最近,全球光刻機(jī)老大ASML的CEO富凱在采訪時(shí)說了句大實(shí)話:“越限制中國光刻機(jī),他們反而越拼命搞研發(fā)。”這話聽著像抱怨,但背后藏著ASML的焦慮——中國在光刻機(jī)領(lǐng)域正一步步啃硬骨頭,讓這個(gè)壟斷市場多年的巨頭開始坐不住了。
ASML啥地位?全球85%以上的光刻機(jī)市場攥在它手里,尤其是最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),全球就它一家能造。沒有EUV,7納米以下的芯片根本沒法生產(chǎn)。手機(jī)、電腦、AI芯片……這些高科技產(chǎn)品的命脈都攥在ASML手里。可偏偏中國這個(gè)大客戶,最近幾年讓ASML頭疼得不行。
為啥?因?yàn)橹袊约汗膿v出了光刻機(jī)。雖然現(xiàn)在還是DUV(深紫外)光刻機(jī),技術(shù)比ASML的EUV差一截,但架不住中國在死磕。
去年中國搞定了氟化氬光刻機(jī),分辨率65納米,套刻精度8納米。這水平造不出頂尖芯片,但能生產(chǎn)28納米左右的成熟制程芯片——汽車、家電、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備都用得上。更關(guān)鍵的是,中國沒停步,還在往更高端沖。
ASML急眼的地方就在這:一邊怕丟市場,一邊怕被掀桌子。中國是ASML最大市場之一,每年貢獻(xiàn)幾十億歐元收入。要是中國自己能造光刻機(jī),誰還花大價(jià)錢買ASML的?更要命的是,中國光刻機(jī)一旦成熟,周邊國家比如東南亞、中東可能直接找中國買,ASML的壟斷地位就懸了。
富凱那句“限制沒用”其實(shí)是在懟美國。美國這些年拉著盟友卡中國脖子,高端光刻機(jī)說禁就禁。可ASML心里苦啊:禁令越狠,中國研發(fā)越快。就像富凱說的,“你越攔著,人家越較勁”。畢竟光刻機(jī)再難也是人造的,不是天上掉下來的。中國現(xiàn)在砸錢、砸人、砸時(shí)間,ASML再封鎖,頂多拖慢幾年,根本攔不住。
更讓ASML后背發(fā)涼的是,自家EUV光刻機(jī)也快摸到天花板了。現(xiàn)在最先進(jìn)的EUV能造3納米芯片,再往下走,物理極限、成本問題全得面對。中國這時(shí)候在后面追,萬一哪天突然搞出點(diǎn)新花樣,ASML連反應(yīng)時(shí)間都沒有。
不過話說回來,中國光刻機(jī)離世界頂尖還有段路要走。DUV到EUV不是簡單升級(jí),是技術(shù)代差。EUV用的是極紫外光,波長13.5納米,DUV是193納米,這差距相當(dāng)于自行車和高鐵。但中國現(xiàn)在連DUV都能自己造,說明技術(shù)體系已經(jīng)跑通了。接下來就是堆時(shí)間、堆經(jīng)驗(yàn),慢慢磨精度和穩(wěn)定性。
ASML現(xiàn)在最矛盾的,就是既想賺中國的錢,又怕中國學(xué)會(huì)本事。
對咱普通人來說,光刻機(jī)之爭聽著遙遠(yuǎn),其實(shí)關(guān)乎每個(gè)人。手機(jī)芯片、新能源汽車、5G基站……哪個(gè)離得開高端制造?中國光刻機(jī)每突破一步,未來咱們用上便宜芯片的可能性就大一分。ASML的焦慮,恰恰說明中國走對了路。
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