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在半導體制造工藝中,環境與設備的精密管控直接關系到芯片良率與性能。山本,長野計器(NAGANO KEIKI)的微差壓表憑借百年計測技術積淀,為半導體行業提供高純度氣體監測、潔凈室壓差管控等關鍵環節的精細解決方案,成為全球前沿晶圓廠和封測企業的優先設備。
應用場景:
1.高純度氣體系統監測
采用不銹鋼波登管與氬弧焊接工藝,確保微差壓表在腐蝕性氣體(如蝕刻用氟化氫、氨氣)和高純度惰性氣體(如氬氣、氮氣)環境中長期穩定工作,避免泄漏,沉積、刻蝕等工藝的氣體流量精度。
2.潔凈室與隔離室壓差管控
通過實時監測潔凈室與外界環境的微壓差(±50Pa以內),防止顆粒污染物侵入,滿足ISO 1-5級潔凈度要求,適用于光刻區、封裝無塵車間等敏感區域。
3.關鍵設備狀態預警
集成于薄膜沉積設備、光刻機輔助系統中,監測氣體過濾器堵塞或管道壓力波動,提前預警設備異常,減少非計劃停機損失。
技術優勢:
1.嚴苛環境適應性:全不銹鋼結構(含外殼與連接部件)通過RoHS認證,耐腐蝕性遠超行業標準。
2.精度與可靠性:嚴格的氣密性檢測與耐壓測試(符合SEMI標準),確保在恒壓或波動壓力下誤差率低于±1% FS。
3.定制化服務:支持甘油填充、衛生型變送器集成等選項,適配半導體特殊工藝需求。
行業驗證:
長野計器微差壓表已服務于中芯國ji、京東方等頭部企業,并獲日本本土及國內多地晶圓廠批量采購。其GV系列、GW系列產品在3D NAND存儲芯片制造與前沿封裝產線中表現好,助力客戶實現工藝良率提升與綜合成本優化。
選擇山本,長野微差壓表,即是選擇百年品牌對精密與可靠的不懈追求——為半導體制造的每一帕斯卡壓力,提供值得信賴的。
另外,為了響應客戶的降本增效需求,要求我們對應國內替代方案,我們花了兩年時間,經過多次廠家研發成功了。現在可以為客戶做國內替代品。質量一樣,價格美麗!
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