合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司CEO張海濤

不斷突破“卡脖子”技術(shù)

在當(dāng)今全球科技競(jìng)爭(zhēng)愈發(fā)激烈的背景下，高端裝備制造領(lǐng)域成為各國(guó)競(jìng)相角逐的焦點(diǎn)，而我國(guó)在泛半導(dǎo)體高端裝備領(lǐng)域長(zhǎng)期面臨著國(guó)外技術(shù)壟斷的困境。

合肥欣奕華憑借其在真空鍍膜、潔凈移載和高速高精密三大技術(shù)平臺(tái)的深厚積累，成功打破了國(guó)外壟斷，實(shí)現(xiàn)了顯示蒸鍍機(jī)、半導(dǎo)體AMHS系統(tǒng)等核心裝備的國(guó)產(chǎn)化突破，成為推動(dòng)中國(guó)高端裝備制造自主化進(jìn)程的重要力量。

融中財(cái)經(jīng)與合肥欣奕華智能機(jī)器股份有限公司CEO張海濤進(jìn)行了深度對(duì)話，對(duì)話中，張海濤詳細(xì)闡述了公司在技術(shù)壁壘突破、資本賦能與戰(zhàn)略協(xié)同、行業(yè)機(jī)遇與國(guó)產(chǎn)替代、市場(chǎng)拓展與商業(yè)化驗(yàn)證以及未來(lái)戰(zhàn)略與上市規(guī)劃等方面的獨(dú)特見解與實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。從攻克“卡脖子”技術(shù)難題，到在顯示、光伏、集成電路等多領(lǐng)域的技術(shù)復(fù)用；從國(guó)有資本與產(chǎn)業(yè)基金的深度參與對(duì)公司技術(shù)研發(fā)和市場(chǎng)拓展的關(guān)鍵影響，到在國(guó)產(chǎn)替代浪潮中精準(zhǔn)定位自身角色、應(yīng)對(duì)國(guó)際巨頭競(jìng)爭(zhēng)壓力...

三大技術(shù)路線、三大聚焦產(chǎn)品

以“打破國(guó)外壟斷，填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)空白”為使命，在2013年，合肥欣奕華成立了。作為中國(guó)泛半導(dǎo)體高端裝備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)。公司深耕顯示面板、集成電路、光伏鈣鈦礦三大戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)，自主開發(fā)了全球領(lǐng)先的GW級(jí)鈣鈦礦蒸鍍?cè)O(shè)備（支持1200mm×2400mm基板量產(chǎn)）、OLED蒸鍍機(jī)、Mini LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備等核心裝備，技術(shù)水平對(duì)標(biāo)國(guó)際巨頭。其首創(chuàng)的鈣鈦礦RPD設(shè)備實(shí)現(xiàn)高能量粒子零損傷鍍膜，助力客戶提升電池轉(zhuǎn)換效率。

憑借“潔凈移載、高速精密、真空鍍膜”三大技術(shù)平臺(tái)，公司產(chǎn)品覆蓋全球超100家產(chǎn)業(yè)鏈客戶，年均營(yíng)收超10億元。2024年完成超3億元B+輪融資（國(guó)開制造業(yè)基金等參投），正加速成為跨領(lǐng)域平臺(tái)型裝備標(biāo)桿。

過(guò)去十二年，合肥欣奕華作為一家深耕泛半導(dǎo)體高端裝備領(lǐng)域的企業(yè)，通過(guò)持續(xù)研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，攻克了一系列產(chǎn)業(yè)前沿技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)難題，形成了真空鍍膜、潔凈移載和高速高精密三大產(chǎn)品和技術(shù)平臺(tái)。公司依托三大技術(shù)路線，聚焦于顯示、集成電路、光伏泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，成功開發(fā)出多款高端裝備，確保公司在多元化業(yè)務(wù)拓展中保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

