如果說,制作手中智能機所需要的技術,甚至比登月還難,你相信嗎?
這并不是危言聳聽,近年來無論是華為還是小米,都曾因為手機芯片制造問題而推遲手機發布。
這一切的背后,都是因為芯片指制造的關鍵設備技術難以突破——光刻機。
荷蘭ASML公司靠著光刻機躺著也能賺錢,連美國都造不出來。
中國一年狂砸800億人民幣,只為了不斷突破光刻機的技術封鎖。
這光刻機到底是個什么東西?為什么這么燒錢中國還要堅持研究?
什么是光刻機?
光刻機是半導體工業中最常用的設備之一,主要作用是將集成電路投射到硅片上,制作出人類最為精密的工業產品之一——芯片。
光刻機的工作原理和照片影印有些類似,需要適當的光源在光照后產生化學反應,使硅片上的光刻膠發生化學反應,從而形成需要的圖案。
這一過程聽上去簡單,但實際操作非常復雜。
早期的光刻機使用紫外光,在科技不斷發展的情況下,逐漸使用極紫外光。
區別在于,極紫外光的波長相比較而言更短,因此刻出來的圖案更加精細。
但極紫外光的產生也非常難,需要通過高能激光對等離子體照射產生,且光源必須要保持穩定,否則將導致芯片報廢。
現如今的芯片功能越來越強大,其主要原因就是芯片上面集成了數以萬計的晶體管。
這些晶體管的布局,和彼此之間的連接,都需要光刻機完成。
光刻膠必須在特定的波長下才能夠發生反應,從而形成分毫不差的圖案。
這對光刻機的精度要求十分高,如果精度不足,則會導致芯片性能大打折扣。
光刻機需要將光學鏡頭和硅片之間誤差控制在幾個納米內。
納米級別的難度到底有多高呢?
日常我們能看到的頭發,直徑大概在0.1毫米,而納米僅為頭發絲的千分之一。
要光刻機在硅片上的操作達到納米級別的精度,這個難度不言而喻。
哪怕是一點點細微的誤差,都可能導致整個芯片制作前功盡棄。
光刻機研制為什么那么難?
光刻機是人類科技發展至今以來,能制造出的最為精密的裝備之一。
以第五代EUV光刻機為例,很多人原以為,能夠在那么小的芯片上作業的機器,體積應該也不大。
事實恰恰相反,EUV光刻機重量達到了180噸,光是運輸就需要幾十個集裝箱。
即便是安全運輸到了目的地,進行安裝、調試工作,也需要花費至少一年的時間。
這樣一個龐然大物,研究起來需要融合多個學科尖端科技,如光學、材料科學、機械工程等,在此基礎上多個學科團隊保持緊密合作,并不斷創新。
就光學來說,光刻機對于光源和光學鏡頭的要求非常高。
光源不但要能夠發出固定波長,還要保持穩定,不能波動。
而光學鏡頭則將所有的光線聚集到一個極小的范圍,同樣也要保持穩定,視野內的光線要均勻。
光線太亮或者太暗都會影響芯片制作的準確性。
在制作過程中,還需要對光刻結果進行實時檢查,如果出現問題要及時調整,避免光刻結果出現偏差。
在機械工程方面,對工作臺的平穩性與準確性也有極高的要求。
制作芯片的過程中,工作臺需要控制光學鏡頭嚴格按照設定的速度與路線行進,這樣才能滿足芯片制作的精度。
掌握光刻機技術的國家
- 荷蘭
現如今掌握光刻機技術的國家也僅僅只有三個。
荷蘭ASML公司幾乎壟斷了高端光刻機領域,在世界范圍內遙遙領先。
這個國家之所以能夠取得這樣的成就,主要是由于他們十分重視科技發展。
荷蘭政府不但設立了專項基金,為高科技企業的發展提供資金支持,還設立了一系列創新激勵政策,旨在培養相應的人才。
ASML公司把握住了這次機會,不但配合荷蘭政府積極培養本國的科研人才,還從各個國家的頂尖學校挖掘有潛力的人員。
這樣的科技規劃為ASML公司提供了穩定的人員和技術支持。
同時ASML公司也積極和全球各大國家的科研機構、科技企業進行深度合作,共同研發。
經過多年的努力與不斷的實驗,ASML公司在1990年成功研發出EUV光刻機,推動了該產業的發展與進步。
- 日本
除了荷蘭以外,日本在光刻機技術的研究上也頗有建樹。
佳能、尼康這量光學企業,是日本最早開始研究光刻機技術的企業。
他們憑借自身的優勢,很快便在突破了光學技術的壁壘,且早年間的日本工業發展強勢,為其機械領域的發展提供了保障。
同時自20世紀80年代以來,日本半導體企業不斷發展壯大,成為了全球芯片制造的大國。
因此日本國內對于半導體產業的需求,也為光刻機發展進步提供了相應的動力。
在過去的幾十年間,日本光刻機技術不斷發展,光學、機械等領域都取得了長足進步。
雖然當前日本高端光刻機發展與ASML相比,并不十分順利。
但日本仍舊是為數不多掌握光刻機技術的國家之一。
- 中國
早在上世紀六十年代,中國便開始了對光刻機的研發工作。
1965年,中國成功研發出65型接觸式光刻機,然而中美建交之后,美國提出了很多高精尖技術轉移工作。
雖然美國并未掌握光刻機制作技術,但荷蘭光刻機制造的過程中,超過一半的零件,都是由美國提供的。
因此荷蘭聯手美國對中國的光刻機研究技術進行了一定程度的壓制。
此后的二十余年中,中國在光刻機技術上并沒有取得突破性的進展。
中國想要制作芯片,只能選擇從荷蘭或是日本購買光刻機。
沒想到2023年,荷蘭ASML公司突然宣布停止對中國的高端光刻機的維修服務,日本也很快便限制對中國出口半導體設備。
這些國家之所以會這么做,其實只不過是被中國的發展速度震驚到了,感受到了危機正在逼近,因此用了如此惡劣的手段打壓中國芯片產業。
要知道,光刻機設備上有成千上萬個零件,且每個零件之間都需要嚴絲合縫,荷蘭、美國、日本的做法簡直就是釜底抽薪。
在受到多個國家的打壓后,中國也并沒有放棄。
通過堅持不懈的努力,中國終于突破了技術壁壘,為中國乃至半導體產業的崛起貢獻了力量。
2023年底,中國科研團隊宣布,已經掌握了光刻機的維修技術。
這一突破不但解決了芯片制作的問題,還為自主研發光刻機打下了基礎。
2025年三月,中國傳出了一個振奮人心的消息:中國在全固態激光技術的深紫外光(DUV)光源系統方面取得了重大突破,該光源系統的波長約為193納米,理論上來說可以支持3納米芯片的制作。
總結
雖然與荷蘭這種擁有ASML公司的大國進行對比,中國的自主研發的光刻機仍舊存在一定的差距。
但中國發展到如今這個地步,所耗費的時間、成本都遠遠低于其他國家。
隨著中國半導體產業的不斷發展,以及科技的不斷進步,相信未來完全攻克高端光刻機研發并不是問題。
一旦中國成功研發出國產高端光刻機,必將改寫世界芯片市場的格局。
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