芯片是精密器的心臟。

6月6日下午，位于西部（重慶）科學城西永微電園的北京理工大學重慶微電子研究院（以下簡稱“北理微電院”）傳來喜訊，全國首款全流程自主化生產電熱微鏡芯片正式下線。該芯片利用電熱MEMS技術，打破光譜儀核心部件技術瓶頸，填補國內技術空白，成為精密儀器的“最強心臟”。

▲北京理工大學重慶微電子研究院。

據悉，北理微電院該產線已完全實現電熱微鏡芯片設計、交付流片、晶圓制造、封裝、測試全流程的自主可控，可廣泛應用于生物醫療、軍事國防、電子通信等多領域。這標志著，重慶成為全國唯一一個可以批量研制低成本、高性能、微型化、集成度高的電熱微鏡芯片的城市。

▲全國首款全流程自主化生產電熱微鏡芯片產線。

當前，重慶聚焦奮力譜寫中國式現代化重慶篇章總綱領總遵循，迭代升級“六區一高地”建設體系構架，將目光瞄準集成電路賽道，扎實推動科技創新和產業創新深度融合，強化企業科技創新主體地位，在全球芯片領域的激烈競爭中逐風破浪，打造具有自主知識產權的“中國芯”。

▲微型近紅外光譜儀。

“與其它驅動技術相比，電熱微鏡芯片具有多項優勢，除了工作電壓較低，最主要是可提供較大的垂直位移和掃描角度，實現對光束的精確控制。”北理微電院彭喆博士介紹道。

他進一步說道，對比可以垂直移動的靜電微鏡芯片而言，國外售價在一萬元每顆左右，而此次下線的電熱微鏡芯片可以實現該芯片成本的大幅降低，真正實現把芯片價格“打下來”。

而芯片價格“打下來”的背后，是無數科研工作者的長久堅守。北理微電院院長、首席科學家謝會開教授介紹，芯片的穩定性是整個系統穩定的重要保障，為了讓這顆“心臟”的穩定性保持最優狀態，團隊成員從2008年起就開始尋找合適做芯片的材料。

▲電熱微鏡芯片。

從浩如煙海的備選材料中，他們找到了滿足要求的金屬和介電質雙材料組合，完成了從芯片到模組到系統的研發，再到整機的軟件和算法開發，全部實現自主研發。

“現在芯片對驅動信號的響應時間，從最初的0.1秒已經提高至0.01秒。實現了量級上的跨越。”謝會開教授介紹道，除微型光譜儀外，該款電熱芯片還可應用在光學相干斷層掃描（OCT）、激光雷達（LiDAR）等諸多領域中。

▲科研人員在OCT設備下進行檢測。

如今，北理工微電院在電熱芯片的帶動下，與重慶多個醫藥、航天、工業企業形成合作，帶動企業效能提升。“從0到1，我們花了20年時間，卻只是芯片發展的微小一步，但我們堅信，堅持就是勝利，中國芯，一定能行！”謝會開教授如是說。