真空鍍膜技術(shù)方面，公司從2015年開始布局OLED顯示面板的真空鍍膜技術(shù)研發(fā)，旨在攻克OLED面板的真空鍍膜產(chǎn)業(yè)化難題。顯示蒸鍍機(jī)屬于OLED顯示面板最核心的關(guān)鍵工藝裝備，之前主要被國(guó)外廠商壟斷，合肥欣奕華目前已完成從G1到高世代顯示蒸鍍機(jī)系列產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化開發(fā)，小世代整機(jī)、蒸發(fā)源和高精密對(duì)位系統(tǒng)等高世代蒸鍍機(jī)關(guān)鍵核心裝置方面已成功交付客戶量產(chǎn)應(yīng)用。公司通過(guò)創(chuàng)新設(shè)計(jì)加熱機(jī)構(gòu)和冷卻單元、開發(fā)相關(guān)調(diào)控裝置和控制程序，保證了蒸發(fā)溫度場(chǎng)的均勻性控制精度，蒸發(fā)粒子在材料平衡蒸氣壓下進(jìn)行，從而實(shí)現(xiàn)了蒸鍍膜厚均勻性≤3%的國(guó)際先進(jìn)水平。

通過(guò)多年的技術(shù)積累，合肥欣奕華2020年將OLED真空鍍膜技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用到光伏鈣鈦礦電池片核心工藝制程，并與龍頭客戶快速完成開發(fā)和量產(chǎn)應(yīng)用，通過(guò)技術(shù)應(yīng)用拓展，降低研發(fā)成本，加速產(chǎn)品量產(chǎn)應(yīng)用和迭代。在鈣鈦礦光伏領(lǐng)域，公司已開發(fā)出包括小試到GW級(jí)量產(chǎn)系列化鈣鈦礦蒸鍍機(jī)產(chǎn)品，為鈣鈦礦電池的大規(guī)模生產(chǎn)提供了關(guān)鍵設(shè)備支持，目前全球已投資建設(shè)的4條GW級(jí)量產(chǎn)線均使用了公司研制的設(shè)備。

潔凈移載技術(shù)方面，公司主要針對(duì)顯示面板、集成電路等領(lǐng)域的刻蝕、鍍膜、涂膠顯影等核心工藝制程提供高潔凈度、高精度的物料搬運(yùn)和傳輸技術(shù)，確保核心工藝制程高效率和高良率量產(chǎn)。在集成電路領(lǐng)域，公司研發(fā)的半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）主要應(yīng)用于光刻、刻蝕、鍍膜等系列核心工藝制程的晶圓搬運(yùn)和存儲(chǔ)，實(shí)現(xiàn)各核心工藝制程間物料的智能高速搬運(yùn)，確保生產(chǎn)高效穩(wěn)定。半導(dǎo)體AMHS目前主要被國(guó)外廠商壟斷，公司是國(guó)內(nèi)少數(shù)打破國(guó)外壟斷的企業(yè)，目前已在國(guó)內(nèi)多家8寸和12寸半導(dǎo)體客戶晶圓廠實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)應(yīng)用。

在半導(dǎo)體顯示領(lǐng)域，合肥欣奕華解決了G6-G10.5系列產(chǎn)品線超大超薄易碎玻璃基板的潔凈搬送技術(shù)難題，研發(fā)的潔凈搬運(yùn)機(jī)器人主要應(yīng)用于半導(dǎo)體顯示刻蝕、鍍膜、涂膠顯影等核心工藝制程的基板智能搬運(yùn)和傳輸，確保高潔凈環(huán)境下的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。

高速高精密技術(shù)方面，公司主要針對(duì)新型顯示和集成電路先進(jìn)封裝進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)和開發(fā)，實(shí)現(xiàn)相關(guān)領(lǐng)域關(guān)鍵核心設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。在集成電路先進(jìn)封裝方面，公司主要解決先進(jìn)封裝高速高精度貼片核心工藝制程技術(shù)，滿足先進(jìn)封裝領(lǐng)域?qū)N片速度和精度的嚴(yán)格要求，公司通過(guò)創(chuàng)新性技術(shù)開發(fā)，實(shí)現(xiàn)直接式高速倒裝貼片技術(shù)，相比于國(guó)外壟斷的傳統(tǒng)貼片技術(shù)，貼片速度超5倍以上，極大提升了客戶的生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。在半導(dǎo)體新型顯示方面，公司攻克了微米級(jí)LED芯片高速高精度巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)開發(fā)，開發(fā)出全球首臺(tái)大尺寸Mini LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備，實(shí)現(xiàn)批量量產(chǎn)；同時(shí)完成了Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備開發(fā)，已經(jīng)交付客戶。

