器的新一代Micro LED背光技術(shù)。

LEDinside整理

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