目前全球僅有一家企業能夠制造EUV光刻機,那就是荷蘭的ASML。
而EUV是制造7nm以下芯片必不可少的設備,所以EUV光刻機至關重要,像臺積電、三星、intel等,都要求著ASML賣EUV光刻機給它們,買不到EUV光刻機,7nm以下芯片就沒法制造。
這么重要且關鍵的設備,美國當然也不允許ASML賣給中國,生怕中國拿到EUV光刻機后,能夠制造7nm以下芯片了,那美國還怎么卡脖子?
那么問題就來了,中國能不能自己造出EUV光刻機?
說實話,如果按照ASML的路線去造,那可能性不太大,至少短期之內沒太多希望,因為ASML采用的是LPP路線,這種路線被ASML設置了眾多的坎,有專利的,有供應鏈的。
LPP路線依賴昂貴復雜的高能激光器轟擊錫滴產生等離子體,核心企業有蔡司、Cymer等等,這些核心企業在全球無可替代,也是ASML唯一綁定的供應商。
所以我們如果采用LPP路線,需要尋找新的蔡司、Cymer這樣的供應鏈,還要突破ASML的專利、技術壁壘、供應鏈封鎖等,才能造出EUV光刻機,這樣難度太大了。
連日本、歐洲等國家和地區,在研發類似的EUV設備時,都不想走LPP路線,轉向納米壓印等技術,可見ASML在這一個方向的封鎖有多嚴。
所以我們要研發自己的EUV光刻機,自然也要盡量繞開ASML的這種LPP路線。
而近日有消息指出,國產EUV光刻機,很大概率會在登場了,這次走的不是ASML的LPP路線,而是LDP路線。
LDP路線指的是激光誘導放電等離子體技術,核心在于讓電極間的錫材料汽化,再通過高壓放電將其轉化為等離子態,然后讓電子與離子激烈碰撞,產生13.5nm的極紫外光。
按照一些媒體的說法,通過LDP路線,目前國產EUV光刻機已經有了很大的突破,取得了實質性進展,也許在今年就有可能推出。
當然目前真假未知,但是如果真的如此,那么ASML的天就真的塌了了,甚至是美國的天都要塌了,一旦我們有EUV光刻機,能制造7nm以下的芯片了,那所有針對我們的芯片禁令,都將徹底失效了。
因為這代表著,我們能夠自己制造出7nm以下先進的邏輯芯片,AI芯片,手機芯片、CPU、GPU等等,那中國芯片產業的崛起,就再也擋不住了。
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