合肥欣奕華通過(guò)多年的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)積累，形成了5+6技術(shù)開發(fā)和設(shè)計(jì)中心，形成共性技術(shù)開發(fā)和設(shè)計(jì)復(fù)用，成功跨越了多個(gè)行業(yè)領(lǐng)域，成為推動(dòng)中國(guó)高端裝備制造自主化進(jìn)程的重要力量。

資本賦能下的技術(shù)密集產(chǎn)業(yè)

任何優(yōu)秀的企業(yè)和產(chǎn)業(yè)都離不開資本的賦能，尤其是高端裝備這種資金和技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，先進(jìn)核心技術(shù)持續(xù)研發(fā)需要較高的研發(fā)投入。

合肥欣奕華就接受了來(lái)自于安徽高新投、大灣區(qū)基金、中金資本等多個(gè)國(guó)有和產(chǎn)業(yè)資本的支持。國(guó)有資本與產(chǎn)業(yè)基金的深度參與，一是可以支持公司先進(jìn)技術(shù)研發(fā)的持續(xù)現(xiàn)金流，二是可以帶動(dòng)其它社會(huì)基金投入，助力公司快速完成股權(quán)融資。企業(yè)的發(fā)展離不開資金的支持，資金是企業(yè)快速發(fā)展的重要源泉。

合肥欣奕華希望繼續(xù)解決行業(yè)更多“卡脖子”技術(shù)難題，需要不斷加大前沿核心科技的研發(fā)投入。投資基金的支持有助于解決其在核心技術(shù)的高研發(fā)投入難題，以及繼續(xù)強(qiáng)化高端智能裝備的研發(fā)和擴(kuò)充。投資基金以全球和各行業(yè)的投資經(jīng)驗(yàn)和影響力，能帶來(lái)更廣闊的戰(zhàn)略視野，促進(jìn)更多的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)，創(chuàng)造更大價(jià)值。

在各位股東的支持下，目前合肥欣奕華在一些關(guān)鍵設(shè)備的核心部件方面已完成自主化開發(fā)和客戶量產(chǎn)應(yīng)用驗(yàn)證，未來(lái)還將持續(xù)加大研發(fā)投入，持續(xù)突破國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體高端裝備的產(chǎn)業(yè)化難題，堅(jiān)持做難而正確的事情，為我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展做貢獻(xiàn)。

合肥欣奕華自身定位為國(guó)產(chǎn)泛半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)突破者、產(chǎn)業(yè)升級(jí)推動(dòng)者及產(chǎn)業(yè)協(xié)同整合者。面對(duì)國(guó)際巨頭競(jìng)爭(zhēng)壓力，公司將始終堅(jiān)持以客戶為中心，通過(guò)與客戶、供應(yīng)商等生態(tài)合作伙伴深度協(xié)同，持續(xù)進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品差異化、提升客戶服務(wù)、加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)合作和市場(chǎng)推廣等多方面應(yīng)對(duì)。公司依托三大產(chǎn)品線，不斷優(yōu)化產(chǎn)品性能，根據(jù)自身優(yōu)勢(shì)，聚焦特定領(lǐng)域圍繞先進(jìn)技術(shù)方向開發(fā)差異化產(chǎn)品，確保新技術(shù)方向。

通過(guò)多年的技術(shù)積累，公司已經(jīng)逐步從國(guó)產(chǎn)替代者向引領(lǐng)者轉(zhuǎn)變，泛半導(dǎo)體高端裝備整體國(guó)產(chǎn)化率還較低，所以多年來(lái)一直比較關(guān)注泛半導(dǎo)體行業(yè)新技術(shù)方向的“卡脖子”技術(shù)和高端裝備，聯(lián)合客戶、供應(yīng)商等合作伙伴完成新技術(shù)方向關(guān)鍵核心裝備開發(fā)和量產(chǎn)應(yīng)用。

