據天眼查顯示，4月21日，中微半導體（上海）有限公司（以下簡稱“中微上海”）發生工商變更，注冊資本由10億元人民幣增至40億元人民幣，增幅300%。

公開資料顯示，中微上海成立于2020年6月12日，注冊地位于中國（上海）自由貿易試驗區臨港新片區江山路4168號，法定代表人為尹志堯。其控股股東為上市公司中微公司。

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81歲創始人

放棄美籍，恢復中國籍

4月18日，中微公司發布的年度報告顯示，公司創始人、董事長兼首席執行官尹志堯已正式放棄美國國籍，恢復中國國籍。

值得注意的是，81歲的尹志堯變更國籍，這一節點恰逢全球兩大經濟體科技戰不斷升級、美中半導體供應鏈日益分化之際，被視為中國半導體產業自主化進程中的標志性事件。

尹志堯1944年出生于北京，1962年從北京四中考入中國科學技術大學（623校友），其后獲得中國科大物理化學學士學位，隨后在北京大學化學學院完成了碩士學習。他還獲得了加州大學洛杉磯分校的物理化學博士學位。

1984-2004年，在英特爾、泛林半導體（Lam Research）、應用材料公司（Applied Materials）等企業擔任研發高管，主導等離子體刻蝕設備技術突破。

在硅谷打拼的20年的尹志堯，參與并領導了好幾代等離子體刻蝕機的研發，積累了86項美國專利和200多項各國專利。他也被譽為“硅谷最有成就的華人之一”。

2004年，60歲的尹志堯放棄百萬美元年薪，帶領15人團隊歸國創立中微公司，彼時中國集成電路設備國產化率不足5%，刻蝕機等核心設備完全依賴進口。

僅用了3年時間，團隊就開發出了原創設計的雙反應臺介質刻蝕除膠一體機，效率更比同類產品高出30%以上，成為國內首臺高端刻蝕設備。產品一經問世就在全球芯片制造設備領域引起了轟動，中微也一舉躋身國際前列。

接下來幾年，中微公司如同開了掛一樣：2015年，徹底終結國外對刻蝕機持續幾十年的出口管制；2017年，成功研制了全球首臺5nm等離子刻蝕機，填補了國內高端刻蝕設備的空白。

2025年，最新一代刻蝕機精度達0.02納米，超越全球三大巨頭（泛林、應用材料、東京電子）的5nm/3nm制程水平。

02

半導體巨頭，資本版圖不斷擴大

在尹志堯的掌舵下，中微公司的資本版圖不斷擴大。

先來梳理一下母公司中微公司的發展脈絡。官網顯示，中微公司成立于2004年，是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。目前公司在上海臨港的約18萬平方米的生產和研發基地已經投入使用，支持了公司產品付運及銷售快速增長的達成。

2020年6月，尹志堯在上海創辦全資子公司中微上海，專注于物聯網科技、數據科技及電子信息領域的技術服務與開發，同時深耕半導體器件專用設備的研發制造與銷售。

2024年11月，中微公司新投資成立一家新公司——超微公司。資料顯示，超微公司注冊資本達4250萬元，業務版圖涵蓋了半導體器件專用設備銷售、電子專用設備銷售及專業設備維修服務等關鍵領域。該企業由半導體領域的資深領航者尹志堯親自掛帥擔任法人代表。

今年1月，中微公司計劃在成都市高新區投資設立全資子公司中微半導體設備（成都）有限公司，建設研發及生產基地暨西南總部項目。項目總投資約30.5億元，主要用于研發薄膜設備。

除了通過區域子公司布局強化產業協同外，中微公司近年資本運作不斷加碼。

具體來看，去年底，中微公司公告稱，其董事長、總經理尹志堯和眾闔合伙擬以增資750萬元的方式投資超微公司。其中尹志堯增資250萬元，眾闔合伙增資500萬元。

值得注意的是，在中微上海大幅增資的同時，4月17日，超微公司擬增資并引入新股東，增資完成后注冊資本為1.6億元。此次增資超微公司，中微公司擬新增認繳注冊資本5000萬元；嘉興眾闔企業管理合伙企業（有限合伙）（簡稱“眾闔合伙”）擬新增認繳注冊資本1312萬元；尹志堯擬新增認繳注冊資本1000萬元；BEAMVISION擬新增認繳注冊資本653萬元。

