日前,第七屆智能傳感器產業發展大會在安徽蚌埠開幕。大會期間,安徽華鑫微納集成電路有限公司宣布,其8英寸MEMS晶圓生產線首批產品成功串線,標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線在蚌埠正式投入運營,成為中國MEMS制造領域的一項重要里程碑。
據介紹,華鑫微納的這條8英寸MEMS晶圓生產線集成了硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成、2.5D/3D微系統集成等多種先進技術,具備高度靈活性和強兼容性,形成了一個從研發到制造一體化協同的晶圓代工平臺。其產品線覆蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS執行器、環境傳感器、噴墨打印頭等多類器件。
根據規劃,該生產線具備月產3萬片8英寸MEMS晶圓的能力,達產后將成為國內產能規模最大的MEMS晶圓制造平臺,有望大幅提升我國在MEMS核心器件制造領域的自主可控能力與供給水平。
華鑫微納副總經理丁敬秀透露,目前公司已與50家客戶達成合作意向,意向訂單累計超過21萬片,另有3萬余片晶圓訂單正在洽談中,將為公司實現2025年月產1萬片的階段性目標提供有力支撐。
據了解,華鑫微納定位為國內領先的8英寸MEMS晶圓代工企業,致力于建設開放式、定制化的MEMS代工平臺基地。其加工產品廣泛應用于高端裝備、汽車電子、工業控制、消費電子等關鍵領域,未來將在提升國產MEMS制造能力、完善產業生態體系等方面發揮重要推動作用。
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