比如：公司在OLED蒸鍍機(jī)定位是國(guó)產(chǎn)替代者，但是到了Mini/Micro LED新的顯示技術(shù)方向，已完了核心工藝設(shè)備巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備開發(fā)并完成量產(chǎn)應(yīng)用，競(jìng)爭(zhēng)力達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平；在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，通過(guò)創(chuàng)新性技術(shù)開發(fā)，實(shí)現(xiàn)直接式高速倒裝貼片技術(shù)，相比于國(guó)外壟斷的傳統(tǒng)貼片技術(shù)，貼片速度超5倍以上；在第三代光伏技術(shù)鈣鈦礦技術(shù)方面，也完成了全球業(yè)內(nèi)首臺(tái)GW級(jí)鈣鈦礦蒸鍍機(jī)開發(fā)和量產(chǎn)應(yīng)用，技術(shù)能力處于國(guó)際領(lǐng)先水平。

擁抱創(chuàng)新與變化

在市場(chǎng)方面，通過(guò)深度戰(zhàn)略規(guī)劃，合肥欣奕華精準(zhǔn)定位市場(chǎng)并錨定長(zhǎng)期目標(biāo)。公司緊密圍繞客戶需求與市場(chǎng)動(dòng)態(tài)，精心規(guī)劃產(chǎn)品，雕琢功能特性。在研發(fā)進(jìn)程中，與Tier1客戶攜手攻堅(jiān)，突破核心技術(shù)瓶頸，推動(dòng)工藝創(chuàng)新與技術(shù)迭代。面對(duì)認(rèn)證的漫長(zhǎng)時(shí)間跨度以及對(duì)設(shè)備可靠性極為嚴(yán)苛的要求，公司始終秉持高效響應(yīng)的宗旨，及時(shí)解決客戶在實(shí)際操作中遇到的各類問(wèn)題，全方位提升客戶滿意度。經(jīng)過(guò)多年深耕細(xì)作，合肥欣奕華鑄就了健全的供應(yīng)鏈、品質(zhì)管控、制造體系，同時(shí)打磨出一套行之有效的可復(fù)制市場(chǎng)策略。

公司憑借卓越的設(shè)備性能與優(yōu)質(zhì)服務(wù)，成功斬獲客戶的深度信任，實(shí)現(xiàn)營(yíng)銷收入的穩(wěn)步增長(zhǎng)。而這些收入宛如源頭活水，回流至公司并精準(zhǔn)反哺至戰(zhàn)略規(guī)劃、產(chǎn)品企劃以及研發(fā)創(chuàng)新等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為企業(yè)的蓬勃成長(zhǎng)持續(xù)供能，從而達(dá)成技術(shù)躍升與商業(yè)收益的完美閉環(huán)，雕琢出可持續(xù)發(fā)展的商業(yè)模式。在GW級(jí)鈣鈦礦蒸鍍?cè)O(shè)備的量產(chǎn)交付進(jìn)程中，公司已錘煉出一套成熟且可復(fù)制的市場(chǎng)開拓模式，為在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域深耕提供有力支撐。

與此同時(shí)，作為高端制造賽道的領(lǐng)軍者，合肥欣奕華積極關(guān)注資本化的政策變化情況，也希望通過(guò)資本化的方式為公司未來(lái)繼續(xù)完成“卡脖子”技術(shù)研發(fā)提供資金支持。通過(guò)資本化平臺(tái)可以繼續(xù)做大做強(qiáng)，為中國(guó)產(chǎn)業(yè)發(fā)展做貢獻(xiàn)。

合肥欣奕華希望通過(guò)持續(xù)的積累和發(fā)展，可以成為國(guó)際知名的泛半導(dǎo)體高端裝備平臺(tái)化企業(yè)。未來(lái)3年，公司會(huì)持續(xù)深耕顯示行業(yè)，關(guān)注新型顯示技術(shù)發(fā)展，為相關(guān)技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用發(fā)展提供核心裝備支持。

針對(duì)第三代半導(dǎo)體，目前合肥欣奕華已經(jīng)在SiC領(lǐng)域完成了AMHS產(chǎn)品的開發(fā)并獲得客戶訂單，將在今年開始交付和量產(chǎn)應(yīng)用，未來(lái)我們會(huì)持續(xù)關(guān)注第三代半導(dǎo)體的發(fā)展，推動(dòng)更多高端裝備技術(shù)和產(chǎn)品的應(yīng)用落地。