低溫探針臺行業是半導體測試設備領域的重要分支,主要用于在低溫環境下對半導體器件、量子計算芯片、超導材料等進行精密電性能測試。行業概述:低溫探針臺能夠在極低溫度(如液氦溫度4K或更低)下進行高精度電學測量,廣泛應用于:半導體器件測試:如FinFET、GAA晶體管等先進制程芯片的低溫特性分析。量子計算:超導量子比特(Qubit)的測試與校準26。材料科學:超導材料、拓撲絕緣體等新型材料的電輸運特性研究。
真空探針臺
低溫探針臺面板-各部分的名稱與功能
① 三維位移平臺
通過XYZ軸來調節探針和樣品之間的距離,X軸標識左右移動,Y軸表示前后移動,
Z軸表示上下移動。
② 探針
有四個探針臂,分別有四個探針,探針臂選用XYZ三維移動平臺的開發,位移最小
分辨率10um以下,且不劃傷薄膜。
低溫探針臺
③ 4端子測量導線
用來連接主機和儀表,測量導線不同的顏色分別對應不同的接口,按照顏色對應
連接,實現無限拓展與應用。
④ 液晶顯示器
選用超清10寸液晶顯示屏,查看測量數據直觀清晰,操作方便簡單。
⑤ 電源開關+電源線插座
為了將設備與電源(插座)連接,應使用所提供的帶有接地線的三相電源線。
開機的機箱的主面板上。
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