薄膜材料電滯回線測試所需設備及步驟如下:
1.鐵電分析儀
華測儀器(Huace FE-3000):支持薄膜與塊體材料,輸出波形包括正弦波、三角波等,測量剩余極化(Pr)、飽和極化(Ps)、矯頑場(Ec),分析I-V特性及開關特性??蓽y動態/靜態電滯回線,支持漏電流、疲勞性能、擊穿、保持力等測試。
鐵電分析儀 Huace FE-3000
2.高壓功率放大器
電壓輸出:±200V至±20kV(HCAM系列)
HCAM-10kV 高壓功率放大器
3.數據采集與處理系統
- 數據采集卡/示波器:記錄電壓-電流信號,配合軟件實時分析。
- 軟件:華測儀器Huacepro平臺,自動繪制電滯回線并提取參數。
4.探針臺
- 顯微探針臺:接觸薄膜樣品,支持高低溫環境。
機柜式鐵電分析儀+高壓功率放大器+探針臺
測試步驟
- 樣品制備
在薄膜表面制備上下電極(濺射或導電膠),確保接觸良好。
- 儀器連接
將樣品放入探針臺、連接鐵電分析儀、高壓功率放大器
- 參數設置
選擇波形(如三角波)、頻率(10Hz)、電壓范圍(±200V)。
- 數據采集
啟動測試,軟件自動記錄并計算電滯回線參數(Pr、Ps、Ec)。
- 分析優化
根據結果調整測試條件,或結合環境控制設備研究溫度/頻率影響。
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