集成電路被譽為“工業糧食”,是國家戰略性、基礎性和先導性產業,也是重慶市重點發展的戰略性新興產業,在全市產業布局中占據關鍵地位。
7月14日11時38分,隨著重慶奧松半導體特色芯片產業基地(下稱“奧松半導體項目”)啟動桿被按下,吊車緩緩升起,一臺包裹著防塵罩的8英寸生產線首臺光刻機設備,在眾人關切注視的目光中平穩進場。
這標志著該項目全面進入設備安裝調試的快車道,也為其順利達成既定目標奠定了堅實基礎——今年8月底通線試產,第四季度實現產能爬坡并交付客戶,對重慶乃至整個集成電路行業都具有深遠意義,將實現各類MEMS半導體傳感器產品從研發到量產的無縫銜接。
核心設備落位
全產業鏈項目通線量產指日可待
近年來,重慶以功率半導體和傳感器芯片為突破口,充分發揮汽車、電子信息等產業優勢,通過政策引導和重大項目布局,正積極布局集成電路產業,努力打造全國乃至全球具有影響力的集成電路產業新高地。
奧松半導體項目是重慶半導體產業生態的重要一環,打造的重慶首個8英寸MEMS特色芯片全產業鏈項目,對重慶集成電路產業發展具有重要意義。
▲運載光刻機各部件的貨柜車進入廠區。受訪單位供圖
當天上午,記者在奧松半導體項目現場看到,承載著光刻機的吊機緩緩升起,將設備運入廠房,完成了該項目的重要歷史時刻。
“首臺光刻機成功搬入,標志著我們產線正式進入設備安裝調試階段,離正式通線試產并量產指日可待。”奧松半導體項目負責人李忠告訴記者,光刻機是整個芯片制造過程中最關鍵的核心設備。光刻的基本原理一直沒有變,就是用光把芯片藍圖縮小,投影到硅片上,跟表面化學物質發生反應完成刻蝕。這類似于照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
▲光刻機各主要部件陸續進入潔凈廠房。謝春良 攝
據透露,今年奧松半導體項目圍繞“7月光刻機進場、8月底通線試產、第四季度產能爬坡并陸續交付客戶”的階段性目標,同步推進竣工驗收、產能通線、工廠運營、良率提升和產品交付等工作,目前公司為項目順利通線投產已儲備和投用了兩百余名員工。同時將持續加大新產品、新技術研發投入力度,進一步拓展客戶和市場。
建設提速顯“芯”力
賦能區域高質量發展新態勢
奧松半導體項目計劃總投資35億,包含8英寸特色傳感器芯片量產線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發線、智能傳感器創新研發中心、車規級傳感器可靠性檢測中心、產學研科研中心及奧松半導體研發辦公大樓等,技術能力覆各類MEMS特色工藝,可實現各類MEMS半導體傳感器產品從研發到量產的無縫銜接。
項目自2024年取得施工許可證,隨后便開啟了高效的建設進程:到2025年4月所有建筑主體封頂。而在封頂之后,僅僅過了3個多月,生產線中最核心的裝備——光刻機便成功入駐,項目也隨之步入設備安裝調試階段。
▲光刻機進入百級潔凈黃光區廠房。受訪單位 供圖
李忠告訴記者,接下來幾天將陸續搬入用于晶圓制造、封裝測試、模塊生產、系統應用等各類工藝和輔助設備,全部設備計劃于月底前搬入完成,第2臺光刻機也將于8月搬入。待一期項目達產后,將形成每月10000~20000片晶圓的產能。
不僅如此,在產學研合作方面,奧松半導體今年以來也動作頻頻:與重慶科技大學簽署戰略合作協議,與重慶大學正式簽署共建嘉陵江實驗室協議等,涉及人才培養、科研合作、成果轉化等內容。這一系列快速推進的成果,充分展現了“科學城速度”,更為重慶集成電路產業成形起勢注入了強勁的“芯”動力,為區域發展提供了有力支撐。
科學城有關負責人表示,作為全市集成電路產業主要集聚地,科學城肩負著承接國家集成電路重大生產力布局的使命任務,目前正著力補齊設計、封測模組等集成電路產業鏈“兩端”短板,全力推動集成電路產業發展跑出加速度。
例如,前段時間發布的《重慶高新區促進集成電路產業高質量發展的若干措施》,針對集成電路設計端和封測模組端“兩端”企業的研發、融資、產業鏈協同、企業做大做強等關鍵環節,給予重點支持獎勵300萬元-5000萬元不等,力度已達到西部最優。
可見,在區域經濟帶動下,重慶正逐漸構建起更加完善、自主可控的集成電路產業體系,帶動電子信息、智能制造等上下游產業協同發展,讓集成電路產業成為重慶經濟高質量發展的新引擎,為構建新發展格局貢獻“重慶力量”。
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