7月3日-5日，2025第九屆集微半導體大會在上海張江科學會堂盛大舉行。在同期舉辦的集微半導體展上，新銳半導體設備廠商——上海微崇半導體設備有限公司（以下簡稱：微崇半導體）攜其自主研發的多款高端半導體量檢測設備亮相。憑借其在高端半導體量檢測設備領域的自主研發突破和產業化成果，榮膺第三屆集微半導體制造峰會“半導體制造產業鏈突破獎”，該獎項旨在表彰在半導體制造關鍵環節（如設備、材料、零部件）實現技術突破、打破國外壟斷、為提升產業鏈自主可控能力做出實質性貢獻的優秀企業。微崇半導體此次獲獎，是業界對其技術創新能力、產品性能及市場潛力的高度認可，標志著國產高端量檢測設備在追趕國際先進水平的道路上邁出了堅實一步，展現了國產量檢測設備的創新力量。

海歸領軍，創新設備平臺嶄露頭角

微崇半導體成立于2021年3月，總部位于上海市楊浦區長陽創谷。公司由具有國際視野的海歸半導體設備技術專家領銜，聯合國內資深工程師和科學家團隊共同創立，是一家專注于高端、創新型半導體前道量檢測設備研發與制造的企業。成立僅四年多，微崇已展現出強大的技術攻關和產品化能力，成功推出多款自研設備，包括二諧波晶圓檢測設備ASPIRER 3000、離子注入量測設備BRAVERY 3000，以及全自動超聲波缺陷檢測設備CLARITY 1000/3000系列，致力于打造世界先進的半導體量檢測設備平臺型公司。據公開信息，公司于2025年順利完成數千萬元A+輪融資，本輪融資由金雨茂物、光谷半導體產投、賽納資本共同投資，資金將用于公司的研發、市場拓展，以及團隊擴充和建設。

全自動超聲波缺陷檢測，洞見晶圓深層奧秘

在眾多突破性產品中，微崇半導體自研的全自動超聲波缺陷檢測設備CLARITY 3000 尤為引人注目。該設備是用于檢測晶圓內部深層缺陷（如氣泡、裂痕、層間剝離等）的先進工具。其核心技術原理是利用高頻超聲波與晶圓材料內部結構的相互作用，通過精密捕捉和分析聲波在材料內部的反射、透射及散射信號，構建出高分辨率、高對比度的內部結構圖像。相較于傳統光學或電子束檢測方法，超聲波檢測對材料內部非可見缺陷、深層缺陷以及某些不透明材料的缺陷具有獨特優勢。CLARITY 3000的成功研發和推廣，為解決先進制程中日益嚴峻的內部缺陷監控挑戰提供了強有力的國產化方案，填補了國內在該技術領域的空白。

半導體量檢測設備是芯片制造過程中的“眼睛”和“尺子”，對保障芯片良率和性能至關重要。然而，該領域長期被國際巨頭壟斷，國產化率極低，是半導體產業鏈國產化中“最難啃的硬骨頭”之一。隨著國內晶圓廠產能持續擴張和制程不斷推進，對先進、高性價比的國產量檢測設備需求呈現爆發式增長。微崇半導體聚焦的創新性技術路線，為國產替代提供了差異化且有效的路徑。目前，公司正積極與國內主流晶圓廠開展產品驗證和導入工作，進展順利。微崇半導體展臺誠邀產業鏈上下游伙伴蒞臨交流，共同推動國產半導體量檢測設備的創新與應用，助力中國芯制造。