關(guān)于EUV光刻機(jī),大家都聽說過,這樣的制造高端芯片必需的設(shè)備,近年來被美方當(dāng)成制裁的工具,一直限制ASML對(duì)華出口。ASML和荷蘭迫于美方壓力,也只能聽眾。
但有意思的是,英特爾重啟芯片代工后,極力爭搶更先進(jìn)的High-NA EUV,率先獲得了優(yōu)先購買權(quán)。然而,不受限制的臺(tái)積電卻反應(yīng)很冷淡,這讓ASML都有些郁悶了!
要知道,ASML和臺(tái)積電這兩家的關(guān)系可非同尋常,可以說是共同成長、相互扶持、一起壯大的合作伙伴,所以臺(tái)積電一直有優(yōu)先購買權(quán),買走了全球一半左右的EUV。
想當(dāng)年,ASML還沒有成為全球光刻機(jī)巨頭、還在努力成長壯大時(shí),正是采用了臺(tái)積電技術(shù)專家林本堅(jiān)的浸潤式光刻技術(shù),才推出了浸潤式DUV光刻機(jī),一舉站穩(wěn)腳跟。
同時(shí),臺(tái)積電積極采購ASML的光刻機(jī),積極應(yīng)用反饋,大力支持了ASML成長壯大。
之后,ASML又推出了EUV光刻機(jī),也是臺(tái)積電率先購買應(yīng)用,讓ASML的高端EUV光刻機(jī)成功量產(chǎn)應(yīng)用。當(dāng)然,這也讓臺(tái)積電擁有更多先進(jìn)產(chǎn)能,成為全球晶圓霸主。
要知道,ASML的EUV技術(shù),最初可來自英特爾牽頭的EUV技術(shù)研發(fā)組織,但英特爾后來卻沒有購買ASML的EUV光刻機(jī),反而是臺(tái)積電助力,ASML才獨(dú)家壟斷了EUV。
然而,當(dāng)ASML再推出了更高端的EUV后,臺(tái)積電卻不太支持,英特爾卻率先購買了。
英特爾之所以當(dāng)時(shí)不購買EUV,后來又爭搶High-NA EUV,那是因?yàn)楫?dāng)時(shí)的英特爾還很厲害,基本壟斷全球CPU市場(chǎng),還是稱霸全球的芯片一哥,不屑做芯片代工業(yè)務(wù)。
但英特爾后來發(fā)現(xiàn),僅憑單獨(dú)的晶圓代工業(yè)務(wù),臺(tái)積電就迅速壯大,營收市值陸續(xù)超過了英特爾,還一度取代它的芯片一哥寶座,于是又重啟之前停止的芯片代工業(yè)務(wù)。
為了趕超臺(tái)積電和三星,英特爾自然要率先獲得最先進(jìn)的EUV,以占據(jù)發(fā)展的先機(jī)。
據(jù)說,英特爾為拿到High-NA EUV的優(yōu)先購買權(quán),還曾積極爭取,甚至為此爭搶,最終不僅獲得了首臺(tái),并且今年共計(jì)買了10臺(tái),成為了目前全球High-NA最多的廠商。
當(dāng)時(shí)普遍認(rèn)為,英特爾之所以能夠如此,一方面是因?yàn)镋UV技術(shù)來自英特爾,另一方面是因?yàn)槊婪绞?,畢竟美企要加速先進(jìn)制程研發(fā),美方自然會(huì)讓ASML給予支持。
讓人意外的是,結(jié)果竟然是臺(tái)積電并沒有積極爭取,甚至如今也沒大量購買的意向。
反而是ASML發(fā)出威脅、稱能夠遠(yuǎn)程鎖定光刻機(jī)后,臺(tái)積電現(xiàn)任董事長魏哲家才拜訪了ASML,表示對(duì)High-NA EUV很感興趣,會(huì)購買并應(yīng)用,然后購買了一臺(tái)用于測(cè)試。
要知道,EUV光刻技術(shù)研發(fā)就相當(dāng)不易,在此基礎(chǔ)上繼續(xù)研發(fā)更加不易,ASML為此投資了不少資金,使High-NA曝光精度更高,可用于2nm及以下更先進(jìn)的制程工藝。
如果連臺(tái)積電都不大量采購應(yīng)用的,單憑英特爾等的購買量,恐怕連成本也收不回。
然而,即使High-NA EUV性能更強(qiáng),但臺(tái)積電依然沒有大量購買。重點(diǎn)是,近期臺(tái)積電方面還公開表示,2nm制程將采用原來EUV,接下1.6nm、1.4nm也不用High-NA。
原因就是,臺(tái)積電已經(jīng)擁有了全球最多的EUV,并且目前先進(jìn)制程技術(shù)和產(chǎn)能全球遙遙領(lǐng)先,現(xiàn)有的EUV結(jié)合先進(jìn)封裝技術(shù),臺(tái)積電還有能力實(shí)現(xiàn)以上的先進(jìn)制程技術(shù)。
更為關(guān)鍵的是,High-NA價(jià)格太高,造出的晶圓成本也更高,蘋果等大客戶都頂不住。
再說,現(xiàn)在摩爾定律似乎正在失效,芯片制程繼續(xù)縮小,并沒帶來成本降低。關(guān)鍵問題是,使用先進(jìn)制程芯片的蘋果銷量,還拼不過使用較低制程自研麒麟的華為手機(jī)。
因此,臺(tái)積電才不愿意花費(fèi)那么多購買High-NA EUV,盡量使用現(xiàn)有的EUV光刻機(jī)來實(shí)現(xiàn)更先進(jìn)制程。對(duì)此,有外媒直接評(píng)價(jià)道,難怪ASML郁悶,這下臺(tái)積電硬氣了!
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