2月24日，超微半導體與臨港新片區管委會簽署戰略合作協議，擬投資10億元在臨港建設電子束和光學量檢測設備研發和制造基地項目，聚焦集成電路重大設備技術開發與產品市場化，并探索人工智能在圖像處理、設備智能化方面的應用。

2月28日，由中微上海聯合自然人劉曉宇、嘉興富仁衡企業管理合伙企業（有限合伙）（以下簡稱“富仁衡”）共同發起設立的上海智微私募基金管理有限公司（以下簡稱“智微公司”），近日正式成立。公開資料顯示，智微公司成立于今年2月14日，注冊資本為1000萬元人民幣，注冊在臨港新片區市場監督管理局。

中微半導體近年來的戰略投資動作，清晰勾勒出其“深耕臨港”的路徑——從生產基地落地到產業基金投資，每一次布局均與臨港新片區集成電路產業的爆發式增長形成深度共振。

資料顯示，集成電路是臨港新片區“4+2+2”前沿產業體系的核心組成，涵蓋設計、制造、設備、核心材料、封裝等完整門類，是臨港投資規模最大、集群效應最強、產業鏈布局最完善的核心產業，目前已集聚了300多家在國內外有影響力的集成電路企業。

此前就有市場分析指出，中微公司選擇再次將新基金落子臨港新片區，正是看中了在臨港新片區發展蓬勃的集成電路產業，能為其自身產業鏈上下游整合帶來優勢和便利。

03

中微公司，加速國產替代

種種跡象表明，中微公司正在加大資本投入、多方布局，其意欲何為？

自2022年10月美國商務部推出芯片禁令以來，針對中國半導體技術的出口管制已覆蓋“設備-材料-人才”全鏈條，禁止美國公民、永久居民以及在美生活者若未獲許可，禁止支持中國先進制程芯片的研發，此規范使相關人士陷入保工作或保美國籍的兩難抉擇。

尹志堯的國籍選擇，或為規避《瓦森納協定》等條款對“受控實體”的技術出口限制，加速國際市場拓展。

根據SEMI數據，2024年全球半導體設備市場規模達到1170億美元，同比增長10.2%，創歷史新高。從區域來看，中國大陸、韓國和中國臺灣仍然是半導體設備支出的前三大市場，2024年全球份額分別為42.3%、17.5%、14.1%。中國大陸繼續加大資本開支，2024年設備支出達到了495億美元，同比增長35.4%。

市場相關機構表示，芯片行業的關稅充滿了不確定性，美國對于中國芯片行業的制裁愈發嚴厲，一方面對美系廠商的出口造成不利影響，另一方面或加速國內半導體行業的自主可控。半導體設備作為芯片行業的基石，國產替代進展直接關系國內芯片產業的發展，半導體設備行業有望率先完成美系廠商的替代。

目前，美系設備廠商收入成長嚴重依賴中國大陸市場。2020年至今，美系半導體設備廠商對中國大陸的銷售規模持續提升。2024財年AMAT、LAM、KLA對中國大陸的銷售規模占比分別達到37%、42%、43%。從替代規模來看，2024財年三大美系廠商在中國大陸銷售規模超過200億美元，國產半導體設備的成長空間較為廣闊；從替代可能性來看，國產設備已具備成熟制程大部分環節的國產替代，并有望加速先進制程替代。

從當前局勢來看，尹志堯的“國籍回歸”不僅是個體選擇，更是中國半導體產業從“技術引進”到“技術輸出”的縮影。

當0.02納米刻蝕機刻下“中國精度”，全球半導體產業的權力天平，正在發生結構性傾斜。而美系設備商的“中國依賴癥”，或將成為中微半導體等一眾中國半導體企業加速國產替代、走向出海市場的關鍵機遇。