湖北
一、兩探針法
兩探針法是一種較為基礎的測試方法。該方法將兩根探針與半導體樣品表面緊密接觸，通過電源在兩根探針之間施加電壓，同時使用電流表測量通過樣品的電流，再根據歐姆定律計算電阻。
這種方法的優點在于操作簡單、設備要求較低，適用于對精度要求不高的初步測試。但它存在明顯的局限性，由于探針與樣品表面存在接觸電阻，且無法準確區分樣品本身電阻和接觸電阻，導致測量結果誤差較大，尤其是對于低電阻值的半導體樣品，接觸電阻的影響更為顯著。
體積電阻率測試
二、四探針法
四探針法在兩探針法的基礎上進行了改進，采用四根探針按一定間距排列（通常為直線排列）與樣品表面接觸。外側兩根探針用于施加電流，內側兩根探針用于測量電壓。
該方法的優勢在于能夠有效消除接觸電阻的影響，因為測量電壓的探針不通過電流，避免了接觸電阻對電壓測量的干擾，從而提高了測量精度，適用于各種類型和電阻范圍的半導體樣品測試。不過，四探針法對探針間距、樣品尺寸等因素較為敏感，需要精確控制實驗條件以確保測量結果的準確性。
高溫電阻率測試系統
三、伏安特性測試法
伏安特性測試法通過在半導體器件兩端施加不同大小和方向的電壓，測量對應的電流值，繪制出伏安特性曲線。通過對曲線的分析，可以全面了解半導體的電學性能，不僅能得到電阻值，還能判斷半導體的類型摻雜濃度等信息。
這種方法適用于研究半導體在不同工作條件下的性能，但測試過程相對復雜，需要使用專業的測試設備（如半導體參數分析儀），且對測試人員的技術要求較高。
電阻率測試系統
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