質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確控制氣體流量的設(shè)備。它通常由流量傳感器、控制電路和執(zhí)行機(jī)構(gòu)組成。MFC的主要功能是根據(jù)預(yù)設(shè)的流量設(shè)定值，通過調(diào)節(jié)執(zhí)行機(jī)構(gòu)來控制氣體的流量，以確保穩(wěn)定和精確的流量輸出。

MFC的流量傳感器通常采用熱式傳感器或壓差傳感器。熱式傳感器通過測(cè)量氣體流過傳感器時(shí)的熱量傳導(dǎo)來確定流量大小，而壓差傳感器則通過測(cè)量氣體通過孔隙時(shí)產(chǎn)生的壓差來確定流量大小。控制電路根據(jù)傳感器的反饋信號(hào)，與預(yù)設(shè)的流量設(shè)定值進(jìn)行比較，并通過調(diào)節(jié)執(zhí)行機(jī)構(gòu)（如閥門或泵）來實(shí)現(xiàn)流量的精確控制。

質(zhì)量流量控制器（MFC）的應(yīng)用領(lǐng)域分析

半導(dǎo)體制造：MFC在半導(dǎo)體制造過程中起著關(guān)鍵作用。它們用于控制氣體流量，確保精確的氣體供應(yīng)，以滿足半導(dǎo)體制造過程中的工藝要求。MFC廣泛應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、等離子體刻蝕和清洗等工藝中。

光刻和顯影：MFC用于控制顯影液和溶劑的流量，確保在光刻過程中對(duì)光刻膠進(jìn)行精確的涂覆和顯影。它們能夠提供穩(wěn)定的流量輸出，以確保光刻膠的質(zhì)量和一致性。

氣體分析儀器：MFC在氣體分析儀器中用于控制樣品氣體的流量。它們能夠提供精確的流量控制，以確保準(zhǔn)確的氣體分析結(jié)果。

實(shí)驗(yàn)室研究：MFC在實(shí)驗(yàn)室研究中廣泛應(yīng)用于氣體混合、反應(yīng)控制和流程模擬等方面。研究人員可以通過調(diào)節(jié)MFC的流量來控制反應(yīng)條件，以實(shí)現(xiàn)所需的實(shí)驗(yàn)?zāi)繕?biāo)。

化學(xué)工程：MFC在化學(xué)工程領(lǐng)域中用于控制氣體流量，以滿足化學(xué)反應(yīng)過程中的需求。它們能夠提供精確的流量控制，以確保反應(yīng)的穩(wěn)定性和一致性。

2017-2022年全球質(zhì)量流量控制器（MFC）主要應(yīng)用領(lǐng)域份額占比統(tǒng)計(jì)

質(zhì)量流量控制器（MFC）行業(yè)主要企業(yè)

Brooks Instrument：Brooks Instrument是一家全球領(lǐng)先的流量測(cè)量和控制解決方案提供商，其產(chǎn)品包括質(zhì)量流量控制器。公司在MFC領(lǐng)域擁有廣泛的產(chǎn)品線和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。

MKS Instruments：MKS Instruments是一家專注于提供精密測(cè)量和控制解決方案的公司，其產(chǎn)品包括質(zhì)量流量控制器。公司在MFC市場(chǎng)上具有較高的市場(chǎng)份額和技術(shù)實(shí)力。

Sierra Instruments：Sierra Instruments是一家專注于流量測(cè)量和控制技術(shù)的公司，其產(chǎn)品包括質(zhì)量流量控制器。公司以其創(chuàng)新的技術(shù)和可靠的產(chǎn)品在MFC市場(chǎng)上獲得了良好的聲譽(yù)。

Alicat Scientific：Alicat Scientific是一家專注于流量測(cè)量和控制設(shè)備的制造商，其產(chǎn)品包括高精度的質(zhì)量流量控制器。公司以其快速響應(yīng)和定制化能力在MFC市場(chǎng)上脫穎而出。

Bronkhorst：Bronkhorst是一家荷蘭的流量測(cè)量和控制設(shè)備制造商，其產(chǎn)品包括質(zhì)量流量控制器。公司以其高精度、可靠性和創(chuàng)新性在MFC市場(chǎng)上享有良好的聲譽(yù)。

2017-2022年全球質(zhì)量流量控制器（MFC）市場(chǎng)主要企業(yè)營收變化