百級芯片凈化車間的FFU(風機過濾單元)施工標準需嚴格遵循潔凈室建設規范，以確保車間空氣潔凈度達到ISO 14644-1標準中的Class 5(百級)要求。以下是合潔科技電子凈化工程公司對FFU施工的核心標準及關鍵要點分析：

　　一、施工前準備

　　1、環境確認

　　車間主體結構(墻面、地面、天花板)需完成密閉性驗收，確保無滲漏。

　　施工區域需進行全面清潔，清除灰塵、油污等污染物，并保持環境濕度≤60%(避免濾材受潮)。

　　2、材料與設備驗收

　　FFU設備需提供出廠合格證、性能檢測報告(風量、效率、噪音等參數需符合設計要求)。

　　高效過濾器(HEPA)需滿足EN 1822標準，效率≥99.97%(對0.3μm顆粒)。

　　二、FFU安裝標準

　　1、布局與定位

　　滿布率要求：百級車間通常要求FFU滿布率≥80%(具體需根據氣流模擬結果調整)，確保單向流均勻性。

　　安裝間距：FFU邊緣間距≤50mm，避免氣流短路。

　　吊頂結構：采用T-grid龍骨系統，承載力需滿足FFU自重(約30-50kg/臺)及運行振動要求。

　　2、安裝流程

　　龍骨調平：使用激光水平儀確保龍骨平面度誤差≤2mm/m。

　　FFU固定：采用彈簧夾或螺栓固定，避免直接焊接或打孔破壞龍骨結構。

　　高效過濾器安裝：

　　安裝前需核對過濾器箭頭方向與氣流方向一致。

　　使用液槽密封或刀口密封技術，確保過濾器與FFU箱體間無泄漏(泄漏率≤0.01%)。

　　三、電氣與控制系統

　　1、供電要求

　　FFU采用獨立供電回路，電壓波動≤±5%，頻率50±0.5Hz。

　　電纜需穿金屬管或橋架敷設，避免電磁干擾。

　　2、控制系統

　　支持分區調速(通過變頻器或EC風機實現風量0-100%調節)。

　　配備壓差傳感器，實時監測過濾器阻力(初阻力≤250Pa，終阻力≤500Pa時報警)。

　　四、調試與驗收

　　1、單機調試

　　測試FFU風量(誤差≤±10%)、噪音(≤55dB(A))、振動(≤5μm)。

　　高效過濾器掃描檢漏(采用PAO發煙法，泄漏點≤0.01%)。

　　2、系統聯調

　　驗證氣流組織：通過粒子計數器檢測工作區≥0.5μm顆粒數≤3,520個/m3(ISO 5標準)。

　　溫濕度控制：溫度22±1℃，濕度45±5%(根據工藝需求調整)。

　　3、驗收文件

　　提供FFU布局圖、過濾器檢測報告、氣流模擬報告、壓差記錄表等。

　　五、維護與管理

　　1、定期檢測

　　每月檢測FFU風速、壓差，每半年更換初效過濾器。

　　高效過濾器壽命通常為1-3年(依使用環境而定)，更換時需重新檢漏。

　　2、應急預案

　　備用FFU數量≥總量的5%，確保故障時快速替換。

　　配備FFU離線清洗設備(針對可清洗型過濾器)。

　　以上就是百級芯片凈化車間FFU的施工標準，希望對你有所幫助!